في صناعة أشباه الموصلات تصنيع الدقة سلسلة ، رقاقة الكشف هو المفتاح لضمان رقاقة العائد . مع رقاقة عملية اختراق نحو 7 نانومتر أو أقل ، دقة وكفاءة تكنولوجيا الكشف عن متطلبات صارمة . في الوقت الحاضر ، رقاقة الكشف عن التكنولوجيا الرئيسية في هذه الصناعة ، بما في ذلك الكشف البصري ، شعاع الالكترون الكشف مجهر القوة الذرية الكشف ، تلعب دورا هاما في الكشف عن مختلف السيناريوهات اعتمادا على المبادئ التقنية الخاصة بهم ، وبناء معا " شبكة واقية " رقاقة الجودة .

الكشف عن التكنولوجيا البصرية على أساس مبدأ " انتشار الضوء والتفاعل " هو التكنولوجيا الأساسية المستخدمة على نطاق واسع في رقاقة الكشف . في جوهرها ، فإنه يرسل شعاع ضوء الطول الموجي الخاص على سطح رقاقة من خلال نظام البصرية عالية الدقة ، ويستخدم خصائص انعكاس الضوء ، الانكسار ، نثر والتدخل لالتقاط المعلومات من رقاقة . عندما شعاع ضوء ينير خدش ، عيب أو نمط غير طبيعي في المنطقة على سطح رقاقة ، مسار انتشار الضوء سوف تتغير ، صورة الاستشعار عالية الدقة تحويل هذه التغييرات إلى إشارات كهربائية ، بعد الخوارزمية ، عيب الموقع والحجم ونوع البيانات التي تم إنشاؤها . هذه التكنولوجيا لديها مزايا عدم الاتصال ، سرعة عالية ، سرعة الكشف يمكن أن تصل إلى عشرات الإطارات في الثانية الواحدة ، والتي هي مناسبة للكشف عن العيوب دفعة في كامل عملية تصنيع رقاقة ، ولا سيما في ظهور عيوب الكشف عن أكثر من 28 نانومتر .

شعاع الالكترون تكنولوجيا الكشف يعتمد على " التفاعل بين الالكترونات والمواد " لتحقيق فائقة الدقة الكشف ، هو جوهر عملية متقدمة للكشف عن الوسائل . المبدأ هو أن الطاقة العالية شعاع الالكترون المنبعثة من بندقية الإلكترون تركز على سطح رقاقة ، والإلكترون والذرة من رقاقة المواد بعد الاصطدام ، والإلكترون الثانوية ، مرة أخرى غيوم الالكترونات وغيرها من الإشارات التي سيتم إنشاؤها . هناك فرق في الإشارات الإلكترونية متحمس من مواد مختلفة و مناطق مختلفة من الهياكل . من خلال جمع هذه الإشارات وتحويلها إلى صورة كاشف ، عيب و خصائص الدائرة نانومتر يمكن تحديدها بدقة . القرار من هذه التكنولوجيا يمكن أن تصل إلى مستوى 0.1nm ، ويمكن الكشف عن العيوب الصغيرة التي لا يمكن التعرف عليها بصريا ، ولكن الكشف عن سرعة بطيئة نسبيا ، هو أكثر ملاءمة للكشف عن الخطوات الرئيسية في عملية التصنيع المتقدمة أقل من 7nm ، مثل مقاومة للضوء نمط دقة التحقق من الأسلاك المعدنية عيب التحقيق ، وهلم جرا .

مجهر القوة الذرية ( فؤاد ) يستخدم " القوة بين الذرات " باعتبارها جوهر ، من أجل تحقيق المستوى الذري مورفولوجيا سطح رقاقة . العنصر الأساسي هو شعاع ناتئ نانومتر مع التحقيق ، عندما تقترب من سطح رقاقة ، التحقيق ذرة ذرة على سطح رقاقة سوف تولد قوة فان دير فال ، وما إلى ذلك ، مما يؤدي إلى تشوه طفيف من شعاع ناتئ . هذا النوع من التشوه يمكن الكشف عنها بواسطة شعاع الليزر طريقة التفكير ، والمسافة بين التحقيق و رقاقة يمكن تعديلها في الوقت الحقيقي من خلال الجمع بين نظام مراقبة ردود الفعل . هذه التكنولوجيا لا يمكن إلا أن الكشف عن العيوب السطحية ، ولكن أيضا الحصول على الخصائص الفيزيائية مثل خشونة السطح ، معامل المرونة ، وما إلى ذلك ، هو مناسبة لأنّ دقة عالية المشهد مثل رقاقة طلاء السطح اختبار الجودة ، وقياس حجم البنية النانوية ، وما إلى ذلك ، من أجل توفير البيانات الدقيقة لدعم عملية التحسين .

ثلاثة أنواع من تقنيات الكشف عن التركيز على بعضها البعض ، يكمل كل منهما الآخر ، لتلبية متطلبات متعددة رقاقة الكشف . الكشف البصري على أساس الكفاءة دفعة الفرز ، شعاع الالكترون الكشف عن دقة معالجة متقدمة للتغلب على الصعوبات ، مجهر القوة الذرية الكشف عن الخصائص المجهرية للمساعدة في تطوير التكنولوجيا . في عملية صناعة أشباه الموصلات خطوة إلى الأمام إلى أعلى دقة ، فهم عميق من المبادئ الأساسية لكل تقنية يمكن أن تختار خطة الاختبار وفقا للاحتياجات الفعلية ، وتوفير ضمان موثوق بها لكل خطوة من خطوات تصنيع رقاقة .