سطح المكتب photoetching machine \\\\\\\\\\\\\\\\

الجدول آلة الطباعة الحجرية المعلمات : 1 - أقصى مساحة التعرض : 160mm * 160mm . في التعرض القرار : 1um ( إيجابية الغراء مع سماكة أقل من 0.5um ) . 3 . محاذاة الدقة : & تي 177 ؛ 1um ( معيار رقاقة تلميع رقاقة ) . 4 . مصدر الضوء كثافة : 35 ميغاواط / سم 2 . 5 . التعرض الطول الموجي : مصدر الضوء LED ( استيراد الخرز ، الحياة & جيكا طن ؛ 10000 ساعة )

　　سطح المكتب آلة الطباعة الحجرية3 - البارامترات :

1 . أقصى مساحة التعرض : 160mm * 160mm

في التعرض القرار : 1U م ( الغراء سمك ≤ 0.5um الغراء إيجابية )

3 . محاذاة الدقة : ± 1um ( معيار رقاقة تلميع رقاقة )

4 . كثافة مصدر الضوء : 35mW / سم 2

5 . التعرض الطول الموجي : مصدر الضوء LED ( استيراد الخرز ، الحياة > 10000 ساعة )

6 . التعرض : توقيت ( العد التنازلي )

7 . الحركة النسبية مجموعة من قناع : س : أفضل من ± 5 ملم .

8-y : أفضل من ± 5 ملم ، 0 : أفضل من ± 6 درجة

9 . حجم القناع : 7 بوصة ، حجم العينة : 6 بوصة ( رقاقة )

10 - الإعداد الرقمي محاذاة الفجوة والتعرض الفجوة

11 . قناع عينة فصل الفجوة : 6 = o-500um قابل للتعديل بشكل مستمر

12 - المحاذاة : المحاذاة التلقائية ، وفقا لمتطلبات العملاء ، وزيادة نوع المحاذاة مارك ، لا أكثر من 4 مجموعات

13 . التلقائي تغذية : التلقائي تغذية مناور ( عينة خاصة الذراع الميكانيكية ، ورقة شوكة ) ، بما في ذلك ما قبل المحاذاة لتحديد المواقع وظيفة

14 - نطاق المسح المجهري : ذ : 40mm ( الإعداد الرقمي )

15 - أربعة أنواع من الوظائف : الضغط الإيجابي تعويم الهواء التعرض ، من الصعب الاتصال التعرض ، ضغط الاتصال والتعرض القرب من التعرض ، اتفاقية مكافحة التصحر + telecentric عدسة + عرض المحاذاة ، التصوير الضوئي

16 . التسوية الاتصال الضغط من خلال أجهزة الاستشعار لضمان التكرار

17 . قابل للتعديل مجموعة من عدسة الهدف المزدوج : 30mm-130mm