السيليكون آلة الحفر العميق

1.نظرة عامة على المنتجات :

الصحة والسلامة والبيئة M200 تستخدم أساسا في 4 / 6 / 8 بوصة السيليكون العميق التنميش الجاف العملية . دليل نظام النقل الآلي يمكن تهيئتها . عالية الكثافة ثنائي الأبعاد مصدر البلازما ، وسط حافة مدخل الهواء ، الغاز التبديل السريع ، وانخفاض وتيرة نبض نظام القطب السفلي ، يمكن تحقيق سرعة عالية ، وارتفاع نسبة الجانب ، وارتفاع التوحيد و الحد الأدنى من خشونة الجدار الجانبي . الصحة والسلامة والبيئة P300 تستخدم أساسا 12 بوصة السيليكون النقش . باستخدام هيكل المجموعة ، يمكن أن تقلل من احتلال الأراضي ، وزيادة الإنتاجية . النظام يتكون أساسا من نقل وحدة ، وحدة عملية ، منطقة رمادية مكونات إمدادات الطاقة مجلس الوزراء . التلقائي تغذية والتفريغ التلقائي عملية يمكن أن تتحقق .

2.جهازتطبيق .س

HSE M200

رقاقة الحجمس

8بوصة أو أقل

تطبيق الموادس

السيليكونسويوسوج

عملية مناسبةس

السيليكون النقش العميق

مجال التطبيقس

ممس ، مجال البحث العلمي

HSE P300

رقاقة الحجمس

8 / 12بوصة متوافقة

تطبيق الموادس

السيليكون ، وأكسيد السيليكون ، نيتريد السيليكون

عملية مناسبةس

فتحة عميقة محفورة ، محفورة حفرة عميقة ، مروحة من نوع التعبئة والتغليف السيليكون الناقل محفورة ، محفورة النحاس مكشوف ، الخ .

مجال التطبيقس

حزمة متقدمة

3 - خصائص المعدات

HSE M200

المزدوج مصدر البلازما مزدوجة منطقة مدخل الهواء لضمان ارتفاع معدل النقش النقش التوحيد

التوافق قوية ، مجموعة متنوعة من التقنيات ، مجموعة واسعة من التطبيقات ، وموثوقية عالية من النظام

نظام مرن التكوين ، ومناسبة للبحث والتطوير ، على نطاق تجريبي خط ، خط الانتاج على نطاق واسع تطبيقات مختلفة

انخفاض تكاليف الملكية وتكاليف التشغيل

HSE P300

زيادة كبيرة في معدل النقش باستخدام البلازما عالية الكثافة الصلبة المصدر

المزدوج مصدر البلازما مزدوجة منطقة مدخل الهواء لضمان أعلى التوحيد

التلقائي السيطرة على البرمجيات ، والإنتاجية العالية

انخفاض تكاليف الملكية وتكاليف التشغيل