جامعة العلوم والتكنولوجيا الالكترونية وقد تم شراء العديد من معدات البلازما ، بما في ذلك pluto-t البلازما آلة التنظيف ، pluto-md البلازما آلة إزالة الصمغ ، مثل التغذية المرتدة من العملاء جيدة .

التطبيقات الرئيسية هي : إزالة رقاقة مقاومة للضوء ، وإزالة المواد العضوية على سطح أشباه الموصلات الالكترونية عينة ، والمعالجة السطحية متعددة الوظائف ذات النطاق العريض امتصاص النانو الصغيرة ، وهلم جرا .