MFC( كتلة تدفق الغاز تحكم ) هو نوع من أداة دقيقة التي يمكن أن دقة قياس ومراقبة تدفق الغاز الشامل ، المبدأ الأساسي الذي يقوم على التوصيل الحراري أو فرق الضغط قياس التكنولوجيا ، من خلال أجهزة الاستشعار صمام التحكم لتحقيق دقة عالية ، والاستجابة السريعة من التحكم في التدفق ، وتستخدم على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات ، الهندسة الكيميائية ، الصيدلة ، والرصد البيئي ، وغيرها من المجالات .

　　MFCمجالات التطبيق :

تصنيع أشباه الموصلات

تدفق الغاز في عملية ترسيب الأبخرة الكيميائية ( CVD ) ، النقش ، ونشرها ، وما إلى ذلك يتم التحكم بدقة لضمان جودة رقاقة . على سبيل المثال ، رد فعل تدفق الغاز مثل سيلان هو التحكم لضمان التوحيد من ترسب الفيلم .

إنتاج المواد الكيميائية

رد الفعل الأمثل لتحسين كفاءة الإنتاج . على سبيل المثال ، رد فعل تدفق التحكم للسيطرة على معدل التفاعل الكيميائي والكفاءة .

صناعة المستحضرات الصيدلانية

ضمان دقة وموثوقية إمدادات الغاز العقيم . على سبيل المثال ، التحكم في تدفق المخدرات أو الغاز لضمان التشغيل العادي للمعدات الطبية .

رصد البيئة وإدارتها

رصد تدفق الغاز في الغلاف الجوي في الوقت الحقيقي ، وتوفير البيانات لدعم تقييم نوعية الهواء ، وتتبع مصادر التلوث ومكافحة التلوث . في معدات حماية البيئة ، مثل معالجة الغاز من النفايات ، وتنقية الهواء ، وما إلى ذلك ، تدفق الغاز في عملية العلاج يمكن التحكم بدقة ، وبالتالي ضمان أفضل تأثير العلاج يمكن أن يتحقق .

مجالات أخرى

قياس ومراقبة تدفق الكتلة من وقود الغاز في المرجل ، فرن تكسير . قياس تدفق الكتلة في صناعة البتروكيماويات ، وإنتاج النفط ، الشعلة الغاز ؛ قياس ومراقبة تدفق الهواء في فرن الاحتراق . تجهيز الأغذية ، الكلور التحكم في محطات المياه .