الليزر الكتابة المباشرة ( LDW ) التكنولوجيا هي واحدة من التقنيات الرئيسية في تصنيع النانو الصغيرة . . . . . . . وفيما يلي مسارات التحسين الرئيسية التي تم التحقق منها عمليا :
اختراق كفاءة الأجهزة
ترقية نظام الإضاءة
باستخدام عالية الطاقة ليزر الألياف بدلا من التقليدية ليزر الغاز ، جنبا إلى جنب مع التكيف نبض تعديل العرض ( APM ) التكنولوجيا ، كثافة الطاقة نبض واحد يمكن تعديلها بشكل حيوي وفقا لخصائص المواد . مع بقعة ضوء تشكيل وحدة ، بقعة ضوء دائري هو تعديل في مربع / مستطيل شقة أعلى التوزيع ، مما يجعل من استخدام الطاقة . مزدوجة الطول الموجي التعرض المركب هو عرض مخطط لتلبية متطلبات عالية الدقة وعالية السرعة بالقطع .
ابتكار نظام التحكم في الحركة
المحرك الخطي هو اختيار منصة القيادة ، جنبا إلى جنب مع التغذية المرتدة من مقياس النانومتر مقضب ، عالية السرعة لتحديد المواقع مع تسارع تصل إلى 5 جرام يتحقق . خفيفة الوزن من ألياف الكربون المستخدمة للحد من الجمود الشامل . قبل قراءة خوارزمية العازلة المتقدمة لتحليل مسار الحركة من ملفات CAD في وقت مبكر ، والقضاء على الوقت الضائع من العودة التقليدية المسح التدريجي .
المسار البصري الأمثل
في هذه الورقة ، فإننا تصميم مسار بصري هيكل ، والتي يمكن أن تغطي مساحة مزدوجة من خلال مسح واحد مرآة تعكس مجموعة . فتحة العدسة الأمثل تلقائيا المتطابقة وفقا لمتطلبات linewidth باستخدام متغير الفتحة نظام التكيف الدينامي ، وبالتالي تقليل الضوء الشارد التدخل . دمج نشط الوني عدسة مجموعة لضمان الاتساق في التركيز على أطوال موجية مختلفة .
ذكي مراقبة العملية
المعلمة مصفوفة التحسين
إنشاء قاعدة بيانات المواد المعلمة ، واختيار أفضل مزيج من دو التصميم التجريبي . تعرض هذه الورقة مجزأة استراتيجية تهدف إلى فقدان المقاومة : انخفاض القرار مسح سريع يستخدم في منطقة واسعة ، وارتفاع القرار هو طريقة تبديل هيكل غرامة . جرعة التعويض الخوارزمية هو عرض تلقائيا تصحيح حافة التعرض .
في الوقت الحقيقي رصد ردود الفعل
على متن نظام التصوير المحورية ، كل طبقة من التعرض على الفور بعد الكشف عن الأبعاد الرئيسية ( CDU ) . منظمة العفو الدولية تم تطوير نموذج لتحديد العيوب ، في الوقت الحقيقي العلامات غير طبيعي مثل كسر خط ، جسر ، وما إلى ذلك ، وعلامات تلقائيا إصلاح الإحداثيات . حلقة مغلقة نظام مراقبة أنشئت ، والتعرض المعلمات في المرة القادمة يتم تعديلها بشكل حيوي على أساس الكشف عن النتائج .
عملية الربط السلس
وضع تخطيط ذكي البرمجيات تلقائيا ترتيب الرسومات لتقليل القفز بالجو . ذكي التبديل بين شعاع الالكترون / ليزر تجهيز مختلط يتحقق . تكوين واجهة المعالج على الخط ، والانتهاء من التعرض ، والتنمية ، الخبز التلقائي تدفق .
ثالثاً - مضاعفة الكفاءة على مستوى النظام
هندسة الحوسبة الموزعة
تخطيط وتجهيز البيانات تتحلل إلى مجموعات متعددة العقدة ، النقطية خوارزمية تسارع الجرافيك هو المعتمد . وضع ناقل البيانات والجداول بروتوكول نقل البيانات في حين حساب تجهيز خط أنابيب . نشر وحدات الحوسبة الحافة ، وتجهيزها تكرار وحدة الرسومات على شكل مخبأ المكتبة .
تصميم وحدات
فائدة نموذج يعتمد على محرك الأقراص الضوئية للتبادل وحدة مناسبة لأنّ مختلفة الطول الموجي الاحتياجات . الهدف من تصميم برج الدورية بسرعة استبدال عدسة التكبير التبديل دون إعادة معايرة . ضبط تلقائي للصورة ( AF ) النظام هو مشكل و ميلي ثانية واحدة الطول البؤري تصحيح يتحقق من خلال التركيز المشترك إشارة .
نظام التصنيع الأخضر
وضع انخفاض استهلاك الطاقة الاحتياطية ، وانخفاض استهلاك الطاقة إلى 10 ٪ في غير فترة التجهيز . جمع الضوء المتناثرة المستخدمة في الإضاءة المحيطة ، استرداد الحرارة من النفايات الموردة إلى فرن التسخين . إنشاء نموذج للتنبؤ الحياة من المواد الاستهلاكية ، مما يشير إلى استبدال الوقت بدقة لتجنب التوقف المفاجئ .
رابعا : تعزيز هندسة العوامل البشرية
إنشاء عملية موحدة تدفق ( سوب ) ووضع المعايير المعقدة في المشهد الوصفة . تطوير ع مساعدة نظام الصيانة ، دليل المبتدئين بسرعة الانتهاء من الصيانة الروتينية . تنفيذ خطة الصيانة الوقائية ، والتنبؤ ارتداء حالة المكونات الميكانيكية من خلال الاهتزاز تحليل الطيف .