1 - مقدمة :

الطباعة الحجرية هي واحدة من العمليات الرئيسية في تصنيع الدوائر المتكاملة ( IC ) ، التي تحتل 40 ٪ - 40 ٪ من

الجدول الزمني 50 ٪ . في عملية الطباعة الحجرية ، ليس فقط آلة الطباعة الحجرية ، ولكن أيضا المواد الرئيسية ---- مقاومة للضوء . مقاومة للضوء هي واحدة من أهم المواد في صناعة أشباه الموصلات في كل عملية تصنيع الدوائر المتكاملة ، photoetching التكنولوجيا تمثل حوالي 35 ٪ من تكلفة تصنيع رقاقة ، هو جوهر عملية تصنيع أشباه الموصلات .

مقاومة للضوء هو خليط معقد يتكون أساسا من المذيبات العضوية ، البوليمر الراتنج ، حمض حفاز ضوئي ( باغ ) و مساعد . photoacid هو العنصر الرئيسي في مقاومة للضوء ، الذي يلعب دورا حاسما في حساسية للضوء و القرار . نقاء و النجاسة السيطرة photoacids لها تأثير كبير على العائد من مقاومة للضوء و كل من منتجات أشباه الموصلات . إن photoacidants عادة ما تتألف من triphenylsulfur الموجبة شاردة شاردة جزء من polyfluorosulfonate جذرية ، في حين أن أنيون جزء أساسا لا يمتص الأشعة فوق البنفسجية ، electrofogging كاشف ( كندي ) لا تعتمد على المركبات النشطة ضوئيا ، ويمكن استخدامها بوصفها مثالية للكشف عن السيطرة على photoacidants الجودة .

مع trifluorobutyl السلفونات المشبع بالفلور أوكتين على سبيل المثال ، إمكانية مراقبة الجودة من حمض حفاز ضوئي مع كندي هو بحث .

electrospray الكاشف ( كندي ) هو نوع جديد من العام الكاشف الذي تم تطويره في السنوات الأخيرة . الكشف لا علاقة له مع التركيب الجزيئي من المواد التي يجري اختبارها ، لا تحتاج إلى أن تكون مؤينة ، طالما أن المواد التي يجري اختبارها هي شبه متقلبة أو غير متقلبة المركبات ، يمكن الكشف عنها بواسطة كندي . في نفس الوقت

كاد هو نوع من نوعية حساسة للكشف عن حجم المواد التي يتم الكشف عنها استجابة قيمة يتحدد الكتلة المطلقة من العينات التي تم الكشف عنها ، طالما أن الكتلة المطلقة من العينات التي تم الكشف عنها هي نفسها ، وقياس قيمة الاستجابة تميل إلى أن تكون هي نفسها تقريبا ، ويمكن الحصول على أقل حد الكشف و حساسية أعلى .

ضباب كهربائي للكشف عن ( كندي ) هي واحدة من أهم المنجزات العلمية والتكنولوجية التي حققها فريق البحث والتطوير yingmai الصك بعد سنوات من البحث المكثف و تكرار التجارب . كاشف يستخدم متقدمة الكهربائية والانحلال التكنولوجيا ، ويمكن تحقيق حساسية عالية وعالية الدقة للكشف عن تتبع العينات .

2 . الصكوك والمواد :

الصك : اجيلنت 1200 كروماتوجرافيا سائلة + كاد كاشف

الكواشف : المياه النقية ( Watsons الماء المقطر ) ، الأسيتونيتريل ( الكروماتوغرافي النقي ) ، حمض الفورميك ( التحليلية الصرفة ) عينات : trifluorobutyl sulfonium السلفونات المشبع بالفلور أوكتين triphenyl الملح .

3 - المنهجية والنتائج :

3-1 شروط التسجيل :

درجة الحرارة : 55 ℃ سرعة التدفق : 0.4ml / min كمية العينة : 5

المرحلة المحمول : 0.2 ٪ حمض الفورميك الحل ب : الأسيتونيتريل

عملية الاستخراج الانحدار المشروط

كاد الشرط :

درجة الحرارة : 40 ℃ الانحلال تدفق الهواء : 3 لتر / دقيقة الاستقطاب الحالي : 1 μ a الاستقطاب تدفق الهواء : 1 لتر / دقيقة

3-2 إعداد العينة :

مخفف : الميثانول والميثانول المياه ( 1 : 1 ) إعداد trifluorobutyl sulfonium الملح أم الخمور 2000 ميكروغرام / مل ، حل في الميثانول النقي الحل . تمييع الأم الخمور مع الميثانول والماء ( 1 : 1 ) الحل خطوة بخطوة .

100 و 1000 ميكروغرام / مل من سلسلة من الحلول .

3-3 النتائج التجريبية :

3-3-1 انطباق المنهجية

في ظل حالة من هذا الأسلوب ، الوقت الاحتفاظ أنيون الكاتيون هو مناسبة ، وفصل درجة ، شكل ذروة ذروة الاستجابة كلها جيدة .

3-3-2 الحساسية المنهجية

1 ميكروغرام / مل ، 5 ميكرولتر ؛ triphenylsulfur يستجيب جيدا مع إشارة إلى نسبة الضوضاء 1097.4 ( الجمعية الأمريكية ) . trifluorobutyl السلفونات المشبع بالفلور أوكتين استجابة جيدة ، نسبة الإشارة إلى الضوضاء 122.9 ( الجمعية الأمريكية )

3-3-3 التكرار

تكرار 6 الإبر ، RSD ٪ من منطقة الذروة من triphenylsulfur 0.880 ; منطقة الذروة من trifluorobutyl سلفونات

RSD ٪ 1.222 ٪ أقل من 2 ٪ ، مما يدل على أن هذه الطريقة جيدة التكرار .

3-3-4 الخطي

تركيز 1 ~ 1000 ميكروغرام / مل ، معامل الارتباط ص triphenylsulfur 0.99995 ; معامل الارتباط من trifluorobutyl سلفونات هو 0.99976 ، الخطي جيدة ، مجموعة خطية واسعة .

والنتائج التجريبية :

في هذه الورقة ، hplc-cad استخدمت طريقة تحليل الأنيونات في صور حمض . هذا النظام لديه حساسية عالية ، ايون الانفصال والتكرار جيدة ، واسعة النطاق الخطي ، ويمكن استخدامها بوصفها طريقة تقييم photoacid وكيل .

hplc-cad الأسلوب له مزايا عملية بسيطة ، خصوصية عالية وحساسية عالية ، ويمكن استخدامها لمراقبة الجودة و طريقة تقييم photoacid وكلاء .