باعتبارها واحدة من المعدات الأساسية في تصنيع أشباه الموصلات ، والالكترونيات الدقيقة ، والمواد المتقدمة ، النقش البلازما آلة يجب أن تأخذ في الاعتبار الأداء الفني ، عملية التوافق ، والقدرة على التوسع ، ودعم الخدمات وغيرها من العوامل . وفيما يلي تفاصيل عن النقاط الرئيسية :

مبدأ التقنية واختيار نوع

البلازما النقش آلة تنتج البلازما من خلال الترددات اللاسلكية أو طاقة الميكروويف تأين الغاز ، ويستخدم القصف المادي و التفاعل الكيميائي لتحقيق التآزر في إزالة المواد . وتشمل النماذج الرئيسية :

- رد الفعل ايون الحفر ( ري ) : تعتمد على البلازما مزدوجة السعة ، ومناسبة للمواد الأساسية الحفر ، وانخفاض التكلفة ولكن التوحيد محدودة .

البلازما مزدوجة الحث ( ICP ) : عالية الكثافة البلازما التي تم إنشاؤها بواسطة المجال الكهرومغناطيسي عالية التردد ، وارتفاع معدل النقش ( تصل إلى 1 μ م / دقيقة ) وانخفاض الضرر ( أيون الطاقة أقل من 10 فولت ) ، والتي يمكن استخدامها في عمق عرض نسبة تجهيز .

- النقش للطبقة الذرية ( علي ) : على أساس " ترسب - رد فعل - تجريد " دورة ، يمكن تحقيق دقة subnanometer ، ومناسبة ل 3D ناندو كومة النقش .

معايير الأداء الأساسية

- النقش الدقة والتجانس : في عملية التصنيع المتقدمة ( على سبيل المثال ، أقل من 3 نانومتر ) المعدات يجب أن يكون أقل من ± 1 ٪ من التوحيد في رقاقة ، وخشونة الجدار الجانبي هو أقل من 1 نانومتر . درجة الحرارة التي تسيطر عليها مجموعة من icp380 - 20 ℃ - 80 ℃ ، والتي يمكن أن تضمن اتساق الهياكل المعقدة .

- نظام التحكم في درجة الحرارة : دينامية التحكم في درجة الحرارة يؤثر بشكل مباشر على معدل النقش والشكل . sentech سي 500 سلسلة يستخدم الهليوم التبريد مرة أخرى التكنولوجيا ، ودعم - 150 ℃ إلى + 400 ℃ مجموعة واسعة من التنظيم ، وانخفاض درجة الحرارة يمكن أن تقلل من وضع الأجهزة البصرية النقش جدار الضرر .

عملية التوافق والتمدد

- القدرة على التكيف من مواد متعددة : يجب التحقق من أداء المعدات النقش على السيليكون ، مركب أشباه الموصلات ( غان / كذا ) ، المعادن ( النحاس / آل ) و المواد العازلة . على سبيل المثال ، CL ₂ / بي سي إل ₃ خليط الغاز مناسبة لأنّ النحاس الترابط النقش ، في حين أن سادس ₆ أكثر مناسبة لأنّ ألومنيوم تجهيز .

- تصميم وحدات : الإنتاج الضخم المشهد يوصي بتجميع المعدات ، ودعم ما يصل إلى 5 وحدات عملية التكامل ، متوافقة مع طلاء ALD PECVD الترسيب ، وتحقيق وقفة واحدة بالقطع .

الذكاء و الخدمة

- نظام التحكم الذكي : يفضل اختيار المعدات مجهزة خوارزمية منظمة العفو الدولية ، في الوقت الحقيقي الأمثل نسبة الغاز والطاقة المعلمات ، والحد من التدخل الاصطناعي خطأ . بعض النماذج بنيت في عمر الفاروق رصد الطيف ، الحكم بدقة النقش نقطة النهاية ، وتجنب الإفراط في النقش .

- قدرات الموردين : دراسة شبكات الدعم التقني المحلية للبائعين وسرعة الاستجابة بعد البيع . رئيس العلامات التجارية مثل أكسفورد الصكوك توفير صيانة دورة الحياة ، بما في ذلك المعايرة الدورية ، واستبدال قطع الغيار ، وتحديث قاعدة البيانات العملية .

خامساً - تحليل التكاليف والفوائد

- محاسبة التكاليف على أساس دورة كاملة : بالإضافة إلى تكاليف الشراء الأولية ، يلزم تقييم استهلاك الطاقة ( حوالي 1.5 مرة من استهلاك الطاقة في برنامج المقارنات الدولية من طراز RIE ) ، وتواتر الصيانة ، واستخدام القدرات . مع 300mm رقاقة خط الانتاج على سبيل المثال ، على الرغم من أن برنامج المقارنات الدولية معدات عالية التكلفة ، النقش قيم يمكن أن تقلل من تكلفة رقاقة واحدة أكثر من 20 ٪ .