تصحيح رقاقة رقاقة القياسية

تصحيح رقاقة رقاقة القياسيةPSL رقاقة القياسية التي تلبي نيست ( المعهد الوطني الأمريكي للمعايير ) القياسية . معايرة رقاقة رقاقة القياسية القياسية تتكون من ترسب مونوديسبيرسي البوليسترين اللثي الخرز على سطح رقاقة القياسية ، معايرة المعدات من خلال تشكيل نطاق ضيق ذروة العرض في مجموعة من 50 نانومتر إلى 10 ميكرون الحجم ، واستكمال تصحيح حجم الجسيمات منحنى الاستجابة من معدات مثل تينكور سيرفيسكان 6220 و 6440 ، جيش تحرير كوسوفو ، تينكور سيرفيسكان SP1 ، SP2 و SP3 رقاقة نظام الكشف . تصحيح رقاقة رقاقة القياسية قسم يترسب في كامل ترسب ، أي أن هناك واحد فقط حجم الجسيمات على كامل رقاقة . بدلا من ذلك ، تصحيح رقاقة رقاقة القياسية تترسب في عدة نقاط طريقة الترسيب على شكل واحد أو أكثر من الأبعاد القياسية القمم و توزيعها بدقة في تصحيح رقاقة القياسية .

نحن نقدم معيار رقاقة رقاقة معايرة باستخدام معيار الجسيمات . وهذا يمكن أن تساعد العملاء على الانتهاء من تصحيح دقة الأبعاد للمعدات ، بما في ذلك KLA-Tencor Surfscan SP1、KLA-Tencor Surfscan SP2、KLA-Tencor Surfscan SP3、KLA-Tencor Surfscan SP5、KLA-Tencor Surscan SP5xp、Surfscan 6420、Surfscan 6220、Surfscan 6220、ADE、Hitachi و topcon مباحث أمن الدولة ، رقاقة نظام الكشف . لدينا 2300 xp1 نظام ترسب الجسيمات يمكن أن تودع على 100 ملم ، 125mm ، 150mm ، 200mm و 300mm رقائق السيليكون باستخدام PSL اللاتكس الكريات ( البوليسترين اللاتكس الجسيمات القياسية ) السيليكا الجسيمات القياسية .

مصنع أشباه الموصلات معدات القياس المديرين استخدام هذه PSL معايرة رقاقة القياسية لمعايرة حجم منحنيات الاستجابة من جيش تحرير كوسوفو تينكور ، توبكون ، عدي ، هيتاشي مسح سطح نظم التفتيش ( مباحث أمن الدولة ، مسح سطح نظم التفتيش ) . PSL رقاقة معيار يستخدم أيضا لتقييم تجانس تينكور surfscan تفحص رقائق السيليكون أو الأفلام .

