فراغ البلازما المغلفة رقيقة ترسب الجهاز هو جهاز إيداع المواد رقيقة على سطح الركيزة من خلال فراغ البلازما التكنولوجيا . الجهاز يستخدم على نطاق واسع في العديد من المجالات مثل المعالجة السطحية ، والبصريات ، والالكترونيات ، والآلات ، وما إلى ذلك ، يمكن أن تشكل طبقة رقيقة مع وظيفة محددة على الركيزة ، مثل ارتداء مقاومة ، مقاومة للتآكل ، موصل ، والعزل ، الخ .
1 . نظرة عامة على فراغ البلازما المغلفة رقيقة ترسب التكنولوجيا .
فراغ طلاء البلازما ترسيب الأبخرة الكيميائية ( الأمراض القلبية الوعائية ) أو المادية بخار ترسب ( الترسيب الفيزيائي للبخار ) غالبا ما تستخدم لتعزيز جودة الفيلم و معدل الترسيب . من خلال توليد الطاقة العالية شعاع ايون من البلازما ، جزيئات الغاز متحمس و رد فعل عملية ترسب المواد المتسارعة .
2 - المعالم الرئيسية في دراسة أداء المعدات
في دراسة أداء فراغ البلازما المغلفة رقيقة ترسب المعدات ، ونحن عادة ما تحتاج إلى إيلاء اهتمام وثيق إلى المعايير الرئيسية التالية :
( 1 ) معدل الترسيب
معدل الترسيب هو مؤشر مهم لقياس أداء المعدات ، والتي تؤثر بشكل مباشر على كفاءة الإنتاج . وتتأثر أساسا بالعوامل التالية :
قوة البلازما : البلازما الطاقة يحدد مستوى الطاقة الأيونية ، مما يؤثر على معدل الترسيب . ارتفاع قوة البلازما يمكن تسريع ترسب الفيلم ، ولكن أيضا يمكن أن يؤدي إلى زيادة التوتر أو خشونة السطح .
تدفق الغاز و الضغط : تدفق الغاز و الضغط في النظام يمكن أن تؤثر على كثافة البلازما ، مما يؤثر على نوعية الفيلم و سرعة الترسيب . ارتفاع معدل تدفق الغاز وانخفاض الضغط يمكن أن تزيد من معدل الترسيب ، ولكن قد تؤثر على تجانس الفيلم .
( 2 ) جودة الفيلم
نوعية الفيلم يحدد خصائص الفيلم ، بما في ذلك التصاق ، سمك التوحيد ، نعومة السطح ، وهلم جرا . وتشمل العوامل التي تؤثر على جودة الفيلم :
كثافة البلازما والطاقة : ارتفاع كثافة البلازما و الطاقة المناسبة يمكن أن تزيد من كثافة الفيلم ، والحد من المسامية ، والحصول على أفضل التصاق .
تكوين الغاز : استخدام مصادر الغاز المختلفة ( مثل الأرجون والنيتروجين والأكسجين ، وما إلى ذلك ) يمكن أن تؤثر على التركيب الكيميائي وهيكل الفيلم ، ومن ثم تؤثر على خصائص الفيلم ( مثل صلابة ، ومقاومة التآكل ، وهلم جرا ) .
( 3 ) التصاق الفيلم
التصاق الطلاء هو معلمة هامة لتقييم أداء الطلاء . التصاق جيدة يمكن أن تضمن أن الفيلم لا تسقط على الركيزة ، ويمكن أن تحمل على المدى الطويل ارتداء والصدمة . العوامل التي تؤثر على التصاق هي :
البلازما المعالجة : المعالجة السطحية من خلال الركيزة البلازما يمكن أن تزيد من التصاق الفيلم ، وإزالة سطح الركيزة أكسيد المواد العضوية ، وتعزيز قوة الترابط بين الفيلم و الركيزة .
اختيار المواد الركيزة : مواد مختلفة لها تأثير مختلف على التصاق الطلاء ، تحتاج إلى اختيار المواد الركيزة المناسبة مع الفيلم .
