6 / 8 بوصة التلقائي آلة تنظيف الحوض الصغير

1. نظرة عامة على المنتجات :

سلسلة جاما6 / 8 بوصة التلقائي آلة تنظيف الحوض الصغيريمكن أن تلبي جميع متطلبات العملية الرطبة ، تغطي RCA ، والعلاقات العامة الشريط ، solvent ، wet et al . ، يمكن أن تستخدم في عملية نموذجية 0.35um 0.18um , العقد ، يمكن أن تدعم عملية 90nm العقد ، يمكن أن تكون متوافقة مع 6 و 8 بوصة رقاقةمنتدى

2. جهازتطبيق .س

رقاقة الحجم

بوصة

تطبيق المواد

السيليكون ، كربيد السيليكون ، السيليكون نيتريد الغاليوم

عملية مناسبة

قبل التنظيف ، إزالة الصمغ ، نيتريد السيليكون إزالة ، إزالة المعادن( شركة تي ) ، دورة التنظيف ، تنظيف بعد تلميع ، تنظيف قبل وبعد تنظيف برنامج التحصين الموسع ، برنامج التحصين الموسع

مجال التطبيق

الدوائر المتكاملة ، المواد الركيزة ، مجمع أشباه الموصلات ، أشباه الموصلات السلطة

3. ميزة مميزةس

شمال الصين أداء جاما سلسلة الأنظف في التآكل التوحيدواضحالتآكل التوحيد مهم جدا لضمان الاتساق والاستقرار في تصنيع رقاقة .
هذا الجهاز يضمن درجة عالية من التآكل موحدة على كامل سطح رقاقة من خلال تصميم نظام تدفق السوائل ، حل الكيميائية آلية التوزيع والتحكم في درجة الحرارة الاستراتيجية . الاتساق في درجة التآكل يمكن الحفاظ عليها سواء في مساحة كبيرة من رقاقة أو في نمط معقد من المناطق .
العديد من التقنيات مثل الرش موحدة متعددة الفوهات ، تنظيف الدوارة ، وما إلى ذلك يمكن أن تستخدم لجعل الحل الكيميائية تغطي سطح رقاقة بالتساوي ، وبالتالي تجنب الإفراط في تآكل المحلية أو نقص . وفي الوقت نفسه ، دقة نظام التحكم في درجة الحرارة يمكن أن تضمن درجة الحرارة التوحيد طوال عملية التنظيف ، لأن الفرق في درجة الحرارة يمكن أن تؤثر على معدل التفاعل والتآكل التوحيد . في الممارسة العملية ، حتى عندما تواجه مع رقائق من مواد مختلفة وسمك ، آلة التنظيف يمكن أن توفر ممتازة التآكل التوحيد ، وبالتالي تحسين فعالية نوعية وأداء رقاقة .

4 - خصائص المعدات

التصميم الهيكلي هو المدمجة ، وتحتل مساحة صغيرة

تصميم وحدات التكوين مرنة وقابلة للتطوير

عملية ناضجة تصميم خزان لضمان استقرار العملية

دقة نظام وزنها الكيميائية لتحقيق عملية ذات جودة عالية