فراغ البلازما آلة إزالة الصمغ يمكن تجريد مقاومة للضوء على سطح رقاقة من خلال الطاقة العالية المتأين ، ويستخدم على نطاق واسع في مجال تصنيع أشباه الموصلات ، مايكرو نانو تجهيز ، الخ . العملية يجب أن تتبع بدقة الإجراءات الموحدة التالية لضمان استقرار العملية و العائد من الجهاز :

أولاً - الأعمال التحضيرية

1 . عينة المعالجة : رقاقة يجب معالجتها قبل الانتهاء من عملية التنمية ، وتشكيل نمط كامل فيلم الغراء . استخدام النيتروجين لتنظيف سطح الجسيمات ، وتجنب التدخل من الشوائب في رد فعل البلازما . إذا كان هناك طبقة معدنية ، تأكد من تغطية واقية قناع .

2 . معدات الفحص الذاتي : قبل بدء التشغيل ، والتحقق من نظام تبريد المياه ( درجة حرارة الماء ≤ 25 ℃ ) ، الترددات اللاسلكية السلطة ربط خط أنابيب فراغ الختم . بدء تشغيل برنامج مراقبة تنفيذ التشخيص الداخلي ، والتأكد من أن كل جهاز استشعار ( على سبيل المثال ، بالسعة متر ماكسويل ، مقياس الجريان الشامل ) تعمل بشكل صحيح .

3 - عملية التحميل : حسب سماكة طبقة لاصقة ( عادة 1-10 μ م ) ، مسبقا المعلمات العملية : نسبة الأكسجين / الأرجون ( س ₂ : ع = 1 : 4 ) ، فراغ الغرفة الخلفية ( أقل من 5 × 10 ⁻ MBAR ) ، الترددات اللاسلكية كثافة الطاقة ( 0.5-2W / سم ² ) و وقت المعالجة ( 60-180 ثانية ) .

العمليات الأساسية

1 - تحديد المواقع وتحديد المواقع : رقاقة تحمل الفيلم الأزرق أو تشاك توضع بدقة في مركز القطب منصة التحميل ، من خلال مضخة ميكانيكية قبل ضخ فراغ منخفضة ( حوالي 10 3 باسكال ) ، وتفعيل وظيفة الامتزاز الكهربائي لتحديد العينات . عند التعامل مع العديد من القطع ، المسافة بين القطع يجب أن تكون أكثر من أو يساوي 5 ملم لمنع الحديث المتبادل .

2 . فراغ التدريجي : بدء ضخ الجزيئية التوربينات ، وفقا ل " الخشنة غرامة ضخ ضخ " مرحلتين لإنشاء بيئة فراغ عالية . في الوقت الحقيقي رصد منحنى فراغ ، والحفاظ على 30 ثانية بعد الضغط ينخفض إلى عتبة عملية تصريف بخار الماء المتبقي .

3 . البلازما الإثارة : زيادة الطاقة الترددات اللاسلكية إلى مجموعة قيمة ببطء ، وإدخال عملية الغاز في وقت واحد . ملاحظة توهج التفريغ اللون ( عادة الخزامى ) و غير طبيعي تبييض يشير إلى أن الإفراط في الطاقة قد يؤدي إلى تلف رقاقة السيليكون . في هذه المرحلة ، معاوقة مطابقة شبكة معامل الانعكاس ( vswr < 1.5 ) ينبغي رصدها باستمرار .

4 . دينامية النقش السيطرة : اعتماد استراتيجية انتاج الطاقة مجزأة ، عالية الطاقة فيلم كسر بسرعة في الجزء الأمامي ، وانخفاض الطاقة في الجزء الخلفي لضبط معدل النقش الجانبي بدقة . عندما يتم توفير وحدة الكشف عن نقطة النهاية ، رد فعل يمكن أن تنتهي تلقائيا من خلال تغيير مفاجئ في شدة الانبعاث الطيفي .

الانتهاء من تجهيز

1 . آمنة تخفيف الضغط : بعد إغلاق مصدر الترددات اللاسلكية ، غاز خامل هو عرض لاستبدال الجسيمات النشطة المتبقية ، النيتروجين الجاف هو شغلها في الصف لاستعادة الضغط العادي . علما بأن معدل العادم يجب أن يكون أقل من 5 بار / ث لمنع الجسيمات من السقوط بسبب تأثير تدفق الهواء .

2 - أخذ العينات والاختبار : بعد أخذ العينات مباشرة ، cd-sem المسح للتأكد من سلامة الرسم البياني ، باستخدام ellipsometry لقياس سمك المتبقية من المطاط ( مطلوب < 5 نانومتر ) . إذا كان هناك تعويم الغراء ، تحتاج إلى ضبط بعد لينة تحميص الشرط ( 90-120 ℃ ، 30 ثانية ) .

3 - صيانة المعدات : إفراغ خزان جمع رد فعل ثانوي واستبدال بطانة الكوارتز في غرفة العلاج أكثر من 50 مرة . معايرة وحدة تحكم تدفق الشامل ( MFC ) بانتظام وتنظيف البوليمر الرواسب على سطح كهرباء مصاصة .

رابعاً - الاعتبارات الرئيسية

حماية السلامة : يجب على المشغلين ارتداء الأشعة فوق البنفسجية واقية من أقنعة الوجه ، لا مباشرة البصرية البلازما . موقف زر التوقف في حالات الطوارئ يجب أن يكون ملحوظ .

عملية التوافق : ثلاثي الأبعاد الطوبولوجيا ، نبض تعديل العرض المقترح للحد من تهمة تراكم . الفلور التي تحتوي على المطاط الدائري يتعرض الأكسجين البلازما يمكن تسريع الشيخوخة ، تحتاج إلى استبدال بانتظام .

الوقاية من التلوث والسيطرة : المذيبات العضوية ممنوع منعا باتا من دخول غرفة الفراغ ، قبل وبعد كل تجربة يجب استخدام الكحول المطلق لمسح تجويف الجدار الداخلي . نظام معالجة النفايات السائلة يجب أن تكون مجهزة الكربون المنشط فلتر لامتصاص المركبات العضوية المتطايرة .

من خلال تنفيذ العملية المذكورة أعلاه ، يمكن التحكم بفعالية في معدل إزالة الصمغ التوحيد ( ± 3 في المائة ) ، وضمان نمط الإخلاص ، وفي الوقت نفسه إطالة فترة صيانة المعدات . في الممارسة العملية ، مزيج أمثل من المعلمات يجب أن تكون جنبا إلى جنب مع متطلبات عملية محددة ، توافق آراء ساو باولو نظام مراقبة عملية ينبغي أن تنشأ لتحقيق الاتساق بين دفعات .