رقيقة ترسبالفيلم هو مطلي على الركيزة الرئيسية مواد أشباه الموصلات . هذا الفيلم يمكن أن يكون مجموعة متنوعة من المواد ، مثل عزل مركب السيليكا ، أشباه الموصلات السيليكون متعدد الكريستالات ، معدن النحاس ، وهلم جرا .المعدات المستخدمة في طلاء الفيلم يسمى ترسب الفيلم المعدات .

من رقاقة أشباه الموصلات عملية التصنيع ، في الجبهة من العملية .

عملية إعداد الفيلموفقا لطريقة تشكيل الفيلم يمكن تقسيمها إلى فئتين رئيسيتين :المادية بخار ترسب ( PVD ) ترسيب الأبخرة الكيميائية ( CVD ) ،بيننسبة الأمراض القلبية الوعائية عملية المعدات أعلى .

المادية بخار ترسب ( الترسيب الفيزيائي للبخار )يعني تحويل إلى غاز سطح مصدر المواد وترسب على سطح الركيزة من خلال انخفاض ضغط الغاز / البلازما ، بما في ذلك التبخر ، الاخرق ، شعاع ايون ، الخ .

ترسيب الأبخرة الكيميائية ( CVD )عملية ترسيب طبقة صلبة على سطح رقاقة السيليكون من خلال تفاعل كيميائي الغاز مختلطة ، والتي يمكن تقسيمها إلى الضغط الجوي الأمراض القلبية الوعائية ( APCVD ) ، الضغط المنخفض الأمراض القلبية الوعائية ( LPCVD ) ، البلازما تعزيز الأمراض القلبية الوعائية ( PECVD ) ، وارتفاع كثافة البلازما الأمراض القلبية الوعائية ( hdpcvd ) و ترسب طبقة الذرية ( ALD ) وفقا لمختلف ظروف التفاعل ( الضغط والسلائف ) .