جامعة تسينغهوابعد التحقيق في العديد من معدات البلازما المعالجة السطحية ، pluto-tالبلازما آلة التنظيف/ المعالجات السطحية .

وفقا لمتطلبات العملاء التقنية ، يمكن أن تلبي جميع المعايير التقنية من المعلمينبلوتو - تيالبلازما الأنظف / سطح المعالج ، أدناه هو تركيب المعدات والتصحيح الرسم .