عدم الاتصال قياس سماكة طبقة الطلاء بواسطة الأشعة السينية مضان الإثارة و تحليل الإشارات - المبدأ الأساسي يمكن تقسيمها إلى أربعة أجزاء رئيسية : الإثارة مضان ، إشارة التقاط عنصر فصل حساب سمك .

الإثارة مضان

أداة محمولة على أنبوب الأشعة السينية الصغيرة ( مثل التنغستن الموليبدينوم الهدف أو الهدف ) ، تنبعث منها الطاقة العالية الأشعة السينية شعاع قابل للتعديل . عندما أشعة تخترق طبقة الطلاء ، الإلكترونات في الطبقة الداخلية من الذرة ( على سبيل المثال ، k-layer ) يتم طردهم على شكل تجاويف ، الإلكترونات في الطبقة الخارجية ( على سبيل المثال ، l-layer ) الانتقال إلى ملء ، تنبعث منها الأشعة السينية مضان مميزة . . . . . . . على سبيل المثال ، النيكل الطلاء يمكن أن تنبعث منها 8.26kev مميزة مضان تحت الإثارة ، والطاقة التي تتوافق تماما مع العدد الذري ، يصبح عنصر الاعتراف " بصمة " .

إشارة شراء

هناك فرق كبير في الطاقة الفلورية بين طلاء الركيزة . نوعين من إشارات مضان يتم التقاطها في وقت واحد من قبل عالية الدقة السيليكون الانجراف كاشف ( SDD ) . على سبيل المثال ، الذهب ( الاتحاد الافريقي ) و ( 8.05kev fluorescence 8.05kev ) على شكل قمم منفصلة في الطاقة الأطياف ، إشارة فصل يتحقق من خلال القنوات محلل ( MCA ) . إذا كان الطلاء هو سبيكة ( على سبيل المثال ، والقصدير والرصاص سبيكة ) ، إشارة مضان مختلطة يجب deconvolution . . . . . . .

حساب سمك

طريقة منحنى القياسية : كثافة مضان من العينات القياسية مع سماكة مختلفة تم قياسها مسبقا . على سبيل المثال ، أداة قياس 0.1-10 ميكرون طلاء النيكل ، من خلال 20 مجموعات من العينات القياسية لتناسب منحنى الحدود التربيعية ، الخطأ في ± 0.05 ميكرون .

فيلم فب طريقة ( طريقة المعلمة الأساسية ) : على أساس نظرية الكم من الأشعة السينية التفاعل مع المواد ، وكثافة طبقة الطلاء ، الركيزة معامل الامتصاص وغيرها من المعالم التي يتم إدخالها ، سمك يمكن حسابها مباشرة من خلال خوارزمية تكرارية . هذه الطريقة لا تحتاج إلى عينة القياسية ، ويمكن تطبيقها على التحليل المتزامن متعدد الطبقات الطلاء ( مثل الاتحاد الافريقي / ني / النحاس الطلاء ) .