المتوسطة والكبيرة الحجم آلة تنظيف البلازما هو نوع من كفاءة عالية معدات المعالجة السطحية ، والتي تستخدم على نطاق واسع في مجال أشباه الموصلات ، والالكترونيات ، والفضاء ، وصناعة السيارات ، والأجهزة الطبية ، وما إلى ذلك تستخدم لإزالة الملوثات العضوية ، وأكاسيد ، والجسيمات وغيرها من الملوثات على سطح المواد ، وتحسين النشاط التصاق سطح المواد . وفيما يلي طرق التنظيف المشتركة والنقاط الرئيسية :
إعداد قبل التنظيف
معدات التفتيش
تأكد من أن جميع مكونات البلازما الأنظف ( مثل نظام فراغ ، وإمدادات الطاقة ، ونظام إمدادات الغاز ) تعمل بشكل صحيح .
تحقق من ختم فراغ الغرفة لتجنب تسرب الهواء .
معايرة مقياس الجريان الغاز وأجهزة استشعار الضغط لضمان دقة المعلمات .
الشغل المعالجة
عملية التنظيف المناسبة ( على سبيل المثال ، المعادن والسيراميك والبلاستيك ، الخ . )
تنظيف الشغل ( على سبيل المثال ، وإزالة النفط ، وإزالة الغبار ) ، وتجنب الجسيمات الكبيرة من الملوثات في فراغ الغرفة .
اختيار الغاز
الغازات الشائعة : الأكسجين ( س ) ، الأرجون ( ع ) ، النيتروجين ( ن ) ، الهيدروجين ( ح ) ، رابع فلوريد الكربون ( CF ) .
خليط الغاز : وفقا لمتطلبات العملية ، يمكن أن تكون مختلطة مع العديد من الغازات ( مثل س + ع ) من أجل تعزيز تأثير التنظيف .
طريقة التنظيف
فراغ تنظيف البلازما
خطوات
وضع الشغل في فراغ الغرفة وإغلاق الباب .
تبدأ مضخة فراغ ، فراغ الغرفة المطلوبة ( عادة 10 ⁻ ۹ ~ 10 ⁻ با ) .
حقن تنظيف الغاز ، وتنظيم تدفق الغاز والضغط .
بدء إمدادات الطاقة البلازما ، البلازما ، سطح الشغل القصف والتفاعل الكيميائي .
بعد التنظيف ، إيقاف إمدادات الطاقة البلازما ، واستعادة تجويف الضغط العادي ، مع الشغل .
سمات :
فائدة نموذج مناسبة لأنّ إزالة الملوثات من ميكرون أو حتى نانومتر الحجم .
يمكن التحكم بدقة تنظيف المعلمات ( مثل الطاقة ، والوقت ، تدفق الغاز ) .
الضغط الجوي تنظيف البلازما
خطوات
وضع الشغل تحت الضغط الجوي البلازما بندقية رش .
بدء مولد البلازما لإنتاج البلازما جت .
بندقية رش بمسح سطح الشغل في سرعة معينة و بعد الانتهاء من التنظيف .
سمات :
فائدة نموذج لا يحتاج إلى بيئة فراغ ، وانخفاض تكلفة المعدات ، ومناسبة للإنتاج على الانترنت .
تنظيف كفاءة عالية ، ولكن التوحيد قد يكون أقل قليلا من فراغ البلازما التنظيف .
بعد تنظيف البلازما
خطوات
البلازما المتولدة في مصدر البلازما المستقلة .
البلازما يتم نقلها إلى فراغ الغرفة أو سطح الشغل عبر الأنابيب .
سمات :
فائدة نموذج يتجنب التآكل من البلازما إلى الجهاز نفسه و يطيل عمر خدمة الجهاز .
فائدة نموذج مناسبة لأنّ الشغل التي هي حساسة للحرارة أو عرضة البلازما الضرر .
تنظيف المعلمة الأمثل
قوة .
عالية جدا من الطاقة يمكن أن يؤدي إلى تلف سطح الشغل ، وانخفاض الطاقة ، وعدم كفاية تأثير التنظيف .
اعتمادا على نوعية الشغل و نوع من التلوث ( على سبيل المثال ، تنظيف المعادن السلطة عادة أقل من أشباه الموصلات التنظيف ) .
تدفق الغاز والضغط
معدل تدفق الغاز يؤثر على كثافة البلازما وتنظيف قيم .
ارتفاع الضغط يمكن أن يؤدي إلى انخفاض البلازما التوحيد ، وانخفاض الضغط من الصعب الحفاظ على استقرار البلازما .
وقت التنظيف
لفترة قصيرة جدا من الوقت لا يمكن إزالة الملوثات تماما ، لفترة طويلة جدا قد يؤدي إلى تلوث الثانوي أو تلف الشغل .
أفضل وقت التنظيف يجب أن يتحدد من خلال التجربة .
درجة الحرارة
بعض العمليات تحتاج إلى التحكم في درجة الحرارة من الشغل ( مثل انخفاض درجة حرارة البلازما التنظيف ) لتجنب الضرر الحراري .
بعد تنظيف العلاج
اختبار الجودة
تأثير التنظيف تم اختباره من قبل تقنيات التحليل السطحي ( مثل XPS ، ووزارة شؤون المرأة ) .
وتشمل مؤشرات قياس خشونة السطح ، التركيب الكيميائي ، النظافة ، الخ .
بعد العملية
بعد العلاج ، مثل الطلاء ، التصاق ، واللحام ، وما إلى ذلك وفقا لمتطلبات .
تطبيق نموذجي
تصنيع أشباه الموصلات
تنظيف بقايا مقاومة للضوء على سطح رقاقة ، وتحسين العائد بعد العملية .
الأجهزة الطبية
تنظيف سطح الزرع ، وإزالة المواد العضوية والجسيمات ، وتحسين توافق مع الحياة .
الفضاء الجوي
تنظيف سطح المركبة ، وتعزيز التصاق الطلاء .
سادساً - نقاط الاهتمام
عملية آمنة
الامتثال لقواعد السلامة في المعدات ، وتجنب الصدمات الكهربائية ذات الجهد العالي و تسرب الغاز .
استرداد الغاز
السامة أو الغازات المسببة للتآكل ( مثل قوات التحالف ) يجب إعادة تدويرها لتجنب التلوث البيئي .
صيانة المعدات
تنظيف فراغ الغرفة مولد البلازما بانتظام ، واستبدال الأجزاء الضعيفة ( مثل الأقطاب الكهربائية ، والأختام ) .
طريقة التنظيف المتوسطة والكبيرة الحجم آلة تنظيف البلازما يجب أن تكون جنبا إلى جنب مع التطبيق الفعلي المشهد و المتطلبات التقنية ، من خلال تحسين المعلمات واختيار طريقة التنظيف المناسبة لتحقيق كفاءة عالية وآمنة المعالجة السطحية .