انتقال الإلكترون المجهر القوة الكهربائية في الموقع نظامهو في الموقع توصيف الجهاز الذي يدمج الميكانيكية التحميل ، اختبار الكهربائية و انتقال الإلكترون المجهر ( تيم ) التصوير عالية الدقة ، جوهر هو أن المسح التحقيق ، وأجهزة الاستشعار القوة الكهربائية اختبار وحدة تضاف إلى انتقال الإلكترون المجهر عينة قضيب ، والتي يمكن الحصول على البيانات من البنية الذرية و الخواص الكهربائية والميكانيكية في وقت واحد .

　　انتقال الإلكترون المجهر القوة الكهربائية في الموقع نظاميتكون أساسا من الأجزاء التالية :

القوة الكهربائية في الموقع عينة بار : باعتبارها العنصر الأساسي ، عينة بار المدمج في رقاقة ممس ، القوة الكهربائية المركبة متعددة مجال التحكم الآلي وردود الفعل قياس . التصميم يحتاج إلى تلبية متطلبات الحد من انتقال الإلكترون المجهر تجويف الفضاء ، وفي الوقت نفسه ضمان الاستقرار الميكانيكية العالية ، الكهرومغناطيسية التدريع الأداء الجيد ، وذلك لتجنب تشكيل تدخل على مسار الضوء من التصوير .

ممس الميكانيكية المكهربة رقاقة : نظام الكهروميكانيكية الدقيقة ( ممس ) التكنولوجيا المستخدمة في تجهيز الحقل الكهربائي والميكانيكا التحميل لتحقيق السيطرة المستقلة . تصميم رقاقة يجب أن تأخذ في الاعتبار عالية الدقة الميكانيكية والكهربائية تحميل إشارة الإرسال .

الميكانيكية نظام التحكم في درجة الحرارة : دعم دينامية الملكية الميكانيكية اختبار في درجة حرارة عالية ، وتلبية متطلبات الموقع وصف القطب * الشرط .

وحدة تحكم كهربائية : المتكاملة الحالية والجهد وحدة الاختبار ، ودعم التلقائي الحالية والجهد ( الخامس ) قياس ، قياس الوقت الحالي ( تي ) ، مع وظيفة التلقائي تخزين البيانات . نطاق الجهد الناتج يشمل الوضع العادي ± 10V و وضع الجهد العالي ± 150V لتناسب مختلف الاحتياجات التجريبية .

nanoprobe نظام التشغيل : تحقيق دقة عالية من التلاعب في التحقيق من خلال محرك كهرضغطية السيراميك ، وضمان سلاسة حركة التحقيق ، وتحقيق دقة عالية في الموقع مراقبة التجربة .

ملحق حزمة إبرة تلميح إعداد النظام : توفير الأدوات المساعدة والمعدات اللازمة من أجل إعداد التجربة ، وضمان سلامة وملاءمة التجربة العملية .