ري رد الفعل ايون الحفر هي المعدات الأساسية في تصنيع أشباه الموصلات ، ممس ، والضوئيات . ومع ذلك ، عالية التردد التفريغ البلازما ، رد فعل تآكل الغاز وارتداء أجزاء الميكانيكية غالبا ما يؤدي إلى تدهور أداء المعدات أو حتى الفشل . في هذه الورقة ، من ثلاثة أبعاد : تجويف الصيانة ، وصيانة أنابيب الغاز الكهربائي ، وإدارة ، ونحن تقاسم المهارات العملية لإطالة عمر ري رد الفعل ايون الحفر ، والتي يمكن أن تساعد الشركات على الحد من خطر اغلاق وتحسين الكفاءة الشاملة للمعدات ( OEE ) .

نصيحة 1 : تنظيف تجويف : إزالة بقايا الحفر بانتظام ، ومنع التلوث والتفريغ غير طبيعي

تجويفري رد الفعل ايون الحفرالبوليمر ترسب المعادن الاخرق و رد فعل ثانوي التي تنتجها عملية النقش يمكن أن تعلق على جدار تجويف ، قطب كهربائي ، نافذة المراقبة . وفي حالة عدم تنظيف هذه المخلفات في الوقت المناسب ، يمكن أن تؤدي إلى المشاكل التالية :

البلازما الاستقرار : إيداع التغييرات توزيع المجال الكهربائي في تجويف ، مما يؤدي إلى التفريغ الجزئي غير طبيعي ، مما يؤدي إلى تفاوت معدل النقش أو الانحراف التكنولوجي .

تلوث الجسيمات : تقشير بقايا قد تقع على سطح رقاقة ، مما تسبب في ارتفاع معدل عيب .

ضبابي نافذة المراقبة : البوليمر تغطي نافذة المراقبة ، التي تؤثر على عملية الرصد ومعدات التصحيح .

اقتراحات عملية :

التنظيف اليومي : استخدام قماش خالية من الغبار غمس الآيزوبروبيل الكحول ( IPA ) أو غرفة خاصة الأنظف ، مسح جدار الغرفة و نافذة المراقبة ، وإزالة الرواسب فضفاضة .

تنظيف عميق الأسبوعية :

إغلاق المعدات وتفريغ تجويف ، إدخال الأكسجين ( س ) البلازما ، والأكسدة ، تحلل البوليمرات العضوية .

تجويف مع تلوث المعادن الثقيلة يمكن أن تكون محفورة وتنظيفها باستخدام البلازما trifluoromethane بدلا من ذلك .

الصيانة الشهرية : إزالة أجزاء تجويف ، غمر مع التردد و حمض النيتريك ( HNO ) خليط سائل التنظيف ، وإزالة الرواسب المعدنية الحرارية .

نصيحة 2 : القطب الصيانة : السيطرة على التحيز و درجة الحرارة ، وتأخير أكسدة وتشوه

القطب هو العنصر الرئيسي في تطبيق الترددات اللاسلكية الجهد التحيز في المعدات ، سطح الدولة يؤثر بشكل مباشر على كثافة البلازما النقش التوحيد . وتشمل الأسئلة الشائعة :

قطب كهربائي الأكسدة : ارتفاع في درجة الحرارة مع الأكسجين أو بخار الماء يتفاعل على شكل طبقة أكسيد ، مما أدى إلى زيادة مقاومة الاتصال ، التحيز غير مستقر .

سطح النقش : رد الفعل الغاز تآكل المواد الكهربائي ، مما يؤدي إلى زيادة خشونة السطح ، مما يؤثر على المجال الكهربائي التوحيد .

التشوه الحراري : على المدى الطويل عملية ارتفاع درجة الحرارة يؤدي إلى الانحناء الكهربائي ، وتدمير رقاقة الكهربائي التوازي ، مما أدى إلى حفر عمق الانحراف .

اقتراحات عملية :

اختيار المواد : يفضل استخدام المواد المقاومة للتآكل أو المغلفة الكهربائي ؛

التحكم في درجة الحرارة

تركيب نظام تبريد المياه ، والحفاظ على درجة حرارة أقل من 40 ℃ القطب ، والحد من مخاطر التشوه الحراري ؛

ارتفاع في درجة الحرارة التكنولوجيا ، وذلك باستخدام تصميم التبريد لتجنب الانهاك المحلية ؛

المعالجة السطحية

طحن طبقة أكسيد بانتظام مع الصنفرة لاستعادة نعومة السطح .

على قطب تآكل خطير ، يمكن إعادة رش طلاء مقاومة للتآكل .

نصائح 3 : إدارة خط أنابيب الغاز : رقابة صارمة على تسرب ونقاء ، وتجنب التلوث من الشوائب

رد فعل الغازات المستخدمة في المعدات هي سامة للغاية ، والمواد المسببة للتآكل ، تسرب خط أنابيب الغاز أو نقاء غير كافية يمكن أن يؤدي إلى :

عملية الانحراف : النجاسة الغاز مختلطة في غرفة رد الفعل ، تغيير النقش اختيار نسبة أو معدل .

تآكل المعدات : تسرب الغاز تآكل صمام ، مقياس الجريان الشامل ( MFC ) وغيرها من المكونات ، وتقصير مدة الخدمة ؛

المخاطر المحتملة لسلامة : تسرب الغاز السام يمكن أن يؤدي إلى التسمم البشري أو خطر الانفجار .

اقتراحات عملية :

كشف التسرب

استخدام الهالوجين للكشف عن تسرب المياه والصابون يوميا للتحقق من وصلات الأنابيب .

الحفاظ على ضغط الهليوم اختبار الضغط العالي الأنابيب بانتظام .

نقاء السيطرة :

تثبيت جهاز تنقية الغاز لإزالة الشوائب مثل الأكسجين والرطوبة .

استخدام الغاز النقي جدا في العمليات الرئيسية .

استبدال الأنابيب :

استبدال جهاز فيديو موصل خرطوم معدنية كل 2 سنوات لتجنب ختم الفشل بسبب التآكل على المدى الطويل .

في كثير من الأحيان فتح وإغلاق الصمامات ، اختيار جميع المعادن ختم تصميم للحد من ارتداء .

الخلاصة : الصيانة الوقائية هو أكثر أهمية من الصيانة اللاحقة

تمديد خدمة الحياة من ري رد الفعل ايون الحفر يجب أن تبدأ مع التفاصيل ، والتي يمكن أن تقلل من معدل فشل المعدات بشكل ملحوظ من خلال تنظيف تجويف ، قطب كهربائي الصيانة و الصيانة المنتظمة من أنابيب الغاز . ويقترح إنشاء خطة الصيانة الوقائية ، جنبا إلى جنب مع تحليل سجل المعدات ، وتحديد المشاكل المحتملة في وقت مبكر . الممارسة تبين أن استراتيجية الصيانة العلمية يمكن أن يطيل عمر المعدات أكثر من 30 ٪ ، وتوفير ضمانة قوية ومستقرة تشغيل خط الانتاج .