هناك العديد من العوامل التي تؤثر على دقة تصنيع أشباه الموصلات رقاقة ، بما في ذلك أداء المعدات ، قطع المعلمات العملية ، رقاقة المواد وتجهيزها .
أداء المعدات
نظام التحكم في الحركة : المحرك الخطي مدفوعة مع دقة عالية مقضب حاكم ، يمكن تحقيق نانو الاستيفاء ، مثل سيمنز 840dsl نظام التصنيع باستخدام الحاسب الآلي . عالية الدقة التشفير محرك سيرفو يمكن ضمان الحد الأدنى من سرعة تقلب ، وبالتالي ضمان دقة واستقرار الحركة .
دقة تحديد المواقع : دقة تحديد المواقع يشير إلى دقة تحديد موقع القطع من المعدات ، من خلال التشفير الخطي و تداخل الليزر يمكن تحقيق مستوى النانومتر لتحديد المواقع ، بعض النماذج يمكن أن تصل إلى ± 0.1
تكرار دقة تحديد المواقع : يعكس استقرار نظام الحركة من المعدات ، بعد اعتماد نظام مراقبة دورة مغلقة ، تكرار دقة يمكن التحكم في مستوى منخفض نسبيا ، على سبيل المثال ، ميتسوبيشي موتور MGK سلسلة يمكن التحكم في تكرار دقة ± 0.08 ميكرون .
شفرة أو قطع الجودة : شعاعي نفد من شفرة سوف تؤثر على دقة القطع ، رمح الرئيسي تكنولوجيا التوازن الديناميكي يمكن السيطرة على شفرة الانحراف في نطاق معين ، مثل طوكيو الدقة dfd8510 نموذج باستخدام الهواء مع رمح الرئيسي سوف يقلل من نفد من 0.3 ميكرون . على سبليت ، ارتداء درجة سوف تؤثر أيضا على دقة الفص ، تحتاج إلى اختبار واستبدال بانتظام .
قطع المعلمات
سرعة القطع : قطع عالية السرعة يمكن أن يؤدي إلى عدم استقرار قوة القطع ، بحيث حافة رقاقة غير النظامية أو حتى كسر . سرعة بطيئة جدا يمكن أن تؤثر على كفاءة الإنتاج ، ويمكن أن يسبب الضرر الحراري على رقاقة بسبب تراكم الحرارة لفترة طويلة .
عمق القطع : عمق القطع يجب أن تسيطر عليها بدقة وفقا لسمك رقاقة وخصائص المواد .
معدل التغذية : معدل التغذية يجب أن تتطابق مع سرعة القطع و عمق القطع لضمان الاستقرار والدقة في عملية القطع ، وإلا فإنه قد يؤدي إلى مزيد من الضغوط الميكانيكية ، مما أدى إلى رقاقة كسر أو تشوه .
رقاقة المواد وتجهيزها
رقاقة المواد الخصائص : مختلف مواد أشباه الموصلات صلابة ، الهشاشة ، والحساسية الحرارية ، وهلم جرا ، سوف تؤثر على تأثير القطع . على سبيل المثال ، رقاقة السيليكون من الصعب نسبيا ، نيتريد الغاليوم وغيرها من المواد هي أكثر هشاشة ، تحتاج إلى استخدام مختلف البارامترات التكنولوجية وقطع الطرق .
رقاقة نوعية السطح : نظافة سطح رقاقة يؤثر بشكل مباشر على تأثير القطع ، إذا كان السطح يحتوي على جزيئات أو المواد الكيميائية المتبقية ، قد يؤدي إلى قطع الطريق من مسار محدد سلفا ، وزيادة خطر رقاقة تكسير . وبالإضافة إلى ذلك ، فإن طريقة تثبيت رقاقة يمكن أن تؤثر أيضا على دقة القطع ، وعدم تثبيت رقاقة قد يؤدي إلى التشرد في عملية القطع .
العوامل البيئية : التغيرات في درجة الحرارة والرطوبة قد تؤثر على حالة رقاقة والمعدات ، وارتفاع درجة الحرارة قد يؤدي إلى توسيع رقاقة المواد ، مما يؤثر على دقة القطع . انخفاض الرطوبة قد يؤدي إلى تراكم الكهرباء الساكنة ، امتصاص الغبار وغيرها من الشوائب ، مما يؤثر على جودة القطع . ولذلك ، الحفاظ على درجة حرارة ثابتة والرطوبة البيئة أمر بالغ الأهمية لضمان دقة تصنيع أشباه الموصلات رقاقة آلة .