( 4 ) فيلم التوحيد
التوحيد من الفيلم يؤثر على وظيفة ، مثل الخصائص البصرية والموصلية الكهربائية . العلاقة بين أداء الجهاز و التوحيد من الفيلم هو مبين على النحو التالي :
البلازما التوحيد : توزيع موحد البلازما يساعد على تحسين التوحيد من الفيلم . توزيع مصدر البلازما ، وتوزيع الطاقة ، وتدفق الغاز التوحيد يجب أن يكون الأمثل لضمان سماكة موحدة من الفيلم .
الركيزة سرعة الدوران ودرجة الحرارة : في بعض الأجهزة ، التوحيد من الفيلم يمكن تحسينها من خلال التحكم في سرعة الدوران ودرجة الحرارة من الركيزة . سرعة دوران عالية جدا أو درجة حرارة منخفضة جدا قد يؤدي إلى تفاوت سماكة الفيلم .
( 5 ) استقرار وموثوقية المعدات
استقرار المعدات هو شرط مسبق لضمان كفاءة العمل لفترة طويلة . استقرار المعدات عادة ما يشير إلى القدرة على الحفاظ على أداء المعدات على مدى فترة طويلة من الزمن ، ويرجع ذلك أساسا إلى العوامل التالية :
أداء نظام فراغ : قدرة الضخ وختم أداء نظام فراغ هي من العوامل الهامة التي تؤثر على استقرار المعدات . إذا كانت درجة فراغ غير مستقرة أو تسرب ، قد تؤثر على نوعية وكفاءة عملية الترسيب .
استقرار البلازما : استقرار البلازما يؤثر على تدفق الأيونات و الإثارة من ترسب المواد . استقرار الدولة البلازما يساعد على الحصول على موحدة ، فيلم الكثيفة .
( 6 ) كفاءة استخدام الطاقة والأثر البيئي
كفاءة الطاقة والأثر البيئي فراغ البلازما المغلفة رقيقة ترسب المعدات هي أيضا مؤشرات هامة لتقييم أدائها . كفاءة الطاقة من المعدات هو وثيق الصلة إلى استهلاك الطاقة في عملية الترسيب . من أجل تحسين كفاءة استخدام الطاقة والحد من الآثار البيئية للمعدات ، والباحثين باستمرار تحسين تصميم المعدات ، وذلك باستخدام مصدر البلازما مع انخفاض استهلاك الطاقة وتحسين نظام تدفق الغاز .
3 - اتجاهات البحث
من أجل زيادة تحسين أداء فراغ البلازما المغلفة رقيقة ترسب المعدات ، اتجاهات البحوث المستقبلية قد تشمل ما يلي :
تطوير نوع جديد من مصدر البلازما ، مثل الطاقة المنخفضة مصدر البلازما ، البلازما عالية الكثافة ، يمكن أن تزيد من معدل الترسيب ، والحد من استهلاك الطاقة .
متعدد المواد codeposition التكنولوجيا : من خلال التحكم في وقت واحد ترسب مواد متعددة ، أكثر تعقيدا تصميم الفيلم يمكن تحقيقه ، متعددة الوظائف طلاء يمكن الحصول عليها .
ذكي معدات التحكم : إدخال نظام مراقبة ذكي ، في الوقت الحقيقي رصد حالة المعدات ، تلقائيا ضبط المعلمات ترسب ، وتحسين كفاءة العمل والاستقرار من المعدات .
البحث عن الأفلام ذات البنية النانومترية : تطوير التكنولوجيا التي يمكن التحكم في الأفلام ذات البنية النانومترية ، وتحسين خصائص الفيلم ، مثل ارتداء مقاومة ، مقاومة للتآكل ، وهلم جرا .
4 - موجز
البحث عن أداء فراغ البلازما المغلفة رقيقة ترسب المعدات ينطوي على العديد من الجوانب ، مثل معدل الترسيب ، ونوعية الفيلم ، فيلم التصاق والاستقرار وكفاءة الطاقة . من خلال التحسين والابتكار من المعالم الرئيسية للمعدات ، ليس فقط يمكن تحسين نوعية وأداء الأفلام المودعة ، ولكن أيضا يمكن تحسين كفاءة الإنتاج وخفض تكاليف التشغيل من المعدات .