في مجال أشباه الموصلات ، علم المواد ، الخ .عالية الدقة المجهر بالأشعة السينيةمع اختراق قوي ، غير المدمرة اختبار ، أصبحت المعدات الأساسية لتحليل المجهرية . القرار المكانية ، على النقيض من حساسية التصوير مجال الرؤية هي ثلاثة مؤشرات أساسية لتقييم أدائها ، والتي تحدد مباشرة دقة تطبيق قيمة الكشف عن البيانات . أداء هذه المؤشرات ليست معزولة ، ولكن تتأثر بعوامل متعددة ، مثل الأشعة السينية مصدر خصائص النظام البصري تصميم كاشف الأداء .

القرار المكانية ، باعتبارها جوهر القدرة على رؤية التفاصيل الدقيقة ، هو أساسا تهيمن عليها مصدر الأشعة السينية الطول الموجي والتركيز قدرة النظام البصري . وفقا لمبدأ الحد حيود الأشعة السينية ، أقصر طول الموجة ، وارتفاع الحد الأعلى النظري القرار المجهر ، وبالتالي فإن مصادر الأشعة السينية مثل السنكروترون الإشعاع المصدر يمكن أن تحسن بشكل كبير من القرار ، في حين أن مصادر الأشعة السينية التقليدية في المختبر عادة ما تكون أقل قليلا من القرار بسبب الطول الموجي الحد . وفي الوقت نفسه ، أداء عنصر التركيز في النظام البصري هو أمر بالغ الأهمية ، سطح الدقة و نقاء المواد من عدسة التركيز تؤثر بشكل مباشر على تقارب شعاع التركيز . وبالإضافة إلى ذلك ، فإن المسافة بين العينة و الكاشف يمكن أن تؤثر أيضا على الحد من الكشف عن مجموعة معقولة يمكن أن تقلل من انتشار الإشارات ، وزيادة تحسين القرار المكانية .

على النقيض من حساسية يحدد قدرة المعدات على التمييز بين الفروق الدقيقة - العوامل الرئيسية التي تؤثر على قدرة المعدات تشمل كثافة الأشعة السينية للكشف عن الاستجابة . ارتفاع تدفق الفوتون من مصدر الأشعة السينية ، أكثر وضوحا الفرق في امتصاص الأشعة السينية ونثر في مناطق مختلفة من العينة ، أقوى إشارة التباين ، أحادي اللون مصدر الأشعة السينية يمكن أن تجنب الأشعة الضالة التدخل وتحسين الاستقرار على النقيض من ذلك . ارتفاع كفاءة الكم الكاشف يمكن التقاط إشارة ضعيفة على نحو فعال ، في حين أن القدرة على الاستجابة السريعة يمكن أن تقلل من غموض التباين الناجم عن إشارة التراص ، وخاصة في التصوير الديناميكي . وبالإضافة إلى ذلك ، فإن جودة إعداد العينة سوف تؤثر أيضا على النقيض من ذلك ، على نحو سلس سطح العينة و توزيع موحد سمك يمكن أن تقلل من الضوضاء في الخلفية ، حتى أن الفروق الدقيقة في هيكل أكثر وضوحا .

مجال الرؤية يجب أن تكون متوازنة بين القرار و الكشف عن الكفاءة ، التي تسيطر عليها أساسا مجال الرؤية البصرية ونظام فعال للكشف عن المنطقة . مجال الرؤية من النظام البصري يتحدد حجم عنصر التركيز و مسار الضوء تصميم أكبر مرآة أو عدسة يمكن أن تغطي مساحة أكبر من العينة ، ولكن قد تترافق مع انخفاض طفيف في القرار . فعالية مجموعة بكسل بكسل حجم الكاشف مباشرة تحديد الحد الأعلى من مجال التصوير ، مجموعة كبيرة الكاشف يمكن التقاط صورة أكبر في وقت واحد ، والحد من عدد من الربط ، وتحسين كفاءة الكشف . وتجدر الإشارة إلى أن المسح الضوئي والتصوير التكنولوجيا يمكن أن تبقي على ارتفاع القرار في نفس الوقت توسيع مجال الرؤية ، وهذا هو ، من خلال السيطرة على عينة من محطة متنقلة ، بحيث تركز بقعة بقعة المسح الضوئي عينة ، ثم عدد من الصور الصغيرة في مجال الرؤية فسيفساء كاملة في مجال الرؤية الكبيرة الصورة ، لتحقيق القرار و مجال الرؤية المزدوجة الأمثل .

ثلاثة مؤشرات أساسية عالية الدقة الأشعة السينية المجهر مترابطة ، و أدائها هو نتيجة عوامل متعددة . في الممارسة العملية ، من الضروري تحديد المؤشرات الأساسية في تركيبة مع متطلبات الاختبار ، ثم تحسين تكوين العناصر الرئيسية مثل الأشعة السينية المصدر ، النظام البصري ، كاشف . من أجل الاستفادة الكاملة من إمكانات أداء المعدات ، وتوفير أكثر دقة وكفاءة الدعم التقني للبحوث المجهرية ومراقبة جودة المنتج ، ونحن بحاجة إلى فهم عميق تأثير آلية كل مؤشر .