آلية فحص ومعايرة أجهزة القياس

آلية فحص ومعايرة أجهزة القياس

معيار الممارسة للحصول على معايرة التداخل

أولاً - الغرض

لضمان دقة وموثوقية نتائج القياس من التداخل ، وتلبية متطلبات التشغيل ، وتلبية المعايير ذات الصلة والمواصفات .

ثانياً - نطاق التطبيق

مناسبة لأنّ معايرة [ نوع معين أو نوع ] التداخل .

أساس المعايرة

[ قائمة المعايير الوطنية ، ومعايير الصناعة ، أو دليل المعايرة التي تقدمها الشركة المصنعة للجهاز ، الخ . ]

معايرة الظروف البيئية

1 . درجة الحرارة : 20 ℃ ± 2 ℃ ، في عملية المعايرة ، والتغيرات في درجة الحرارة لا تتجاوز 1 ℃ في الساعة . تذبذب درجة الحرارة يمكن أن تؤثر على حجم العنصر البصري و الطول الموجي ليزر ، مما يؤدي إلى خطأ في القياس . درجة حرارة ثابتة يمكن الحفاظ عليها باستخدام أجهزة تكييف الهواء ، درجة حرارة ثابتة مربع ، وما إلى ذلك ، في الوقت الحقيقي رصد عدد وافر من أجهزة استشعار درجة الحرارة يمكن أن توضع في قياس المنطقة .

الرطوبة : 40 ٪ - 60 ٪ RH ، الرطوبة لا تتجاوز 5 ٪ RH . الرطوبة العالية من السهل أن تجعل سطح المكونات البصرية بخار التكثيف أو التآكل ، مما يؤثر على الأداء البصري . يمكن تعديلها ورصدها من خلال مزيل الرطوبة ، المرطب ، الرطوبة الاستشعار .

الاهتزاز : الاهتزاز السعة أقل من [ س ] μ م ، تردد أقل من [ س ] هرتز . الاهتزازات الخارجية يمكن أن تجعل هامش تدخل غير مستقر ، مما يؤثر على دقة القياس . وضع التداخل على عزل الاهتزاز منصة بعيدا عن مصدر الاهتزاز ، مثل المعدات الميكانيكية الكبيرة ، مصعد ، الخ .

4 . النظافة : بيئة العمل يجب أن تبقى نظيفة ، وتجنب الغبار ، الجسيمات وغيرها من الملوثات تدخل التداخل الداخلي تلوث المكونات البصرية . تركيب معدات تنقية الهواء في البيئة وتنظيف منطقة العمل بانتظام .

آلية فحص ومعايرة أجهزة القياس

معايرة المعدات والأدوات

1 . أجزاء القياسية : معيار قياس كتلة مع دقة عالية و التتبع ، معيار الطائرة مرآة ، مرآة كروية القياسية ، وما إلى ذلك ، ينبغي أن يكون مستوى دقة أعلى من دقة معايرة التداخل . على سبيل المثال ، من أجل معايرة قياس طول التداخل ، معيار قياس كتلة المستخدمة لتحقيق مستوى النانومتر من الدقة .

2 . أدوات مساعدة : تنظيف القماش ، اللامائية الكحول ، ورقة عدسة لتنظيف المكونات البصرية ؛ دقة ضبط الإطار يستخدم لتحديد وتعديل الموقف النسبي من أجزاء القياسية و التداخل . الطاقة الضوئية متر يستخدم للكشف عن الطاقة الضوئية من مصدر ضوء الليزر .

سادساً - متطلبات موظفي المعايرة

معايرة الموظفين يجب أن يكون التدريب المهني ، مألوفة مع التداخل مبدأ العمل ، وأساليب التشغيل ، عملية المعايرة ، والقياس ذات الصلة المعرفة والمهارات ، وما يقابلها من القياس والمعايرة شهادة التأهيل .

البند وطريقة المعايرة

( أ ) التفتيش البصري والوظيفي

1 . التفتيش البصري : لا ضرر ، تشوه ، خدش ، والصدأ ، وما إلى ذلك من التداخل الخارجي . شاشة عرض واضحة ، لا عيب فيه ، تسليط الضوء على المشاكل . مفتاح التشغيل تعمل بشكل طبيعي ، لا بطاقة الركود ، فشل الظاهرة . كل واجهة اتصال عادي ، لا تفقد أو تلف .

2 - التحقق من وظيفة : التبديل على السلطة ، بدوره على التداخل ، والتحقق من ما إذا كانت وظيفة الفحص الذاتي صك طبيعي . وفقا للأداة دليل التشغيل ، اختبار قياس التداخل وضع التبديل ، وتخزين البيانات ، ونقل البيانات ، وتحديد المعالم ، وغيرها من المهام ، للتأكد من أن كل وظيفة يمكن أن يتحقق عادة .

