PECVD البلازما تعزيز ترسيب الأبخرة الكيميائيةهو نوع من التكنولوجيا الرئيسية لإعداد الأفلام عالية الجودة في درجة حرارة منخفضة ، وتحسين معدل الترسيب مهم جدا في التطبيقات الصناعية .البلازما المعلمات الأمثل
زيادة كثافة البلازما هو وسيلة فعالة لزيادة معدل الترسيب ، وارتفاع كثافة البلازما يعني المزيد من الجزيئات النشطة المشاركة في عملية الترسيب . عن طريق ضبط الترددات اللاسلكية السلطة أو السلطة الميكروويف ، الإثارة كثافة البلازما يمكن السيطرة عليها ، مما يؤثر على معدل توليد رد فعل الجسيمات . تحسين ظروف التفريغ ، والحفاظ على حالة مستقرة من البلازما ، وضمان استمرار إنتاج الجسيمات النشطة . تعديل المسافة بين الأقطاب و هندسة هيكل دائرة رد الفعل ، وتحسين توزيع البلازما التوحيد ، وجعل عملية الترسيب أكثر كفاءة . ايون الطاقة في البلازما يمكن السيطرة عليها ، وبالتالي تجنب الأضرار الناجمة عن ارتفاع الطاقة الركيزة مع الحفاظ على ما يكفي من رد الفعل .
تحسين إدارة الغاز التفاعلي
نوع ونسبة رد الفعل الغاز يؤثر بشكل مباشر على معدل الترسيب ، واختيار السلائف الغاز مع ارتفاع نشاط رد الفعل يمكن أن تزيد من كفاءة الترسيب . استراتيجية التحكم في تدفق الغاز هو الأمثل لضمان رد فعل الغاز متحللة تماما و رد فعل في البلازما . تحسين تصميم نظام نقل الغاز ، والحد من عدم التجانس في خلط الغاز ، وتحسين كفاءة التفاعل . الغاز الناقل هو عرض التكنولوجيا لتحسين توزيع الغاز من أجل تعزيز فعالية الاتصال بين الجسيمات النشطة و الركيزة . السيطرة على الوقت الإقامة من الغاز ، حتى أن رد الفعل الجسيمات لديها ما يكفي من الوقت للمشاركة في عملية الترسيب .
ثالثا ، تعزيز الركيزة وتجهيز الظروف
الركيزة المعالجة يمكن أن تزيد من النشاط السطحي ، وزيادة احتمال رد فعل الجسيمات الامتزاز ، وبالتالي تسريع معدل الترسيب . تحسين درجة حرارة الركيزة ، وزيادة درجة الحرارة بشكل صحيح على فرضية ضمان جودة الفيلم ، من أجل تعزيز رد الفعل . تحسين تصميم دائرة رد الفعل ، وتعزيز تدفق الهواء التوحيد والبلازما التغطية . ضبط الضغط لتحقيق التوازن بين معدل التفاعل و جودة الفيلم في نطاق مناسب . نبض الغاز أو البلازما الإثارة المعتمدة لتحسين كفاءة التفاعل . . . . . . .
من خلال الاستفادة المثلى من المعلمات البلازما ، رد فعل إدارة الغاز و الظروف التكنولوجية ،PECVD البلازما تعزيز ترسيب الأبخرة الكيميائيةالتكنولوجيا يمكن أن تبقي على جودة الفيلم ، وفي الوقت نفسه تحقيق زيادة معدل الترسيب ، وتلبية متطلبات الصناعة الحديثة على كفاءة عالية في إعداد الفيلم .