وفيما يلي وصف تفصيلي لاستخدام نظام تبخير مزدوج الميل :
تحديد ومراقبة المعايير الأساسية
ضعف الميل آلية التنظيم التعاوني
المرحلة الأولى من التبخر : زاوية صغيرة ( 5 ° - 20 ° ) هو المعتمد لتحقيق الميل محاذاة جزيئات الكريستال السائل .
المرحلة الثانية : تبخير الركازة تدور 90 درجة ، مع زاوية أكبر ( 20 درجة - 45 درجة ) على شكل طائرة التوجه . هذه العملية تحتاج إلى ضبط زاوية الميل من محورين في وقت واحد ، وتجنب الانحراف السمت مما يؤدي إلى تفاوت قبل الميل .
ديناميكية خوارزمية التعويض : مساحة كبيرة من الطلاء ، في الوقت الحقيقي زاوية استشعار ردود الفعل ، من خلال تعديل PID التحكم الميكانيكية الانجراف ، لضمان دقة ± 0.5 درجة زاوية .
التحكم في درجة الحرارة فراغ
ارتفاع درجة الحرارة خطوة استراتيجية : انخفاض سرعة التبخر ( < 100 ℃ ) في المرحلة الأولية لإزالة بخار الماء الامتزاز ، تبخير المرحلة الرئيسية ترتفع إلى نقطة الغليان ± 5 ℃ ، بعد الانتهاء من انخفاض درجة الحرارة إلى أقل من نقطة انصهار لمنع التكتل .
فراغ إدارة التدرج : المعالجة فراغ ≤ 5 × 10 ⁻ تور إزالة الغاز ، التبخر المرحلة للحفاظ على 10 ⁶ - 10 ⁻ تور للحد من تأثير التشتت ، جنبا إلى جنب مع الهليوم مطياف الكتلة للكشف عن تسرب في الوقت الحقيقي رصد معدل التسرب .
توحيد عملية التشغيل
الركيزة التحميل وتحديد المواقع
التسطيح ( خطأ أقل من 2 μ م ) تم معايرة مع تداخل الليزر . منحني سطح الركيزة يجب أن تكون مطابقة مع لاعبا اساسيا خاصة مع نصف قطرها انحناء أكثر من 50 ملم لتجنب الإجهاد تشوه .
متعدد المراحل عملية التبخر
قبل التنظيف : البلازما قصف سطح الركيزة لمدة 5 دقائق ، زاوية الاتصال انخفض إلى أقل من 10 ° زيادة التصاق .
محورين : طبقة sio ₂ تبخرت بشكل غير مباشر ( ثيتا ₁ = 70 ° ) في 8 آلاند / ث معدل ، مما أسفر عن 5 ° - 35 ° pretilt ; بعد تناوب الركيزة الثانية قطب المعادن ، تينيسي مربع نوع الترتيب الجزيئي تم بناؤها من قبل
الصلب في الموقع : تبدأ وحدة التحكم في درجة الحرارة على الفور بعد التبخر والتبريد إلى درجة حرارة الغرفة في 5 ℃ / دقيقة ، والإفراج عن الإجهاد المتبقية .
ثالثاً - حلول المشاكل المشتركة
التوحيد الأمثل
قمع تأثير الظل : استخدام التمويه انحناء التبخر المصدر ( ك > 0 ) إلى زيادة معدل الترسيب بنسبة 30 في المائة ، والقضاء على مصدر مستو التقليدية الناجمة عن مركز حافة رقيقة سميكة عيب .
تعويض الحركة : نسبة سرعة الثورة إلى سرعة دوران 3 : 1 ، والقضاء على " ذيل المذنب " على شكل شريط .
خطأ التشخيص السريع
تحذير : على الفور وقف التبخر ، والتحقق من مقاومة التأريض ( عادة أقل من 1 Ω ) و زمن الاستجابة ( أقل من 0.2 ثانية ) .
فراغ : اختبار ضغط الختم الدائري ( شاو صلابة 70 ± 5 ) ، صمام بوابة إغلاق التخليص ( أقل من 0.1mm ) تباعا ، والقضاء على إمكانية نشر في الغلاف الجوي .
مواصفات الصيانة
الصيانة اليومية
تغمس في قماش خالية من الغبار يوميا مع الكحول لتنظيف بقايا داخل تجويف ، مع التركيز على إزالة الكربون التدريع قطعة 3 .
استبدال مضخة الزيت كل أسبوع وتسجيل وقت فراغ الانتعاش ( معيار ≤ 30 دقيقة تصل إلى 5 × 10 ⁻ تور ) .
معايرة الدوري
الصيانة الفصلية : استخدام الكوارتز الكريستال المذبذب لمعايرة قيم الاستشعار ، الانحراف أكثر من ± 5 ٪ عند استبدال التحقيق .
إصلاح السنوية : تفكيك الدورية المشتركة لتنظيف أكسيد ، تجديد التوصيل الحراري سيليكون الشحوم طبقة ( سمك 0.2mm ) .
هذه هي النقطة الرئيسية في تراجع مزدوج نظام التبخر . فقط من خلال التقيد الصارم بهذه القواعد التقنية ، يمكننا الاستفادة الكاملة من أداء المعدات ، وتعزيز التقدم المحرز في عملية تصنيع المكونات البصرية .