باعتبارها واحدة من المعدات الرئيسية في تصنيع أشباه الموصلات الدقيقة التعبئة والتغليف ، وتجهيز المواد الدقيقة ، فراغ البلازما آلة إزالة الصمغ من أجل ضمان أن المعدات في حالة عمل أفضل لفترة طويلة ، وإطالة أمد الحياة ، وضمان الاستقرار والموثوقية من نتائج العملية ، من المهم جدا أن تنفذ مجموعة علمية ودقيقة نظام الصيانة . صيانة فراغ البلازما آلة إزالة الصمغ هو موضح بالتفصيل من الجوانب الأربعة التالية : اليومية ، العادية ، والمكونات الرئيسية على المدى الطويل من التوقف .

الصيانة الأساسية اليومية : الوقاية في المستقبل

الصيانة اليومية هو خط الدفاع الأول للحفاظ على استقرار المعدات ، وذلك أساسا من قبل مشغلي المعدات في إنتاج التخليص .

1 . التنظيف والتفتيش البصري :

خارج المعدات : قبل وبعد الاستخدام اليومي ، غمس كمية صغيرة من الكحول الآيزوبروبيل ( IPA ) أو منزوع الأيونات الماء في قماش خالية من الغبار لمسح السطح الخارجي ، نافذة المراقبة ، لوحة التشغيل ، وإزالة الغبار والبقع ، والحفاظ على نظافة . وفي الوقت نفسه ، التحقق من ما إذا كان هناك أي ضرر واضح على غلاف الجهاز ، قفل الجهاز العادي .

عملية ختم الباب : فحص وتنظيف fluororubber أو سيليكون ختم على باب الغرفة قبل كل فتح الباب . تغمس في قماش خالية من الغبار مع وكالة حماية البيئة تمسح بلطف ، وإزالة الجسيمات الصغيرة ، وضمان عدم وجود بقايا ، لا ضرر أو تشوه . ختم جيدة هو أساس الحفاظ على فراغ عالية .

2 - رصد حالة التشغيل :

نظام فراغ : سجل وقت فراغ في كل عملية . إذا كان فراغ ضخ الوقت لفترات طويلة بشكل ملحوظ ، قد يعني أن هناك تسرب فراغ أو انخفاض أداء المضخة الميكانيكية ، تحتاج إلى تقرير في الوقت المناسب .

المعلمات العملية : إيلاء اهتمام وثيق الترددات اللاسلكية السلطة انعكاس تدفق الغاز ، غرفة الضغط وغيرها من المعالم الرئيسية في عملية الاستقرار . التقلبات الشاذة غالبا ما تكون السلائف إلى الشيخوخة من المكونات .

نظام التبريد : التحقق من قياس الضغط و تدفق متر من نظام تداول مياه التبريد ، تأكد من أن القيمة في النطاق الطبيعي ، لمس للتأكد من أن أنابيب المياه لا غير طبيعي في درجة الحرارة ، وضمان فعالية تبديد الحرارة من الترددات اللاسلكية مصدر الدائرة .

الصيانة الوقائية الدورية : منهجية الفحص الصحي

الصيانة الدورية يجب أن يقوم بها مهندس صيانة المهنية على أساس وقت تشغيل المعدات و الشركة المصنعة المقترحة دورة ( عادة فصلية أو سنوية ) .

1 . عمق تنظيف غرفة العملية :

التردد : كل 200-400 ساعة تشغيل أو العثور على نتائج العملية ( مثل معدل إزالة الصمغ ، التوحيد ) الانخفاض .

طرق : إزالة الأجزاء القابلة للإزالة في الغرفة ، مثل لوحة قطب كهربائي ، مرحلة التحميل ، التدريع غطاء وهلم جرا . استخدام الخاص بك تلميع لصق ، ورق الصنفرة ، أو البلازما لتنظيف نفسك لإزالة بقايا البوليمر و رد فعل ثانوي تعلق على السطح . على البقع العنيدة ، يمكن استخدام المواد الكيميائية الغمر ( مثل استخدام n-methylpyrrolidone وغيرها من المنظفات الخاصة ، ينبغي إيلاء الاهتمام لسلامة ) ، ثم شطف مع ديونيزيد المياه وتجفيف . المبدأ الأساسي : تجنب الخدوش الصلبة ، ومنع الخدوش على الجدران الداخلية و الأقطاب الكهربائية ، والتي يمكن أن تصبح مصدر تلوث الجسيمات وتؤثر على البلازما التوحيد .

