نظام ترسب طبقة الذريةمن خلال آلية التفاعل الذاتي الحد ، دقة السيطرة على المستوى الذري نانومتر الحجم رقيقة الأفلام التي تم الحصول عليها . هذا الأسلوب يجعل من استخدام الخصائص المتأصلة في سطح التشبع التفاعلات الكيميائية ، ويسمح فقط طبقة واحدة من الذرات والجزيئات التمسك سطح الركيزة في كل نبضة ، وبالتالي ضمان طبقة التحكم في نمو الفيلم .1 ، جوهر النظام يكمن في عملية رد الفعل الذاتي التشبع خطوة بخطوة . السلائف يتم إدخالها إلى دائرة رد الفعل بالتناوب في توقيت تسيطر عليها بدقة ، بعد كل السلائف يتفاعل بشكل خاص مع سطح الركيزة ، رد فعل الجزيئات يمكن إزالتها لتجنب الإفراط في الترسيب . هذا النوع من " نبض - تطهير " نموذج دورة أشكال طبيعية علاقة القياس ، مما يجعل كل خطوة من ردود الفعل بدقة تقتصر على طبقة واحدة الحجم الذري ، وتوفير المستوى الجزيئي لضمان دقة التحكم في سمك .
2 ، من خلال دقة ضبط الوقت ، درجة الحرارة ، وتدفق الغاز وغيرها من المعلمات من كل رد فعل خطوة ، يمكن تحقيق غرامة السيطرة على معدل نمو الأغشية الرقيقة . هذا النظام يمكن أن تبقي على نمو القرار دون المستوى المصري ، مما يسمح للباحثين لبناء مستمر رقيقة الأفلام من عدة طبقات الذرية إلى مئات نانومتر وفقا لمتطلبات التصميم . هذا النوع من القدرة التنظيمية ليس فقط يظهر في كل سمك ، ولكن أيضا من خلال تغيير رد الفعل على نطاق النانو من خلال تعديل التركيب الكيميائي و التركيب البلوري للأفلام .
ونظام ترسب طبقة الذريةميزة التكنولوجيا تكمن في شكل ممتاز الحفاظ على الممتلكات . حتى على السطح مع ارتفاع نسبة الجانب هيكل ، هذه التكنولوجيا يمكن أن تضمن تغطية موحدة من الفيلم ، مما يجعلها ذات قيمة كبيرة في مجال تصنيع أجهزة النانو . من خلال تصميم متعدد الطبقات ، ومراقبة دقيقة ، وظيفة معقدة من المواد التي يمكن بناؤها .
ناضجة تطبيق هذه التكنولوجيا توفر الدعم الرئيسي لتطوير تكنولوجيا النانو . من البحوث الأساسية إلى التطبيقات الصناعية ،نظام ترسب طبقة الذريةتعزيز حدود النانو علوم المواد ، وفتح إمكانيات جديدة للجيل القادم من الأجهزة الإلكترونية ، وتحويل الطاقة والمواد الطبية الحيوية التطبيقات .