من أجل تحسين التوحيد النقش البلازما آلة الحفر ، ونحن يمكن أن تبدأ مع التصميم الأمثل للمعدات وتعديل المعلمات العملية .
معدات التصميم الأمثل
تركيب حلقة التركيز : التركيز حلقة مثبتة حول حافة رقاقة ، والتي يمكن أن تملأ الفجوة في الارتفاع بين حافة رقاقة الكهربائي ، وجعل غمد أكثر سلاسة ، وضمان أن الأيونات يمكن أن قصف سطح رقاقة عموديا ، وتجنب تشويه النقش ، وبالتالي تحسين النقش التوحيد .
تحسين توزيع الغاز : تحسين رد الفعل النقش التوحيد من خلال تحسين رد الفعل حقن الغاز . على سبيل المثال ، السيليكون النقش تجويف يمكن أن تتطور تدريجيا من طريقة حقن الغاز من محيط رقاقة حقن الغاز من فوق مركز رقاقة .
ضبط المسافة بين العلوي والسفلي لوحات : الفجوة بين الكاثود والانود هو عامل رئيسي يؤثر على تدفق أيون التوحيد في البلازما مزدوجة الحث ( CCP ) تجويف . في العام ، أصغر الفجوة ، أفضل التوحيد من البلازما ، قابل للتعديل الفجوة التكنولوجيا يمكن استخدامها لتحسين توزيع تدفق أيون وفقا لمختلف الظروف التكنولوجية .
درجة الحرارة التي تسيطر عليها المنطقة : رقاقة درجة الحرارة هو العامل الرئيسي الذي يؤثر على النقش التوحيد كهرباء تشاك ( ESC ) يمكن تحسين درجة الحرارة التوحيد من خلال إدخال مختلف التدفئة أو التبريد في المنطقة ، على سبيل المثال ، في وقت مبكر من منطقة واحدة التحكم في درجة الحرارة إلى منطقة مزدوجة التحكم في درجة الحرارة ، أربعة منطقة التحكم في درجة الحرارة ، أو حتى أكثر من 100 من عناصر التدفئة المحلية يمكن نشرها لزيادة تحسين دقة التحكم في درجة الحرارة .
عملية ضبط المعلمة
تحسين تكوين الغاز و طريقة الحقن : ضبط موقع الحقن الرئيسية رد فعل الغاز ، أو حقن الغاز في مواقع مختلفة من أجل السيطرة على البيئة الكيميائية الغاز على رقاقة ، وتحسين النقش التوحيد .
زيادة الترددات اللاسلكية السلطة : زيادة الترددات اللاسلكية السلطة بشكل صحيح يمكن أن تزيد من طاقة الحادث الجسيمات ، مما يجعلها أكثر عمودي على سطح الهدف ، وبالتالي الحد من معدل النقش على الجدران الجانبية من الفرق ، من أجل الحد من تأثير الخندق الصغير ، وتحسين النقش التوحيد بعض المساعدة .
متقطع النقش : من خلال كسر عملية النقش الدوري ، وإعطاء ما يكفي من الوقت للهروب من الإلكترونات ، يمكن أن تقلل بشكل كبير من تأثير الشحن ، وبالتالي تحسين النقش التوحيد .
عملية تعويضية السيطرة : عند معدل النقش من خطوة واحدة هو أسرع في المنطقة الوسطى ، يمكن أن تعوض عن طريق زيادة معدل النقش حافة ، على سبيل المثال ، من خلال التحكم بدقة beveletch آلة .