` 2 ` الليزر الطول الموجي المعايرة

1 . اختيار معيار مرجعي : اختيار الطول الموجي القياسية التي تم معايرة قياس و التتبع و عدم التيقن من الطول الموجي يجب أن تلبي متطلبات المعايرة .

2 - معايرة الخطوة : الطول الموجي الليزر الطول الموجي القياسية مع منفذ الإخراج المناسب ؛ بدء التداخل و الطول الموجي القياسية ، بعد استقرار المعدات ، وظيفة قياس الطول الموجي على التداخل . الليزر الطول الموجي القيم تقاس التداخل سجلت مقارنة مع القيم الاسمية من الطول الموجي القياسية . إذا كان الانحراف بين القيمة المقاسة و القيمة الاسمية يتجاوز النطاق المسموح به ، الطول الموجي هو معايرة عن طريق ضبط المعلمات ذات الصلة ( مثل التيار الكهربائي ، درجة الحرارة ، وما إلى ذلك ) من مصدر ضوء الليزر حسب دليل التشغيل من التداخل ، حتى أن الانحراف بين القيمة المقاسة و القيمة الاسمية ضمن النطاق المسموح به .

( ج ) قياس طول إشارة خطأ المعايرة

1 . إعداد معيار قياس كتلة : اختيار مجموعة من معيار قياس كتلة مع طول مختلفة المواصفات ، مجموعة من قياس طول كتلة ينبغي أن تغطي مجموعة مشتركة من التداخل ، ودقة قياس كتلة يمكن أن تلبي متطلبات المعايرة . على سبيل المثال ، من أجل قياس التداخل مع مجموعة من 0 إلى 100 ملم ، معيار قياس كتلة مع طول 10 ملم ، 25 ملم ، 50 ملم ، 75 ملم ، 100 ملم يمكن اختيارها .

2 - معايرة خطوة : الاتصال قياس الرأس من التداخل مع نهاية واحدة من معيار قياس كتلة ، وضمان الاتصال جيدة وقياس الاتجاه الصحيح . وظيفة قياس الطول على التداخل و قياسها . طول قياس التداخل هو مسجل و مقارنة مع معيار قياس كتلة . حساب قياس قيمة الخطأ ، الصيغة : قيمة الخطأ = قياس القيمة الاسمية . وفقا للخطوات المذكورة أعلاه ، معيار قياس كتل مع أطوال مختلفة يتم قياسها وحساب قيمة الخطأ . رسم منحنى العلاقة بين الخطأ و قياس الطول ، وتحليل ما إذا كان الخطأ في نطاق المسموح به . إذا كان خارج النطاق المسموح به ، يمكن معايرة نظام المسار البصري ، خوارزمية قياس التداخل عن طريق تعديل أو تعديل البرمجيات .

` 4 ` معايرة القياسات المتكررة

1 . اختيار نقطة قياس : في نطاق قياس التداخل ، حدد ممثل نقطة قياس ، على سبيل المثال ، قياس طول التداخل ، يمكن اختيار موقع 50 ملم مثل قياس نقطة .

2 - معايرة الخطوات : في اختيار نقطة قياس ، قياس التداخل ن مرات متتالية ( ن ≥ 10 ) بعد كل قياس ، قياس القيمة المسجلة . الصيغة هي : قياس التكرار = ( قياس الانحراف المعياري / قياس متوسط ) × 100 ٪ ، الانحراف المعياري قياس واحد يحسب بيسل الصيغة . حساب قياس التكرار هو مقارنة مع مؤشر التقنية من الصك . إذا كان التداخل لا تلبي الاحتياجات ، والتحقق من الاستقرار ، إذا كان هناك أي تدخل في قياس البيئة ، وما إلى ذلك ، وإجراء التعديلات المناسبة والمعايرة .

( هـ ) قياس زاوية خطأ المعايرة ( مناسبة للتداخل مع قياس زاوية وظيفة )

1 . إعداد معيار زاوية كتلة : اختيار مجموعة من معيار زاوية كتلة مع زاوية مختلفة المواصفات ، مجموعة من زاوية كتلة ينبغي أن تغطي مجموعة من قياس زاوية التداخل ، ودقة الصف زاوية كتلة يمكن أن تلبي متطلبات المعايرة .

2 . معايرة خطوة : وضع معيار زاوية كتلة على قياس زاوية طاولة العمل من التداخل ، وضبط الموقف والتوجه من زاوية كتلة ، بحيث يمكن قياس زاوية التداخل بدقة . وظيفة قياس زاوية على التداخل و قياسها . زاوية القيم التي تم الحصول عليها من قياس التداخل سجلت و مقارنة مع تلك التي تم الحصول عليها من زاوية الاسمية القياسية كتل . حساب زاوية قياس قيمة الخطأ ، الصيغة : قيمة الخطأ = قياس القيمة الاسمية . وفقا للخطوات المذكورة أعلاه ، معيار زاوية كتل مع زوايا مختلفة يتم قياسها وحساب قيمة الخطأ . تحليل ما إذا كان الخطأ في قياس زاوية المؤشر ضمن النطاق المسموح به . إذا كان خارج النطاق المسموح به ، يمكن معايرة عن طريق ضبط زاوية قياس مسار الضوء من التداخل ، معايرة زاوية قياس الخوارزمية ، الخ .