معايرة رقاقة رقاقة القياسية المستخدمة للتحقق من ومراقبة أداء اثنين من مواصفات المعدات مثل مباحث أمن الدولة : دقة الأبعاد في حجم الجسيمات محددة وموحدة رقاقة المسح الضوئي في المسح الضوئي . تصحيح رقاقة رقاقة القياسية عادة ما تقدم في شكل كامل ترسب حجم الجسيمات واحد ( عادة ما بين 50 و 12 ميكرون ) . عن طريق إيداع على رقاقة ، أي إيداع ، رقاقة نظام الكشف يمكن قفل الجسيمات القمم ، يمكن للمشغل بسهولة تحديد ما إذا كانت أدوات مثل مباحث أمن الدولة في هذا الحجم تلبية مواصفات الأداء . على سبيل المثال ، إذا كان معيار رقاقة هو 100 نانومتر و مباحث أمن الدولة هو مسح الذروة في 95nm أو 105nm ، مباحث أمن الدولة تجاوز يمكن تحديدها ، ثم 100 نانومتر PSL رقاقة القياسية يمكن استخدامها لتصحيح ذلك . تفحص رقاقة رقاقة القياسية يمكن أن أقول أيضا فني مباحث أمن الدولة في PSL رقاقة القياسية للكشف عن تأثير ، وبالتالي موحدة في رقاقة رقاقة رقاقة القياسية للكشف عن التشابه . سطح رقاقة رقاقة القياسية يترسب في حجم معين PSL دون ترك أي جزء من رقاقة التي لم تودع في PSL المجال . أثناء المسح الضوئي PSL رقاقة القياسية ، تجانس رقاقة المسح ينبغي أن تشير إلى أن مباحث أمن الدولة لا تهمل بعض المناطق من رقاقة أثناء المسح الضوئي . لأن اثنين من مختلف أجهزة مباحث أمن الدولة ( إيداع نقطة العميل نقطة ) تختلف في كفاءة العد ، العد الدقة على كامل أودعت رقاقة هو ذاتي من جانب واحد ، وأحيانا الفرق يصل إلى 50 ٪ . وبناء على ذلك ، وعلى نفس الشريحة القياسية ، تم قياس حجم الجسيمات في جهاز مباحث أمن الدولة 1 مع 2500 العد في 204nm ، في حين أن مسح جهاز مباحث أمن الدولة 2 في العميل للحصول على قيمة العد في 1500 إلى 3000 . الفرق بين اثنين من أجهزة مباحث أمن الدولة بسبب اختلاف كفاءة الليزر الداخلية PMT ( مضخم أنبوب ) . بسبب اختلاف قوة الليزر و كثافة شعاع الليزر بين اثنين من أجهزة مباحث أمن الدولة ، دقة العد بين اثنين من مختلف أنظمة الكشف عن رقاقة عادة ما تكون مختلفة .

تصحيح رقاقة رقاقة القياسيةس

أعلاه اثنين من الرسوم البيانية تظهر PSL تصحيح رقاقة القياسية مع نوعين من ترسب : كامل و متعدد نقطة ترسب ترسب .

البوليسترين اللثي الخرز ( PSL ) أو السيليكا النانوية يمكن أن تودع .

متعدد نقطة المودعة PSL رقاقة القياسية المستخدمة لمعايرة دقة الأبعاد من مباحث أمن الدولة في جهاز واحد أو أكثر من حجم القمم .

تصحيح رقاقة رقاقة القياسية التي أودعت في نقاط متعددة لديها مزايا واضحة البقع التي شكلتها PSL الكريات المودعة على رقاقة ، أي PSL الكريات على سطح رقاقة المتبقية حول البقع . فائدة نموذج يحتوي على المزايا التي مع مرور الوقت ، فمن السهل أن نحكم على ما إذا كان معيار تصحيح رقاقة رقاقة قذرة جدا لاستخدامها بوصفها المعيار المرجعي . متعدد نقطة ترسب تودع المطلوب PSL الكريات في بقعة محددة على سطح رقاقة . ولذلك ، فإن السطح هو عدد قليل جدا من المجالات PSL وتحقيق أعلى دقة العد . القسم الأول يستخدم DMA ( التنقل التفاضلي محلل ) التكنولوجيا 2300xp1 نوع ، لضمان دقة حجم الجسيمات PSL المودعة الذروة . لجنة البرنامج والتنسيق يستخدم للتحكم في دقة العد . DMA يهدف إلى إزالة الجسيمات غير المرغوب فيها من تدفق الجسيمات ، مثل ضعف حجم الجسيمات الجسيمات ثلاثية الحجم . DMA مصممة أيضا لإزالة الجسيمات غير المرغوب فيها على اليسار واليمين من حجم القمم . وهكذا ، فرقت الجسيمات قمم تترسب على سطح رقاقة . في غياب DMA التكنولوجيا ، غير المرغوب فيها حجم الجسيمات مزدوجة ، ثلاثية الحجم ، والخلفية حجم الجسيمات ، فضلا عن حجم الجسيمات المطلوبة يمكن أن تودع على سطح رقاقة .