جيش تحرير كوسوفو التحقيق خطوة الصكعلى أساس ' التحقيق الاتصال المسح الضوئي + استشعار ردود الفعل ' التكنولوجيا ، 2D / 3D قياس الارتفاع ، تضاريس السطح ، والإجهاد من خطوة من نانومتر إلى ميكرون يمكن أن تتحقق من خلال الاتصال والمسح الضوئي بين التحقيق و سطح العينة ، جنبا إلى جنب مع ردود الفعل في الوقت الحقيقي تغيير التشرد من أجهزة الاستشعار عالية الدقة . وفيما يلي تحليل مفصل لمبادئ عملها :
مبدأ العمل الأساسي :
التحقيق الاتصال والمسح الضوئي
تصميم : استخدام الماس المسبار ، إبرة تلميح قطرها يمكن أن تكون صغيرة مثل 0.7 ميكرون أو أقل ، لضمان ارتفاع القرار الأفقي . المسبار اتصالات سطح العينة مع قوة خفيفة جدا ( 0.03-50mg ) لتجنب الضرر من المواد الناعمة أو الهشة ( مثل مقاومة للضوء ، رقاقة السيليكون ) .
طريقة المسح الضوئي : من خلال عينة الجدول أو التحقيق في الطائرة س ص تتحرك بسرعة موحدة ، التحقيق على طول السطح من الطراز القديم ، بسبب تقلبات سطح المجهرية ( على سبيل المثال ، خطوة ، خشونة ) z-axis الاتجاه النزوح .
أجهزة الاستشعار قياس ردود الفعل والتشريد
LVDC تكنولوجيا الاستشعار : جيش تحرير كوسوفو ع سلسلة خطوة متر ( على سبيل المثال ، ف - 7 ، ف - 17 ) باستخدام الجهد المنخفض السعة التفاضلية ( LVDC ) الاستشعار . التحقيق في الحركة يدفع شفرة معدنية رقيقة للتحرك بين اثنين من لوحات مكثف ، مما يؤدي إلى تغيير السعة التي يتم تحويلها إلى إشارة كهربائية و ردود الفعل في الوقت الحقيقي من التشرد .
المزايا : LVDC تصميم كتلة صغيرة ، شفرة الحركة الخطية ، والحد الأدنى من التباطؤ والاحتكاك ، الاتجاه الرأسي ( 0.01 Å 0.001nm ) مستوى القرار و مجموعة كاملة من عمودي عالية الدقة قياس .
قوة التحكم : LVDT ( خطي محول تفاضلي متغير ) استشعار للكشف عن شكل الربيع متغير ، دقة السيطرة على ضغط التحقيق ، لضمان قوة ثابتة المسح الضوئي ، وتحسين قياس الاتساق .
معالجة البيانات و تقديم ثلاثي الأبعاد
ارتفاع المشبك جمع : ض محور البيانات من عدة خطوط المسح الضوئي هي تقسم على شكل كثافة " ارتفاع المشبك " التي تغطي كامل مساحة سطح العينة ( على سبيل المثال ، ف - 17 يدعم 200 ملم مسح منصة ، لا تحتاج إلى تقسم ) .
إعادة بناء صورة ثلاثية الأبعاد : البرنامج يجعل من ارتفاع البيانات في صورة ثلاثية الأبعاد أو لون كفاف ، بصريا يعرض خصائص السطح ( مثل حافة الخطوة ، الخدوش ، نتوءات ) ، ويدعم قسم / خط استخراج البيانات .