قياس التسطيح خطأ المعايرة ( مناسبة للتداخل مع التسطيح قياس وظيفة )

1 . إعداد معيار مرآة مستوية : اختيار معيار مرآة مستوية مع دقة عالية ، التسطيح خطأ ينبغي أن يكون أقل بكثير من المسموح به خطأ في قياس التسطيح من التداخل .

2 - معايرة الخطوة : وضع معيار مرآة مستوية على طاولة القياس من التداخل ، وضبط الموقف من المرآة ، حتى أن التداخل يمكن قياس التسطيح من المرآة . التسطيح وظيفة القياس على التداخل . التسطيح خطأ قياس التداخل هو مسجل و مقارنة مع مستوى الاسمية التسطيح خطأ مرآة . خطأ في حساب التسطيح . تحليل ما إذا كان قياس التسطيح يدل على خطأ في النطاق المسموح به . إذا كان خارج النطاق المسموح به ، يمكن معايرة من خلال تعديل النظام البصري من التداخل ، معايرة قياس التسطيح الخوارزمية .

تجهيز نتائج المعايرة

1 . شهادة المعايرة : بعد الانتهاء من المعايرة ، معايرة شهادة تصدر . شهادة المعايرة يجب أن تشمل ما يلي : اسم وعنوان المؤسسة المعايرة . اسم وعنوان العميل ؛ معلومات عن نوع ، عدد ، الشركة المصنعة من معايرة التداخل . أساس المعايرة ؛ معايرة الظروف البيئية . البند المعايرة ، معايرة نتيجة قياس عدم اليقين . تاريخ المعايرة ، معايرة الموظفين ، والتحقق من الموظفين التوقيع ، الخ .

2 - الحكم على نتيجة المعايرة : الحكم على ما إذا كان التداخل يتوافق مع متطلبات الاستخدام حسب نتيجة المعايرة . إذا كانت نتائج القياس من معايرة البند ضمن النطاق المسموح به ، ثم يتم الحكم على أن تكون مؤهلة للحصول على معايرة التداخل . إذا كان قياس نتائج أي بند من بنود المعايرة تتجاوز النطاق المسموح به ، ثم تدخل غير مؤهل . من أجل معايرة التداخل غير المشروط ، البنود غير المشروط و الانحراف يجب أن تكون محددة ، واقترح أن يقوم العميل إصلاح أو تعديل التداخل ومعايرة .

3 - تقييم عدم اليقين في القياس : تقييم عدم اليقين في القياس نتيجة المعايرة ، وتحليل مصادر عدم اليقين ، مثل عدم اليقين من أجزاء القياسية ، وعدم اليقين من تكرار القياس ، وعدم اليقين من العوامل البيئية ، الخ . عدم اليقين في القياس يجب تقييمها وفقا للمعايير والمواصفات ذات الصلة ، مثل JJF 1059.1 " تقييم و تمثيل عدم اليقين في القياس " . نتائج التقييم من عدم اليقين في القياس يجب أن تكون محددة بوضوح في شهادة المعايرة .

فترة العودة إلى المدرسة

في العام ، interferometer إعادة معايرة الفاصل الزمني هو الموصى به لمدة سنة واحدة . ومع ذلك ، فإن عملية إعادة معايرة الفاصل الزمني يمكن تعديلها بشكل صحيح وفقا لعوامل مثل استخدام التردد ، واستخدام البيئة وقياس الطلب من التداخل . إذا كان هناك أي شذوذ أو شك في دقة قياس التداخل أثناء الاستخدام ، يجب معايرة في الوقت المناسب .

عاشراً - اعتبارات

1 . عملية المعايرة يجب أن تتم وفقا صارمة مع قواعد التشغيل ، لتجنب التداخل بسبب عملية غير سليمة أو نتيجة غير دقيقة .

2 - قبل المعايرة ، والتداخل ، معايرة المعدات يجب أن يكون مسخن بحيث تصل إلى حالة عمل مستقرة للحد من تأثير التغيرات في درجة الحرارة على نتائج القياس .

3 . الاهتزاز والصدمة والتدخل الكهرومغناطيسي ينبغي تجنبها في عملية المعايرة لضمان استقرار البيئة .

4 - تنظيف المكونات البصرية ، ينبغي استخدام قماش ناعمة خالية من الغبار و الكحول المطلق ، بلطف محو لتجنب خدش السطح البصري .

5 - بعد الانتهاء من المعايرة ، معايرة معايرة الشهادات والسجلات يجب أن تكون محمية بشكل صحيح من أجل البحث والتتبع في المستقبل .