جهاز قياس فرق الطورباعتبارها واحدة من المعدات الأساسية في مجال التفتيش البصرية ، وتصنيع الآلات الدقيقة ، دقة القياس مباشرة يحدد موثوقية تقييم جودة المنتج . الجهاز يمكن تحقيق دقة القياس من خلال تحليل مرحلة تغيير الإشارات الضوئية من خلال قياس الجسم ، في حين أن عوامل مثل درجة الحرارة المحيطة ، والاهتزاز ، مصدر الضوء والاستقرار ، وما إلى ذلك من السهل أن تتداخل مع انتقال الإشارات الضوئية وتحديد المرحلة ، مما يؤدي إلى خطأ في القياس . في هذه الورقة ، العوامل الرئيسية التي تؤثر على دقة القياس يتم تفكيكها ، و التحكم في طريقة معينة .

درجة الحرارة المحيطة تقلب هو الأكثر شيوعا مصدر الخطأ ، الذي يؤثر على استقرار العناصر البصرية والميكانيكية هيكل . المكونات الأساسية ( على سبيل المثال ، المستقطب ، لوحة الموجة ، التداخل الضوئي ) من جهاز قياس فرق الطور معظمها مصنوعة من الزجاج البصري ، معامل الانكسار من جهاز قياس فرق الطور يختلف خطيا مع درجة الحرارة . وفي الوقت نفسه ، فإن هيكل الدعم الميكانيكية من الجهاز يمكن أن تولد تشوه طفيف بسبب التمدد الحراري والبرد الانكماش ، مما يجعل مسار بصري الانحراف ، وخاصة عندما تغير درجة الحرارة أكثر من 5 درجة مئوية ، انحراف مسار بصري coaxiality يمكن أن تتجاوز 0.1mm ، مما يؤدي إلى خطأ كبير في القياس . استراتيجية المكافحة يجب أن تعتمد " التحكم في درجة الحرارة الإيجابية والسلبية العزل الحراري " خطة مزدوجة : وضع الجهاز في مختبر درجة حرارة ثابتة ( التحكم في درجة الحرارة 20 ± 0.5 ℃ ) ، مجهزة عالية الدقة نظام تكييف الهواء . الجهاز الرئيسي هو تزويد الجسم مع غطاء العزل الحراري ، والمكونات البصرية الرئيسية تعتمد المواد مع انخفاض معامل التمدد الحراري ( مثل زجاج الكوارتز ) للحد من تأثير درجة الحرارة على أداء الجهاز .

الاهتزاز الميكانيكي يمكن أن تدمر استقرار مسار الضوء ، مما يؤدي إلى اضطراب المرحلة إشارة شراء . وتشمل مصادر الاهتزازات الاهتزازات الأرضية ، ومعدات التشغيل الاهتزازات والاضطرابات البيئية ، حتى لو كانت السعة فقط ميكرون المستوى ، يمكن أيضا أن يسبب عنصر بصري في الموقف النسبي إلى الانحراف ، مما أدى إلى اختلاف المسار البصري التقلبات . عالية التردد الاهتزاز ( على سبيل المثال ، 10-100hz الاهتزاز الناجم عن تشغيل معدات الورش ) يمكن أن يؤدي إلى اضطراب الدوري المرحلة إشارة . التردد المنخفض الاهتزاز ( على سبيل المثال ، 1-5hz الاهتزاز الناجم عن المشي ) يمكن أن يؤدي بسهولة إلى بيانات القياس الانجراف . التدابير المضادة ينبغي أن تبدأ مع " العزلة الاهتزاز + التحسين الهيكلي " : تركيب الجهاز على الهواء العائمة منصة الاهتزاز العزلة ، امتصاص أكثر من 90 ٪ من الأرض الاهتزاز من خلال وسادة الهواء ؛ المكونات البصرية الأساسية في المعدات الثابتة مع مرونة التخميد ، والحد من الاهتزاز الذاتي نقل . في بيئة عالية الاهتزاز ( على سبيل المثال ، ورشة عمل في الموقع ) ، بالإضافة إلى ذلك ، قاعدة مضادة للصدمات الاهتزاز عزل المنطقة المحددة لتجنب الاضطرابات الخارجية .

استقرار مصدر الضوء مباشرة يحدد دقة المرحلة إشارة القياس ، و شدة تذبذب الطول الموجي الانجراف سوف يؤدي إلى أخطاء . إذا كانت كثافة مصدر الضوء يتقلب أكثر من 5 ٪ ، السعة من photodetector سوف تكون غير مستقرة و كلمة خطأ سوف تحدث في مرحلة الحساب . ولكن الطول الموجي الانجراف ( على سبيل المثال ، الطول الموجي الأحمر التحول الناجم عن ارتفاع درجة حرارة أشباه الموصلات الليزر ) يمكن أن تغير من خصائص انتشار الضوء ، عالية الدقة قياس ( على سبيل المثال ، نانومتر فرق الطور الكشف ) ، الطول الموجي الانجراف في 0.1nm يمكن أن يؤدي إلى 0.5 نظام التحكم يجب أن تعتمد " تردد ثابت مصدر الطاقة " و نظام المعايرة : يفضل استخدام ليزر الهليوم نيون أو أشباه الموصلات الليزر مع درجة الحرارة التعويض لضمان استقرار الطول الموجي ≤ 0.01nm / h ; وحدة مصدر الضوء بالإضافة إلى ذلك قدمت مع قوة ردود الفعل جهاز تكييف ، والتي يمكن التحكم في شدة تقلب في غضون 2 ٪ . مصدر الضوء الطول الموجي معايرة بانتظام باستخدام معيار لوحة الموجة ، على الأقل مرة واحدة في الشهر .

وبالإضافة إلى ذلك ، فإن العوامل الأساسية المذكورة أعلاه ، حالة الجسم و دقة معايرة المعدات لا يمكن تجاهلها . نظافة السطح ( على سبيل المثال ، النفط وصمة عار والغبار ) يمكن أن يؤدي إلى تشتت الضوء ، مما يؤثر على مرحلة الاعتراف . تشوه طفيف من الجسم ( على سبيل المثال ، الوزن الذاتي الانحناء ورقة عينة ) يمكن أن تغير المسار الفعلي الفرق . في جانب من جوانب المعدات ، والشيخوخة من العناصر البصرية ( مثل انخفاض نسبة الانقراض من المستقطب ) و رد الانجراف من photodetector يمكن أن تقلل من دقة القياس . ولذلك ، من الضروري إنشاء آلية " عينة المعالجة + المعايرة الدورية " : تنظيف سطح الكائن قبل القياس ، واستخدام المشبك الخاص لإصلاح تشوه العينة . معايرة الجهاز باستخدام معيار المرحلة عينة كل ربع لضمان خطأ في النظام هو أقل من أو يساوي 0.01 π . . . . . . .

دقة السيطرة على جهاز قياس فرق الطور هو عملية تعاونية متعددة العوامل السيطرة . وينبغي أن تستند إلى مراقبة البيئة ، مع استقرار مصدر الضوء و نظام ميكانيكي باعتبارها جوهر ، مع الكمال آلية المعايرة . عند الاستخدام ، يجب على الشركات الجمع بين التطبيق الخاصة بهم المشهد ( على سبيل المثال ، مختبر اختبار الدقة أو ورشة عمل اختبار في الموقع ) ، ووضع خطة لضمان دقة ، إذا لزم الأمر ، والجمع بين الشركات المصنعة للمعدات حسب الطلب الأمثل لضمان دقة وموثوقية بيانات القياس ، وتوفير دعم قوي من أجل تطوير المنتجات ومراقبة الجودة .