مقاومة للضوء الخالط ( وتسمى أيضا الروتاري آلة طلاء ) هو المعدات الرئيسية في تصنيع أشباه الموصلات ، وتصنيع الآلات الدقيقة نانو و إعداد الأجهزة الكهروضوئية . وفيما يلي تحليل متعمق من التطبيقات النموذجية والتفاصيل التقنية :

1. عالية الدقة في تصنيع أشباه الموصلات الرسومات

(1)الدوائر المتكاملة )ICتصنيع

تطبيق المشهد : تدور طلاء مقاومة للضوء على رقاقة السيليكون )150-300 ممرقاقة (

البارامترات التكنولوجية :

سرعة الدوران500-6000 دورة في الدقيقةضبط سمك حسب الطلب ، مثلخطسمك الغراء1 ميكروميحتاج3000 دورة في الدقيقةو

التسارع1000-5000 دورة في الثانية( منع تراكم الحواف )

تجانس سمك الغراء :أقل من ± 1 ٪( أ )300 ممداخل رقاقة (

حالةمعين12بوصة رقاقة مصنع يستخدم تكنولوجيا التحكم الديناميكي في طبقة مضادة للانعكاس )باركأعلى تدور طلاءأرفمقاومة للضوء ، تحقيقسي ديالتحكم ( البعد الحاسم )± 0.8nmانخفاض ملحوظلير( خط حافة خشونة ) .

(2)حزمة متقدمة

TSV( السليكون من خلال ثقب ) عملية :

آلة خلط الغراء يجب أن يكون في عمق نسبة العرض5 : 1انخفاض الضغط prewetting التكنولوجيا المعتمدة ( قبل رش الغراء ، الغراء ، الغراء ، الخ . )HMDSبخار ) زيادة التبلل .

2. إعداد جهاز نانو

(1) ميمسسنسر

متطلبات التطبيق :

طلاء الغراء السميك على رقاقة السيليكون أو الزجاج )سو - 8و10-100 ميكرومو

متطلبات عالية من خطوة التغطية ( فرق الارتفاع الهيكلي )> 20 ميكرومو

إزالة الحافة : إزالة حافة الخرز باستخدام مكشطة دينامية أو رذاذ المذيبات )حبة الحافة. لا

(2)الكريستال الضوئية تجهيز

حالةتدور طلاء الكوارتز الركيزةHSQ( هيدرو silsesquioxane ) الغراء ، من خلال نشر الأولية على سرعة منخفضة )200 دورة في الدقيقة، 10 ثانيةوسارتفاع سرعة تحديد سماكة )4000rpm، 60sالحصول على50 نانومتر ± 2 نانومترالطول الموجي انتقائية البلورات الضوئية هي ملفقة .

3. عرض جديد ومرن الالكترونية

(1) OLEDعرض لوحة

الركيزة الكبيرة )مجموعة 6جيل1850 × 1500 ممق

متعددة محور السيطرة التعاونية المعتمدة في الغراء خلاط .0.01 °

تعويم الهواء صينية يقلل من الإجهاد الميكانيكي ، سماكة الفيلم غير التوحيد1.5 في المائة

(2)مرنبيقاعدة لوحة

التحدياتبيالركيزة مسعور ، من السهل أن تظهر“حلقات القهوة" وتأثير

برامج مبتكرة

البلازما المعالجة )أوه؟خليط الغاز100 واطوالثلاثيناتو

انخفاض التوتر السطحي المذيبات الصيغة ( مثل إضافة1 ف - 4الفلور سلسلةالنشط السطحيو

4. تطبيق خاص على مستوى البحث العلمي

(1)شعاع الالكترون الطباعة الحجرية )إبلو

غراء عالي الدقة )PMMAق

آلة خلط الغراء مجهزة نشط التحكم في درجة الحرارة مصاصة )23 ± 0.1قمع التقلبات الحرارية

100 نانومترسمك الغراءالسيرة الذاتيةمعامل الاختلاف2%

(2)نانو بصمة قالب

حالةفريق4بوصة كوارتز قالبالأشعة فوق البنفسجية NILلاصق ، فراغ الامتزازسبرنامج التباطؤ الثانوي )6000 دورة في الدقيقة →2000rpmالانحدار ) ، والقضاء على microbubbles عيب الكثافة<0.1 / سم مربعمنتدى

5. عملية تشخيص الأعطال وحلها

6. اتجاه التنمية التكنولوجية

(1)ذكي ترقية

الذكاء الاصطناعيالتنظيم في الوقت الحقيقي :عبرCCDرصد هامش تدخل فيلم الغراء ،MLسرعة التكيف الدينامي ( زمن الاستجابة )<100msو

نظام التوأمة الرقميبناءً علىكومسولإنشاء نموذج محاكاة افتراضية تدور عملية الطلاء

(2)الحد من عملية التنمية

بعدين نقل المواد طلاء الروتاري المساعدة :تدور على سطح طلاء الجرافينPMMAدعم طبقة ، وكسر من خلال الحد من الركيزة التقليدية

يافا10nmطبقة لاصقة رقيقة جدا :تطوير الراتنجات منخفضة اللزوجة )η <1cPوسطلاء فائق السرعة )> 10000 دورة في الدقيقةو

الاستنتاج

تطبيق مقاومة للضوء المجانسة تمتد من أشباه الموصلات التقليدية إلى مجالات جديدة مثل التكامل غير متجانسة ، مرنة الالكترونية و أجهزة الكم . وستركز التوجهات المستقبلية على ما يلي :سيكلوفوسفاميدحجم كبيروالقدرة على التكيف من شكل الركيزة .الثانيرقيقة جداوعملية توسيع نافذة سميكة جدا طبقة لاصقة .ثالثاحلقة مغلقة نظام مراقبة ذكيمصنعي المعدات يجب أن تتعاون مع مقاومة للضوء الموردين لتحقيق-حرفة-سلسلة كاملة من المعدات الأمثل .