وفيما يلي وصف شامل عن أخطاء شائعة في شعاع الالكترون التبخر طلاء وحلولها ، بما في ذلك المشاكل النموذجية ، وتحليل الأسباب والحلول .
عدم كفاية فراغ
ظاهرة
غرفة الضغط العالي ، مما يؤدي إلى أكسدة الفيلم ، والتلوث ، أو انخفاض القوة الملزمة .
الأسباب المحتملة
تدهور أداء مضخة فراغ : الميكانيكية مضخة / مضخة نشر تدهور النفط ، المنخل الجزيئي الامتزاز التشبع .
ختم الفشل : نافذة المراقبة / صمام / شفة الشيخوخة الضرر ؛
تسرب الهواء نقطة : خط أنابيب لحام ، واجهة حشية تسرب طفيف .
حل
استبدال مضخة الزيت : استبدال مضخة زيت السيليكون نشر دوريا ( سنويا ) ، وتنظيف النفايات الميكانيكية مضخة الزيت .
الكشف عن تسرب إصلاح : بعد إغلاق جميع الصمامات ، والحفاظ على الضغط اختبار القسم الفرعي ، حقن الهيليوم مساعدة للعثور على تسرب نقطة .
الاستفادة المثلى من عملية الضخ : إطالة وقت الضخ ، فتح صمام عالية بعد انخفاض فراغ مستقرة .
الهدف ذوبان غير طبيعي
ظاهرة
لا تبخر يحدث بسبب ذوبان المحلية الاخرق ، تكسير ، أو unmelting الهدف .
الأسباب المحتملة
كثافة شعاع عالية جدا : خيوط الحالية / تسريع الجهد يتجاوز عتبة ، قوة لحظية كبيرة جدا .
فشل نظام تبريد المياه : انسداد أنابيب التبريد ، ومضخة مياه الفشل ، تراكم الحرارة .
الموصلية الكهربائية من المواد المستهدفة الفقراء : تراكم الشحنة الكهربائية السيراميك نوع المواد يؤدي إلى إشعال النار .
حل
ضبط شعاع المعلمات : زيادة تدريجية في خيوط الحالية فقط حتى قوس ، لتجنب الطفرة .
حفر دائرة التبريد : إزالة وتنظيف فلتر ، واستبدال المياه المتأينة ، واختبار تدفق المياه ؛
قبل ذوبان العلاج : عزل المواد المستهدفة قبل القصف على سرعة منخفضة إلى تبديد تهمة السطحية ، إضافة قفص فاراداي الدرع .
تفاوت سماكة الفيلم أو الجسيمات الزائدة
ظاهرة
هناك اختلافات كبيرة في سمك ، قشر البرتقال الحبوب أو الحبوب العيوب على سطح الركيزة .
الأسباب المحتملة
شعاع الالكترون المسح الاستقرار : انحراف شعاع بقعة بسبب انحراف الملف اللولبي .
الميل : بوتقة بوتقة تشوه في درجة حرارة عالية مما يؤدي إلى مستوى السائل الميل .
مصدر المواد الشوائب : الهدف نقاء غير كافية ، تحتوي على المكونات المتطايرة .
حل
معايرة مسار الشعاع : استخدام الشاشة الفلورية لمراقبة شعاع بقعة الموقف ، ضبط انحراف لفائف الحالية ؛
اختيار عالية النقاء المواد المستهدفة : استخدام أكثر من 99 ، 99 ٪ سبيكة معدنية ، المعالجة لإزالة أكسيد النطاق ؛
تحسين تصميم لاعبا اساسيا : التأكد من أن المسافة بين الركيزة و تبخير المصدر هو نفسه ، بالإضافة إلى ذلك ، يتم إضافة آلية التناوب الكواكب الناقل .
انخفاض التصاق الفيلم
ظاهرة
تعريشة اختبار أو تقشير تقشير مساحة كبيرة في وقت لاحق .
الأسباب المحتملة
عدم كفاية تنظيف سطح الركيزة : النفط ، والأكسدة عرقلة الرابطة على المستوى الذري .
زاوية السقوط انحراف كبير : تأثير الظل يضعف قوة واجهة بسبب ترسب مائل .
انخفاض درجة حرارة الركيزة : عدم تفعيل الحرارية يمكن أن تعزز الروابط الكيميائية .
حل
تعزيز المعالجة : بالموجات فوق الصوتية + بلازما تنظيف الوضع المزدوج ، بعد التجفيف مباشرة في تجويف ;
ضبط زاوية الجدول : جعل تبخر تدفق الهواء عمودي على سطح الركيزة .
مع الركيزة التدفئة : تحديد درجة حرارة التسخين وفقا لخصائص المواد ( على سبيل المثال ، 150-300 ℃ المعادن ) .
عالية الجهد التفريغ شرارة
ظاهرة
كثرة اثار التوقف في حالات الطوارئ الحماية ، يرافقه ضجيج عال و شرارة .
الأسباب المحتملة
سوء التأريض : معدات شل / بندقية رئيس التأريض المقاومة المفرطة ؛
تأين الغاز المتبقي : انهيار الغاز عند فراغ منخفضة جدا .
المسافة بين القطب الكهربائي هو قريب جدا : عدم كفاية الجهد التسامح بين الكاثود و الأنود .
حل
الكمال نظام التأريض : وضع الأرض بشكل مستقل ، مقاومة التأريض < 4 Ω .
تعزيز استراتيجية متدرجة : أولا ، انخفاض الطاقة قوس ، ثم ببطء زيادة الجهد التشغيل ؛
إضافة إلى خنق : قمع الاندفاع الحالي وتأخير ارتفاع الجهد .
معدل الفشل من شعاع الالكترون التبخر طلاء يمكن أن تقلص إلى حد كبير من خلال منهجية التحقيق وتوحيد العملية . المفتاح يكمن في إنشاء عملية موحدة ( سوب ) ، وتحليل الاتجاهات مع الجمع بين المعدات سجل لتحقيق التحول من الصيانة السلبية إلى الوقاية الفعالة .