في علم المواد وعلوم الحياة وغيرها من مجالات البحوث المجهرية ،هيتاشي SEMمع نوعية ممتازة من التصوير أصبح سلاح حاد في البحث العلمي ، و دقة تنظيم الجهد هو مفتاح التقاط صورة واضحة المجهرية . من خلال التحكم في الطاقة شعاع الالكترون ، وتسريع الجهد مباشرة يحدد تأثير التفاعل بين الإلكترون و العينة ، التي تنظم ليس فقط من خلال التحول العددي ، ولكن من خلال الجمع بين تصميم الأجهزة ، خوارزمية التحسين و التنظيم المنهجي خصائص العينة .
دقة ضبط مجموعة واسعة النطاق هو الميزة الأساسية هيتاشي SEM . أخذ s4800 و su8010 الكلاسيكية ، على سبيل المثال ، يمكن أن ندرك أن تسارع الجهد المستمر قابل للتعديل من 0.1kv إلى 30kv ، وتغطي جميع متطلبات المشهد من الجهد المنخفض جدا إلى الجهد العالي . هذه مجموعة واسعة من التنظيم ليس مجرد توسيع نطاق الجهد ، ولكن أيضا على أساس مخصص هيتاشي عالية الجهد امدادات الطاقة وحدة ، يمكن أن تبقي على استقرار شعاع الالكترون في مختلف الجهد والعتاد ، وتجنب تقلبات الجهد شعاع التبديل . على وجه الخصوص ، في نطاق الجهد المنخفض جدا ( 0.1kv-2kv ) ، شعاع الالكترون الاختلاف يمكن أن يكون فعالا في خفض الطاقة المنخفضة شعاع الالكترون يمكن أن تظل مركزة بشكل جيد من خلال الاستفادة المثلى من السيطرة على التحيز من بندقية الإلكترون الشبكة .
ذكي تكنولوجيا التباطؤ هو اختراق الأساسية لتحسين جودة الصورة من الجهد المنخفض .
هيتاشي SEMمن خلال تطبيق الجهد السلبي على سطح العينة ، تسارع شعاع الالكترون يتباطأ عند الاقتراب من العينة ، وبالتالي الحفاظ على دقة التركيز شعاع الالكترون في ظل تسارع عالية الجهد ، والحد من الطاقة من شعاع الالكترون قصف العينة . هذا التصميم يحل الألم من الجهد المنخفض التصوير : من ناحية ، فإنه يقلل من تأثير الشحن من غير موصل عينة ، ويمكن تصويرها بوضوح دون طلاء إضافية . من ناحية أخرى ، فإن حجم التفاعل بين الإلكترون و العينة هو تقلص إلى حد كبير ، فقط الإلكترونات الثانوية من 1-10nm متحمس في الطبقة السطحية من العينة ، سطح التفاصيل القرار هو زيادة كبيرة .
المشهد القائم على التكيف الذاتي تكييف المنطق هو المفتاح لتلبية متطلبات البحث العلمي . في ظل تسارع عالية الجهد ( 15kv-30kv ) ، شعاع الالكترون الطاقة قوية ، قوية قوة الاختراق ، ومناسبة لعينات مع الموصلية جيدة والاستقرار الحراري ، ويمكن تحقيق 1.0nm عالية الدقة التصوير . انخفاض تسارع الجهد ( 2kv-10kv ) يمكن أن تستخدم لمراقبة تضاريس معظم المواد التقليدية ، مع إيلاء الاهتمام بالتفاصيل السطحية والتصوير المقابل . الترا الجهد المنخفض ( 0.1kv-2kv ) مصممة خصيصا شعاع الالكترون حساسية العينات ( مثل الأنسجة البيولوجية ، مواد البوليمر ) ، والتي يمكن أن تمنع بشكل فعال في الضرر من العينات . وفي الوقت نفسه ، المدمج في المعلمة التوصية خوارزمية المجهر الإلكتروني يمكن أن تتطابق تلقائيا مع أفضل تسريع الجهد مجموعة وفقا لنوع العينة ( التوصيل / العزل ، العضوية / غير العضوية ) ، والحد من عتبة التشغيل .
هيتاشي SEMسر تسريع تنظيم الجهد يكمن في الجمع بين العضوية في مجموعة واسعة من الأجهزة الدقيقة دعم ذكي وكفاءة عالية التباطؤ التكنولوجيا مع المشهد تنظيم المنطق . هذا التصميم ليس فقط تلبية متطلبات التصوير من عينات مختلفة ، ولكن أيضا تحقيق التوازن بين القرار ، والاستقرار ، وحماية العينات .