2 . صيانة نظام فراغ :

مضخات ميكانيكية

ضخ النفط التفتيش واستبدال : التحقق من لون ومستوى الميكانيكية ضخ النفط كل شهر . العنبر واضحة اللون الطبيعي ، إذا كان يتحول إلى بني غامق أو أبيض حليبي ، مشيرا إلى أن النفط قد تلوث أو المياه ، يجب استبدالها على الفور . اعتمادا على استخدام التردد ، مضخة الزيت و فلتر الزيت يتم استبدالها عادة كل 500-1000 ساعة أو نصف سنة .

استبدال فلتر العادم : استبدال فلتر العادم مضخة ميكانيكية بانتظام لمنع النفط والغاز والجسيمات من الانتشار العكسي تلوث البيئة أو فراغ خط .

فراغ قياس : معايرة فيلم بالسعة قياس ( CMG ) بانتظام لضمان دقة قراءة الضغط .

الكشف عن تسرب : استخدام الهليوم مطياف الكتلة للكشف عن تسرب نظام فراغ كامل دوريا لضمان نظام محكم .

3 . صيانة نظام الغاز :

فلتر الغاز : استبدال فلتر الجسيمات الأساسية في مدخل الهواء و أمام صمام الملف اللولبي عالية التردد لمنع الشوائب من دخول الغرفة و صمام ، عادة كل نصف سنة أو كل سنة .

كتلة تحكم تدفق ( MFC ) : MFC هو عنصر أساسي في السيطرة على تدفق الغاز بدقة . معايرة الغاز القياسية يجب أن يكون دخل بانتظام لضمان دقتها . إذا كنت لا تستخدم لفترة طويلة ، يجب الحفاظ على النيتروجين داخل تطهير لمنع انسداد .

4 - التحقق من نظام الترددات اللاسلكية :

مطابقة الصيانة : التحقق من أقطاب مكثف متغير في المباراة سواء كانت علامات الحريق أو التلوث وتنظيفها . لضمان تشغيل المحرك العادي ، مطابقة المعاوقة يمكن أن تتحقق بسرعة وبدقة .

الترددات اللاسلكية الكابلات والموصلات : التحقق من الترددات اللاسلكية الكابلات والموصلات فضفاضة ، الشيخوخة أو علامات الضرر لضمان اتصال موثوق بها ، ومنع انعكاس الطاقة تلف الترددات اللاسلكية مولد .

صيانة خاصة واستبدال المكونات الرئيسية

بعض أجزاء تنتمي إلى المواد الاستهلاكية ، التي تحدد مباشرة نوعية العملية ، تحتاج إلى التركيز على رصد واستبدال في الوقت المناسب .

1 . فراغ الختم الدائري : على المدى الطويل في درجة حرارة عالية ، البلازما المشع و الضغط الميكانيكي ، الختم الدائري سوف الشيخوخة ، وفقدان المرونة . فمن المستحسن أن كل 1-2 سنوات أو عندما يتم العثور على فراغ لا يمكن الحفاظ عليها ، واستبدال جميع الأختام الرئيسية بانتظام ( تجويف الباب ، نافذة المراقبة ، قطب تغذية ، الخ . )

2 - نافذة المراقبة : الكوارتز أو الألومينا نافذة المراقبة سوف تصبح تدريجيا ضبابية تحت القصف البلازما ، والتي سوف تؤثر على دقة نقطة النهاية الكشف عن النظام . عندما نفاذية الضوء من الواضح أن الانخفاض ، تحتاج إلى تلميع أو استبدال .

3 . ضخ النفط والمرشحات : اتبع بدقة دورة الاستبدال ، وهذا هو نظام فراغ الصحة " الدم " و " الكلى " .

رابعاً - الصيانة خلال فترات التوقف الطويلة

إذا كان الجهاز يحتاج إلى أن يكون خاملا لأكثر من شهر ، يجب أن تكون مختومة .

1 - حماية الغرفة : بعد تنظيف وتجفيف غرفة العملية ، الجافة عالية النقاء النيتروجين هو شغلها في أعلى قليلا من الضغط الجوي ، وجميع الصمامات مغلقة لمنع الهواء والرطوبة من الدخول .

2 . فراغ نظام الحماية : إغلاق مضخة ميكانيكية ، تفريغ النفط مضخة ، وشطف مع زيت جديد بعد حقن زيت جديد . بدلا من ذلك ، تشغيل المضخة الميكانيكية بانتظام ( على سبيل المثال كل أسبوعين ) لمدة نصف ساعة للحفاظ على تزييت وختم .

3 . السلطة والغبار : قطع التيار الكهربائي الرئيسي ( باستثناء النظم الفرعية التي تحتاج إلى دعم ) ، وتغطي المعدات مع الغبار يغطي .