أداة المجهر يلعب دورا رئيسيا في الكشف عن الخلل في رقاقة أشباه الموصلات ، عالية الدقة ومتعددة الوظائف يوفر الدعم الرئيسي رقاقة مراقبة الجودة .
أداة المجهر لديه القدرة على التصوير عالية الدقة ، ويمكن أن تظهر بوضوح المجهرية من سطح رقاقة ، مثل الأسلاك المعدنية ، الترانزستور ، وغيرها من المكونات الرئيسية في التشكل . من خلال الجمع بين النظام البصري مع دقة قياس تنسيق التكنولوجيا ، فإنه يمكن تحقيق submicron الكشف عن العيوب مثل الخدوش ، الشقوق والتآكل على سطح رقاقة ، وحتى تحديد العيوب الخفية مثل كسر نقطة صغيرة من الأسلاك المعدنية . هذا المستوى من الدقة هو أعلى بكثير من التقليدية التفتيش البصري ، والتي يمكن أن تمنع بشكل فعال في الكشف عن اي مشكلة .
على البعد الوظيفي ، أداة المجهر يدعم العديد من أساليب المراقبة ، مثل الضوء والظلام الميدان ، فرق التدخل المقابل ( DIC ) ، وما إلى ذلك ، يمكن أن تتغير بمرونة وفقا لخصائص المواد رقاقة عيب أنواع . على سبيل المثال ، من أجل الشفافية من مواد أشباه الموصلات في ضوء الأشعة تحت الحمراء ، الأشعة تحت الحمراء تكنولوجيا الإضاءة يمكن استخدامها للكشف عن العيوب في السطح جزءا لا يتجزأ من طبقة . في مجمع هيكل ثلاثي الأبعاد ، على النقيض من ذلك يمكن أن تتعزز من خلال الإضاءة المائلة ، عيب الاعتراف قيم يمكن تحسينها . هذه القدرة على الكشف عن طريقة متعددة يمكن أن تغطي كامل عملية تصنيع رقاقة ، الطباعة الحجرية ، النقش ، الخ .
في سلسلة صناعة أشباه الموصلات ، أداة المجهر يخترق التصنيع والتغليف . في مرحلة تصنيع رقاقة ، فإنه يمكن رصد مقاومة للضوء المتبقية والنقش التوحيد . في التعبئة والتغليف اختبار الرابط ، فإنه يستخدم للكشف عن نوعية الترابط من أسلاك الرصاص ، وربط الدولة من رقاقة الركازة ، الخ . من خلال الربط مع معدات التشغيل الآلي ، أداة المجهر يمكن تحقيق سرعة عالية على الانترنت الكشف عن العيوب يمكن تتبع آلية مع نظام تحليل البيانات ، وتوفير أساس عملية التحسين . هذا النوع من القدرة على إدارة ومراقبة الجودة في العملية برمتها ، وجعلها تصبح أداة أساسية لضمان رقاقة العائد وتعزيز صناعة أشباه الموصلات التكنولوجيا الترقية .