إعداد قبل العملية ( 5 دقائق ، والسلامة أولا )

التفتيش الأمني

تأكد من أن الجهاز يعمل بشكل جيد على الأرض ( تجنب التسرب ) ، وإمدادات الطاقة الجهد يتوافق مع متطلبات التصنيف ( على سبيل المثال ، ac220v ± 10 ٪ ) ؛

تحقق ما إذا كان خط أنابيب الغاز ( مثل الأرجون ، الأكسجين ، النيتروجين ) هو وثيق الصلة ، لا تسرب ( يمكن الكشف عنها بواسطة الماء والصابون تلطيخ المفاصل ، لا فقاعة طبيعية ) ؛

فتح خزانة ( إذا كان التعامل مع عينة متقلبة ) أو جهاز العادم ، وتجنب رد فعل البلازما تنتج كمية صغيرة من الغاز تلوث البيئة .

عينة إعداد :

كتلة كبيرة من الشوائب ( مثل الغبار والأوساخ دهني ) على سطح العينة ( على سبيل المثال ، رقاقة ، الزجاج ، البلاستيك ، المعادن ) يجب تنظيفها في وقت مبكر .

عينة ثابتة على حامل العينة لضمان عدم وجود انسداد على سطح العينة ( البلازما يجب أن تكون مشمولة بشكل موحد ) و حامل العينة يوضع في مركز رد فعل الدائرة ( تجنب الاقتراب من القطب ) .

التحقق من المواد الاستهلاكية والبيئة :

التحقق من اسطوانة الغاز الضغط ( عادة 0.2-0.5mpa ) لضمان كفاية الغاز .

تأكد من أن ختم حشية من رد فعل الغرفة نظيفة وخالية من الضرر ( ضمان تأثير فراغ الختم ) ، لا اهتزاز قوي أو الغبار في البيئة التجريبية ( تجنب التأثير على تشغيل الجهاز ) .

الخطوة الأساسية ( الإعداد الذكي دون تدخل يدوي )

بدء تشغيل الجهاز مع فراغ ضخ :

بدوره على مجموع امدادات الطاقة ، بدء تشغيل نظام التحكم ( بعض النماذج تعمل باللمس ) ، حدد " دليل " أو " الوضع التلقائي " ( مبتدئ يوصي الوضع التلقائي ، المدمج في التنظيف المشتركة المعلمات ) ؛

إغلاق باب غرفة رد الفعل ، اضغط على " فراغ " زر ، أداة يبدأ تلقائيا مضخة فراغ ، رد فعل غرفة الضغط إلى مجموعة فراغ ( عادة 10-100pa ، وفقا لنوع العينة التكيف ) ، بعد الانتهاء من ضخ الغاز ، أداة سوف تلقائيا موجه ( ضوء المؤشر أو الطنان ) .

مدخل الغاز مع إعدادات المعلمة :

اختيار نوع من تنظيف الغاز ( على سبيل المثال ، الأكسجين لتنظيف الاوساخ دهني ، الأرجون الأرجون + الأكسجين على سطح التنشيط ، مركب التنظيف ) ، وتحديد معدل تدفق الغاز ( عادة 10-50sccm ، تدفق كبير جدا من السهل تدمير فراغ ، صغيرة جدا ، ثم تركيز البلازما غير كافية ) ؛

إعداد المعلمات التنظيف :

السلطة ( 50-300W ، وارتفاع الطاقة من الصعب اختيار العينة ، وانخفاض الطاقة من لينة / الحرارية اختيار العينة ) ؛

تنظيف الوقت ( 30 ثانية - 10 دقائق ، التلوث الخفيف اختيار وقت قصير ، تنظيف عميق اختيار وقت طويل ) ؛

بعض النماذج دعم " مجزأة المعلمات " ( مثل انخفاض الطاقة المعالجة ، ثم تنظيف عالية الطاقة ) ، يمكن تعيين على الطلب .

