العاصمة المغنطرون الاخرق هو نوع من معدات المختبرات التي يمكن أن تودع الفيلم بفعالية من خلال المجال المغناطيسي تقييد الإلكترونات وتعزيز كثافة البلازما . غاز خامل هو إدخالها في فراغ الغرفة ، العاصمة الجهد العالي هو تطبيقها على شكل حقل كهربائي ، الغاز المتأين لتوليد البلازما . سطح الهدف يتم توفيرها مع المجال المغناطيسي المتعامد الذي يقيد مسار الإلكترون من خلال قوة لورنتز ، يطيل مسار الإلكترون ، ويزيد من احتمال الاصطدام مع الغاز ، وبالتالي تحسين كثافة البلازما و الاخرق الكفاءة . عالية الطاقة الأيونات القصف على سطح الهدف ، مما تسبب في ذرات الهدف الاخرق وترسب على الركيزة على شكل فيلم الكثيفة . هذه العملية تحتاج إلى مراقبة دقيقة من الحرارة لتجنب حرق العينة .
فائدة نموذج يحتوي على مزايا هيكل بسيط ، استقرار نظام امدادات الطاقة العاصمة ، منخفضة التكلفة ، وسهلة الصيانة . موصل جيد المواد المستهدفة ، مثل المعادن ، وارتفاع معدل الاخرق ، ويمكن تلبية متطلبات الإنتاج الصناعي على نطاق واسع . عملية جيدة ، من السهل السيطرة على المعلمات ، عملية واسعة نافذة ، تجربة غنية في الإنتاج الضخم .
المعدات المستخدمة في تصنيع المعادن ، وأشباه الموصلات ، وأكسيد وغيرها من الأفلام ، تحتاج إلى الحفاظ على نظام فراغ ، وإمدادات الطاقة ، والهدف ، لضمان استقرار العملية ونوعية الفيلم .
تكوين هيكل
فراغ نظام يتكون من مضخة فراغ ، فراغ الغرفة ، وما إلى ذلك تستخدم لتوفير بيئة فراغ ، وضمان عملية الاخرق في انخفاض الضغط الجوي .
العاصمة امدادات الطاقة : توفير الجهد السلبي المستمر الكاثود المواد المستهدفة ، مما يؤدي إلى توهج التفريغ .
نظام إمدادات الغاز : بما في ذلك خزان الغاز ، مقياس الجريان الشامل ، وما إلى ذلك تستخدم لملء فراغ الغرفة مع كمية مناسبة من الغاز العامل ، مثل غاز الأرجون .
الهدف و الركيزة تركيب نظام : الهدف هو تركيبها على الكاثود ، الركيزة ثابتة على عينة الجدول بالقرب من الأنود ، الجدول عينة يمكن أن تكون ساخنة ، بالتناوب ، من أجل تحسين التوحيد من الفيلم .
المجال المغناطيسي : نظام تحديد المجال المغناطيسي على سطح الهدف متعامد لتقييد حركة الإلكترون المسار ، وتحسين كثافة البلازما .
مجال التطبيق
الطلاء الزخرفية : تستخدم لإعداد الذهب والفضة والكروم وغيرها من المعادن الزخرفية الفيلم ، مثل مشاهدة شل ، إطارات النظارات ، اكسسوارات السيارات ، وهلم جرا .
أداة طلاء الصلب : يمكن إيداع نيتريد المعادن الصلبة فيلم مثل القصدير ، CRN ، وما إلى ذلك ، من أجل تحسين مقاومة التآكل وخدمة الحياة من أدوات القطع والعفن .
الدقيقة ربط الأسلاك : تستخدم في إعداد الأفلام المعدنية مثل الألومنيوم والنحاس ، مثل ربط الأسلاك في الدوائر المتكاملة لتحقيق انتقال إشارة الدائرة .
الخلايا الشمسية الكهربائي الخلفي : يمكن إعداد الألومنيوم والفضة وغيرها من المعادن الكهربائي الخلفي ، وتحسين كفاءة التحويل الكهروضوئية الخلايا الشمسية .
المقالة الأخيرة:درجة عالية من الأتمتة الصحافة
المقالة التالية: