سطح المكتب التلقائي قياس سماكة الفيلم الأساسية هي من خلال الوسائل المادية أو البصرية للكشف عن الاختلافات بين خصائص الفيلم و الركيزة ، تلقائيا بحساب قيمة الانتاج من سمك الفيلم ، نماذج مختلفة من حيث المبدأ مع فيلم مختلف السيناريوهات .
1 . الاتصال ( الميكانيكية يدقق في طريقة )
هذا هو المبدأ الأساسي . مسبار عالية الدقة أداة الاتصال سطح العينة ببطء ، والانتقال من الركيزة إلى الجزء العلوي من طبقة الفيلم ، من خلال ارتفاع فرق التحقيق الاستشعار ، قياس سماكة الفيلم مباشرة . فائدة نموذج يحتوي على مزايا عالية الدقة ، ومناسبة سميكة الأفلام ( مثل الأفلام المعدنية ، والطلاء ) ، ولكن يمكن أن تلحق الضرر قليلا على سطح العينة .
2 - الصيغة البصرية ( طريقة الانعكاس / الانكسار )
العمل مع انعكاس الضوء أو التدخل هو أيضا نوع شائع جدا من سطح المكتب . بعد أشعة الضوء المشع على سطح الفيلم ، انعكاس على السطح العلوي من الفيلم طبقة و انعكاس على واجهة الفيلم طبقة و قاعدة يمكن أن تحدث في وقت واحد . من خلال تحليل interferogram تباعد وكثافة ، جنبا إلى جنب مع معامل الانكسار البصري من الفيلم ، الفيلم سمك يمكن حسابها تلقائيا . مناسبة لأنّ فيلم ( على سبيل المثال ، البصرية فيلم ، فيلم أشباه الموصلات ) ، وعدم الاتصال نوع لا ضرر في العينة .
3 - طريقة الدوامة الحالية
وهي موجهة أساسا إلى فيلم موصل طبقة ( على سبيل المثال ، فيلم معدنية ) . التحقيق في الصك يولد المجال المغناطيسي بالتناوب ، عندما يكون المجال المغناطيسي بالقرب من فيلم موصل ، الدوامة الحالية سوف تنتج في الفيلم ، والتي بدورها سوف تؤثر على كثافة المجال المغناطيسي التحقيق . سمك الفيلم مختلفة ، وكثافة الدوامة الحالية هي أيضا مختلفة ، من خلال الكشف عن التغيرات في المجال المغناطيسي ، أداة التحويل التلقائي سمك الفيلم . فائدة نموذج مناسبة لأنّ سرعة الكشف عن المعادن فيلم موصل الطلاء ، وعدم الاتصال ، وكفاءة عالية .