في高真空في البيئة التي يتم تسخينها بواسطة المقاومة أو شعاع الالكترون القصف .طلاء المواد ( تبخير المصدر )تغويز ، بخار يتكثف على سطح الركيزة لتشكيل الفيلم ،التبخر الحراري ، شعاع الالكترون التبخر ، فراغ ترسب الفيلم ، PVD、 تبخير المواد