في الوقت الحقيقي الطاقة الطيف مجهر مسح بالإلكترون ( تيم ) هو نوع من المعدات التي تدمج مع مجهر مسح بالإلكترون ( SEM ) والطاقة الطيف تقنية التحليل ، والتي يمكن الحصول على معلومات عن تضاريس السطح والعناصر في الوقت الحقيقي في وقت واحد .
وظيفة .
ملاحظة : micromorphology نانومتر الحجم تضاريس السطح وهيكل يمكن ملاحظتها من خلال مسح سطح العينة بواسطة شعاع الالكترون عالية الطاقة ، وجمع الإلكترونات الثانوية و backscattered الالكترونات لتوليد صور عالية الدقة . ا
تحليل عنصري : متحمس مميزة الأشعة السينية المستخدمة في تحليل توزيع الطاقة لتحديد أنواع ومحتويات العناصر في microzones على سطح العينة . ا
في الوقت الحقيقي التحليل المتزامن : التصوير و طيف الطاقة اقتناء تتم بشكل متزامن ، والتي يمكن الحصول على المعلومات في الوقت الحقيقي من عناصر التوزيع ، والمحتوى ، وما إلى ذلك ، في حين أن مراقبة micromorphology ، وتجنب عملية معقدة من المعدات التقليدية " التصوير أولا ، ثم تحليل مكونات المعدات " .
عرض مرئي : عنصر التوزيع هو تحويلها إلى لون أطلس من خلال تقنية التصوير pseudocolor ومتراكبة مع SEM ، التوزيع المكاني من عناصر مختلفة في عينات يتم عرضها بشكل حدسي .
دقة الكشف : سريع سرعة المسح الضوئي ( بعض المعدات تحمل 10M إشارة شراء عرض النطاق الترددي ) ، ودعم بكسل واحد مستوى عنصر تحديد المواقع بدقة تتبع العناصر النزرة / التحليل الكمي خطأ صغير ، والتشغيل الآلي عالية ، مبتدئ يمكن أن تبدأ بسرعة .
عينة التطبيق : متوافق مع المعادن ، والسيراميك ، مواد البطارية ، والطلاء ، لينة المواد ، والعينات البيولوجية ، وغيرها من أنواع مختلفة ، بعض المعدات لدعم وضع فراغ منخفضة ، يمكن أن تقلل من تأثير العزل تهمة عينة ، لا تحتاج إلى تعقيد إعداد العينات .
سيناريوهات التطبيق
علم المواد وتكنولوجيا النانو : تحليل عنصري العزل من السبائك المعدنية ، تكوين التجانس من مواد السيراميك ، تشتت الدولة وتكوين جزيئات نانو ، ودعم تطوير مواد جديدة وتحسين الأداء .
الالكترونية و صناعة أشباه الموصلات : الكشف عن العيوب السطحية من رقائق الدوائر المتكاملة ، وتحليل تكوين نقاء أشباه الموصلات خط الربط ، والتحقق من الشوائب في مواد التعبئة والتغليف .
مجال البطارية والطاقة الجديدة : مراقبة توزيع العناصر من المواد الكاثود / الأنود بطارية ليثيوم أيون ( على سبيل المثال ، السيليكون الكربون القطب السالب ، النيكل الغنية القطب الموجب ) ، وتحليل تكوين واجهة بين المنحل بالكهرباء و الكهربائي ، وتحسين أداء البطارية .
مراقبة الجودة الصناعية : تحديد نقاء المواد من المنتجات المعدنية ( على سبيل المثال ، خواتم ، سبائك أجزاء ) ، اختبار سمك الطلاء وتكوين التوحيد ، والتحقيق في تآكل السطح ، إدراج وغيرها من العيوب .
الجيولوجيا والمعدنية : تحليل الصخور والمعادن المجهرية والعناصر المكونة لها ، وتحديد أثر المعادن السحنة ، والمساعدة في استكشاف الموارد المعدنية والجيولوجيا البحث .
المجال البيولوجي : مراقبة بنية فوقية من الخلايا و تضاريس السطح من المواد البيولوجية ، وتحليل توزيع العناصر في العينات البيولوجية .