فراغ المراقب المالي هو جهاز التحكم المستخدمة للحفاظ على درجة فراغ في مساحة محددة ، التي تتألف من أجهزة استشعار الضغط ، صمام الملف اللولبي ، صمام ، الخ ، وتستخدم على نطاق واسع في مختبر التجارب ، والتركيز والتقطير ، غرفة نظيفة قياس البيئة الصناعية عملية الإنتاج .

1 . مراقبة الضغط : فراغ تحكم من خلال المدمج في السيراميك عالية الدقة / السيليكون أشباه الموصلات الاستشعار أو فراغ قياس الضغط المطلق في الوقت الحقيقي نظام الكشف . هذه أجهزة الاستشعار تحويل الضغط المادي إشارة إلى إشارة كهربائية ، ثم يتم معالجتها رقميا من قبل 24 بت الإعلان عملة رقاقة لضمان دقة عالية الضغط القراءة .

2 - معالجة البيانات واتخاذ القرارات : المراقب المالي يستخدم ثماني نقاط أقل المربعات لتناسب البيانات غير الخطية من أجهزة الاستشعار ، وتحسين دقة الكشف عن الضغط . بعد ذلك ، وحدة التحكم يقارن قياس الضغط مع مجموعة قيمة ، ويولد تعليمات من خلال تنظيم الذكاء الاصطناعي PID الخوارزمية ، والنواتج 16 بت دا إشارة إلى محرك الأقراص المحرك .

3 - استجابة المحرك : وفقا لتعليمات من المراقب المالي ، ميكرون صمام تسرب متغير أو الكهربائية صمام إبرة مجموعة استجابة سريعة ( زمن الاستجابة < 50 ماجستير ) ، من خلال تنظيم تدفق الغاز لتصحيح الضغط الانحراف . في انخفاض فراغ الباب ( 1pa ~ 1000pa ) ، مدخل الهواء صمام الإبرة هو أساسا تعديل للحفاظ على توازن الضغط . في فراغ عالية القسم ( < 1pa ) ، والتبديل إلى العادم صمام التحكم في درجة فراغ .

4 - حلقة مغلقة العملية : النظام برمته يشكل حلقة مغلقة ، من خلال التوازن الديناميكي تدفق الغاز والتفريغ للحفاظ على مجموعة من فراغ . وبالإضافة إلى ذلك ، فإن النظام لديه أيضا حماية أوفيرفولتاجي ، زائدة عن الحاجة تصميم وغيرها من آليات ضمان الأمن متعدد المستويات ، لضمان ارتفاع ضغط غير طبيعي في الوقت المناسب قطع تدفق الهواء ومنع الغاز من التدفق إلى الوراء .

اعتبارات استخدام وحدة تحكم فراغ :

1 . تركيب الكلمات : يجب أن تكون بعيدة عن الاهتزاز و المجال المغناطيسي التدخل ، وضمان إمدادات الطاقة خط إشارة الأسلاك بشكل صحيح ، مع إيلاء الاهتمام للماء والغبار .

2 - متطلبات الاتصال : ضمان واجهة الختم ، لتجنب تسرب الهواء ؛ دفع الانتباه إلى واجهة ضيق حتى لا تؤثر على قياس ومراقبة فراغ .

3 - عملية المعايرة : إجراء المعايرة الدورية ، فراغ متر تحكم مع فراغ متر القياسية ، وفقا لقراءة متر القياسية المعايرة لضمان دقة القياس .

4 . عملية آمنة : تجنب خارج نطاق قدرة النظام ، لئلا يسبب خطر على الأشخاص والمعدات . في عملية الاستخدام ، أي قوة خارجية لا يمكن أن تصطدم فراغ قوس دائرة اطفاء ، لا تدق ، التصفيق باليد ، ونقل وصيانة القوة .

5 - الصيانة اليومية : تنظيف السطح واجهة من فراغ قياس تحكم بانتظام لضمان واجهة الختم ؛ التحقق من حالة الاتصال من إمدادات الطاقة خط إشارة خط بانتظام لضمان ثبات الاتصال .