نطاق الطول الموجي للأشعة فوق البنفسجية ( فوق البنفسجية ) مصدر الضوء عادة ما يشير إلى جزء من الطيف فوق البنفسجي المتطرف ، مع مجموعة محددة من 10 إلى 121 نانومتر ، أي أقصر من الطول الموجي للأشعة فوق البنفسجية التقليدية ( الأشعة فوق البنفسجية ، الأشعة فوق البنفسجية باء ، الأشعة فوق البنفسجية جيم ) الطيف .
تقسيم الموجات فوق البنفسجية على الموجات القصيرة جدا :
الأشعة فوق البنفسجية القصوى ( فوق البنفسجية ) : الطول الموجي يتراوح عادة بين 10 و 121nm ، وتقع في أقصر جزء من الطيف فوق البنفسجية ، أقل من الأشعة فوق البنفسجية التقليدية ج باند ( 200 نانومتر إلى 280nm ) و أطول من الأشعة السينية .
العلاقة مع الأشعة السينية : الأشعة فوق البنفسجية لها أطوال موجية أطول من الأشعة السينية ، ولكن أقصر من الأشعة فوق البنفسجية ج الفرقة ، وبالتالي فإنه يعتبر في بعض الأحيان " الانتقال " الإشعاع ، وتقع بين الأشعة فوق البنفسجية والأشعة السينية .
ميزات EUV :
الطاقة العالية : الطاقة العالية من الإشعاع فوق البنفسجي ، والتي يمكن أن تخترق العديد من المواد ، ولكن عادة ما يتم استيعابها بسرعة من قبل الهواء وغيرها من المواد ، وبالتالي نادرا ما يحدث الإشعاع فوق البنفسجي الطبيعي على سطح الأرض .
مجال التطبيق : بسبب الطول الموجي القصير و الطاقة العالية ، مصدر الضوء فوق البنفسجي يستخدم على نطاق واسع في تكنولوجيا الطباعة الحجرية الحديثة في تصنيع أشباه الموصلات ، وتستخدم لتصنيع الدوائر المتكاملة ( على سبيل المثال ، 7nm ، 5nm العملية ) . وبالإضافة إلى ذلك ، تستخدم أيضا في علم الفلك ، علم المواد ، وبعض التطبيقات الطبية .
نوع مصدر الضوء فوق البنفسجية :
لأن الطول الموجي للأشعة فوق البنفسجية قصيرة جدا ، مصدر الضوء التقليدي لا يمكن أن تنتج الأشعة فوق البنفسجية الطول الموجي مباشرة . مصادر الضوء فوق البنفسجية الحالية تعتمد أساسا على التقنيات التالية :
ليزر الإلكترون الحر ( فل ) : يستخدم الإشعاع الناجم عن تسارع الإلكترونات في المجال المغناطيسي لتوليد موجات فوق البنفسجية .
مصدر البلازما : انبعاث الأشعة فوق البنفسجية من البلازما التي تنتجها أشعة الليزر عالية الطاقة على بعض المواد ، مثل القصدير .
تطبيق
تصنيع أشباه الموصلات : الأشعة فوق البنفسجية التكنولوجيا هي أداة هامة في تصنيع رقائق أشباه الموصلات المتقدمة في الوقت الحاضر ، ولا سيما في الطباعة الحجرية الصغيرة الحجم ، مثل 10nm 7nm , أو حتى أصغر عملية العقد .
علم الفلك : الأشعة فوق البنفسجية موجات مهمة جدا لدراسة ارتفاع درجة حرارة الجسم ( مثل الشمس ، المجرات ، الخ ) و خصائص الإشعاع .
علم المواد : تستخدم لتحليل بنية السطح وتكوين المواد ، ولا سيما في مجال تكنولوجيا النانو .
وبصفة عامة ، الأشعة فوق البنفسجية على الموجة القصيرة جدا ( EUV ) هي واحدة من أهم نطاقات الإشعاع بين الأشعة فوق البنفسجية والأشعة السينية .