إن microspectroscopy سمك الفيلم هو أداة قياس عالية الدقة البصرية ، والتي تستخدم أساسا لقياس سماكة الفيلم ، رقاقة ، المواد البصرية ، متعدد الطبقات ، وتحليل الثوابت البصرية ( مثل معامل الانكسار ، معامل الخمود ) . على أساس مبدأ التداخل الطيفي . عندما يكون الضوء المشع على سطح الفيلم ، الفيلم سوف ينعكس بين الأمامي والخلفي من السطوح عدة مرات على شكل هامش تدخل . . . . . . . في هذه الورقة ، تدخل فرينج تتحلل إلى الأطياف مع أطوال موجية مختلفة بواسطة تقنية التحليل الطيفي ، وكثافة التوزيع يقاس .
الانعكاس المطلق في منطقة صغيرة تم قياسها بواسطة المجهر الطيفي . عندما أشعة الضوء المشع على سطح الفيلم ، ظاهرة انعكاس و انتقال يحدث ، و أشعة الضوء ينعكس على السطح الأمامي والخلفي من الفيلم عدة مرات على شكل هامش تدخل . . . . . . . هذه تدخل فرينج تتحلل إلى الأطياف مع أطوال موجية مختلفة ، وكثافة التوزيع تقاس باستخدام تقنية التحليل الطيفي .
مميزات
عالية الدقة قياس : اعتماد خوارزمية دقيقة لتحقيق subnanometer قياس سماكة الفيلم ، وضمان دقة وموثوقية النتائج . لتلبية متطلبات قياس سماكة مختلفة من الأفلام .
عدم الاتصال قياس : لا تحتاج إلى الاتصال مباشرة مع العينة أثناء القياس ، وتجنب الأضرار الناجمة عن قوة خارجية على العينة ، وحماية سلامة العينة . فائدة نموذج مناسبة لأنّ قياس قيمة أو ضعف المواد فيلم ( مثل رقائق أشباه الموصلات ، طلاء البصرية ) .
قياس سريع في الوقت الحقيقي عرض : قياس الوقت قصير إلى 1 ثانية / نقطة ، ودعم عالية السرعة التلقائي المسح الضوئي ، وتحسين كفاءة الكشف . في الوقت الحقيقي عرض فيلم سمك البيانات ، من السهل تحليل سريع .
مجموعة واسعة من الطول الموجي متعدد الطبقات التحليل : النظام البصري يغطي الأشعة فوق البنفسجية الأشعة تحت الحمراء القريبة من الفرقة ( على سبيل المثال 230-1600nm ) ، ومناسبة لمختلف الخصائص الطيفية من المواد . دعم متعدد الطبقات هيكل التحليل ، يمكن قياس سماكة الفيلم متعدد الطبقات البصرية الثوابت في نفس الوقت .
سهلة الاستخدام تصميم : دليل البرامج التي من السهل تحليل ، حتى لو كان المستخدم الأول يمكن بسرعة استكمال تحليل الثوابت البصرية . قياس رأس مستقل يدعم التخصيص ، والتكيف مع مختلف خطوط الإنتاج على الخط رصد المشهد .