بدء تنظيف البلازما :

بعد تأكيد المعلمة ، اضغط على زر " بدء التنظيف " ، وأداة تلقائيا تنفيذ العملية : أولا الحفاظ على تدفق الغاز و درجة فراغ مستقرة ، ثم البدء في الترددات اللاسلكية إمدادات الطاقة لتوليد البلازما ( رد فعل الغرفة سوف تظهر ضعف توهج ، تنتمي إلى ظاهرة طبيعية ) ؛

في عملية التنظيف ، فراغ ، تدفق الغاز ، والسلطة ، الوقت المتبقي وغيرها من المعالم التي يتم عرضها على الشاشة في الوقت الحقيقي ، دون تعديل يدوي ، إذا كان غير طبيعي ( مثل فراغ لا تصل إلى مستوى ، تسرب الغاز ) ، الصك تلقائيا إنذار وإيقاف .

الانتهاء من العملية ( 3 دقائق كاملة ، وحماية الصك + عينة )

وقف التنظيف وتخفيف الضغط :

بعد وقت التنظيف ، الجهاز تلقائيا إيقاف إمدادات الطاقة الترددات اللاسلكية ، صمام الغاز ، أدخل " تخفيف الضغط " تدفق ( رد فعل الغرفة مع كمية صغيرة من غاز خامل ، مثل النيتروجين ، والتوازن بين الضغط الداخلي والخارجي ) ؛

بعد الانتهاء من تخفيف الضغط ( الضغط في غرفة رد الفعل يعود إلى الضغط الجوي ) ، الصك إلى " الانتهاء من العملية " ، في هذا الوقت ، يمكن فتح باب غرفة رد الفعل .

أخذ العينات والتفتيش :

ارتداء القفازات ، وأخذ العينات ، ومراقبة حالة سطح العينة ( إذا كانت جافة ، لا بقايا ، إذا كان التوتر السطحي هو زيادة ، يمكن التحقق من تأثير التنظيف من خلال قطرات الماء زاوية الاتصال اختبار ) ؛

إذا كان عدد وافر من العينات التي تحتاج إلى معالجتها بشكل مستمر ، يمكن تكرار خطوات إعداد العينة ، فراغ ضخ ، والتنظيف ، دون الحاجة إلى إيقاف إمدادات الطاقة الإجمالية من الصك .

اغلاق وصيانة الأجهزة :

بعد الانتهاء من تجهيز جميع العينات ، أغلق صمام اسطوانة الغاز ، اضغط على زر " إيقاف مضخة فراغ " عندما يتم إيقاف مضخة فراغ تماما ( تجنب عودة النفط من مضخة فراغ ) ، إيقاف إمدادات الطاقة الرئيسية من الصك .

استخدام خرقة نظيفة لمسح رد فعل الغرفة باب ختم حشية ، عينة الرف ، تنظيف رد فعل الغرفة كمية صغيرة من الغبار ( إن وجدت ) ، والحفاظ على أداة نظيفة ، تمديد خدمة الحياة .

عملية تدفق البلازما الأنظف موحدة وذكية ، العملية برمتها من " زر التشغيل + إعداد المعلمة " في المقام الأول ، لا تحتاج إلى تعديل الميكانيكية المعقدة أو المعرفة الكيميائية ، مبتدئ 10 دقائق لإتقان العملية الأساسية . " التعقيد " ينعكس بشكل رئيسي في " اختيار المعلمة " ( على سبيل المثال ، عينات مختلفة تتوافق مع مختلف الغاز ، والسلطة ، والوقت ) ، بدلا من العملية نفسها - طالما أن عينة من المواد ( من الصعب / لينة ، ومقاومة درجات الحرارة ) و الغرض من التنظيف ( إزالة النفط ، التنشيط ، النقش ) اختيار المعلمات المناسبة لتحقيق كفاءة التنظيف .