فراغ البلازما آلة إزالة الصمغ يستخدم على نطاق واسع في مجال أشباه الموصلات التعبئة والتغليف وتصنيع الإلكترونيات الدقيقة . وفيما يلي الحلول المشتركة على أساس مبدأ المعدات والخبرة العملية :

فشل نظام فراغ

- فراغ غير كاف أو غير قادر على ضخ

- الشيخوخة من الأختام : التحقق من ما إذا كان أو لم يكن تجويف الباب الختم الدائري ، خاتم O في واجهة الأنابيب البالية ، في الوقت المناسب استبدال الأختام مشوهة أو متصدع .

- مضخة فراغ غير طبيعي : مراقبة تشغيل مضخة الصوت و مستوى الزيت ، إذا كانت مضخة ميكانيكية مستحلب النفط أو مضخة الجزيئية خطأ ، تحتاج إلى استبدال زيوت التشحيم أو إصلاح مضخة .

- تسرب الغاز : استخدام مطياف الكتلة للكشف عن تسرب الهليوم للكشف عن خطوط الغاز ، مع التركيز على فحص صمام تخفيض الضغط ، تدفق متر اتصالات ، تشديد فضفاضة المفاصل أو استبدال خطوط التالفة .

-- إنذار فراغ الزناد كاذبة

- الانجراف المعايرة لأجهزة استشعار الضغط : تتم مقارنة القيم المعروضة على المعدات بانتظام باستخدام مقياس فراغ قياسي ، ويتعين إعادة معايرة أجهزة الاستشعار عندما يتجاوز الخطأ ± 5 في المائة .

فشل نظام الترددات اللاسلكية

- لا يمكن توليد البلازما

- تلف مصدر الطاقة الترددات اللاسلكية : قياس إشارة خرج من مصدر الترددات اللاسلكية ، والعودة إلى المصنع إذا لم يكن هناك أي إخراج الطاقة؛ إذا كان الحمل الكاذب هو اختبار عادي ، والتحقق من ما إذا كان كابل الترددات اللاسلكية مكسورة أو موصل الأكسدة .

- مطابقة الفشل : ضبط السعة / الحث المعلمة من السيارات مطابقة ، إذا كان المحرك هو التشويش أو العتاد البالية ، وإزالة مربع مطابقة وتنظيف تراكم الكربون واستبدال الأجزاء التالفة .

- كثافة البلازما منخفضة أو غير مستقرة

- التلوث الكهربائي : إزالة لوحات العلوي والسفلي ، ومسح سطح الغروانية المتبقية مع الكحول المطلق ، وتجنب تراكم المواد العضوية مما يؤدي إلى تفاوت التفريغ .

- عدم كفاية نقاء الغاز : الكشف عن ضغط اسطوانة غاز الأرجون أو الأكسجين ، واستبدال مصدر الغاز عند نقاء الغاز أقل من 99.99 ٪ ، وتنظيف الشوائب في وحدة تحكم تدفق الشامل .

ثالثا ، عملية تأثير غير طبيعي

- عدم كفاءة إزالة الصمغ

- سوء إعداد المعلمة : ضبط السلطة ( عادة 60 ~ 120 واط ) و الوقت ( 30 ~ 120 ثانية ) على أساس سمك طبقة مقاومة للضوء ، مثل زيادة نسبة الأكسجين إلى 80 ٪ من أجل تعزيز معدل التفاعل الكيميائي .

- تلوث التجويف : التنظيف بالموجات فوق الصوتية مع الآيزوبروبيل الكحول بانتظام ، وإزالة بقايا جزيئات المطاط ، ومنع ترسب الثانوية التي تؤثر على فعالية العلاج .

- الأضرار السطحية للمواد

- الإفراط في النقش : تخفيض طاقة الترددات اللاسلكية إلى ما دون العتبة ، أو تقليل وقت التجهيز؛ نبض وضع ( دورة العمل ≤ 70 ٪ ) يستخدم للحد من تراكم الحرارة على الأجهزة الحساسة .

فشل الأجهزة ونظام التحكم

- لا يمكن تشغيل الجهاز

- عدم إعادة تعيين مفتاح التوقف في حالات الطوارئ : التحقق من لوحة التشغيل إذا كان زر التوقف في حالات الطوارئ الأحمر يطفو على السطح ، تدوير في اتجاه عقارب الساعة لفتح وإعادة تشغيل الطاقة .

- ترحيل الفشل : قياس الجهد الناتج من دائرة التحكم ، إذا كان الاتصال من ترحيل عالقة ، تحتاج إلى استبدال نفس النوع من المكونات .

- فقدان السيطرة على تدفق الغاز

- انسداد صمام الملف اللولبي : تفكيك فلتر الغاز ، مع ارتفاع ضغط غاز النيتروجين عكس تطهير فلتر عنصر ، انسداد خطيرة مباشرة استبدال فلتر عنصر جديد .

فشل حل فراغ البلازما آلة إزالة الصمغ يجب أن يكون جنبا إلى جنب مع فراغ التكنولوجيا ، الترددات اللاسلكية الهندسة والخبرة العملية . إنشاء آلية " الصيانة الوقائية + التشخيص السريع " يمكن أن تحسن بشكل ملحوظ معدل تشغيل المعدات .