الهواء العائمة منصة العزلة الاهتزاز هو نوع من المعدات الدقيقة التي تستخدم الغاز المضغوط ( الهواء أو النيتروجين ) مثل دعم وسائل الإعلام العزلة الاهتزاز ، الاهتزاز العزلة البيئية الأساسية من خلال نظام الغاز الربيع التخميد ، وتوفير قاعدة مستقرة سطح العمل عالية الدقة المشهد ، وتستخدم على نطاق واسع في مجالات البحث العلمي والصناعة . الاستنتاجات الأساسية : التيار الرئيسي ينقسم إلى نوعين : السلبي والإيجابي ، في حين أن المشهد التقليدي يفضل السلبي ( عالية الأداء نسبة السعر ، وصيانة مريحة ) ، نانومتر الدقة أو سوء بيئة اهتزاز نشط ( العزلة الاهتزاز كفاءة أعلى ) ؛ اختيار التركيز على التردد الطبيعي ، قدرة تحمل الجدول الدقة .
صيانة الهواء العائمة الاهتزاز العزلة منصة ينبغي أن تركز على نظام إمدادات الهواء ، الهواء العائمة واضعة ، والأختام ، وتنظيف البيئة .
الهواء العائمة العزلة الاهتزاز منصة أشكال مستقرة فيلم الهواء بين منصة المؤسسة من خلال الهواء ذات الضغط العالي ، و تعليق و العزلة الاهتزاز يمكن أن تتحقق من خلال تأثير ضغط ثابت من الهواء . عملية محددة على النحو التالي :
فيلم تشكيل الغاز : الغاز المضغوط مصدر حقن الغاز في تجويف الغاز الخاص بين منصة قاعدة على شكل توزيع موحد * رقيقة فيلم الغاز ، مما يجعل الجسم الرئيسي منصة قاعدة منفصلة عن الاتصال الصلبة ، والحد بشكل كبير من الاهتزاز كفاءة التوصيل .
المعلمات السيطرة : مجهزة ضغط الهواء وحدة التحكم ، وفقا لمختلف المعدات مثل المجهر الإلكتروني ، تداخل الليزر ، وما إلى ذلك الاهتزاز العزلة الاحتياجات ، دقة السيطرة على الغاز فيلم صلابة و المعلمات التخميد ، لتحقيق مخصص التحكم في الاهتزاز .
التشرد التعويض : بعض النماذج المتكاملة عالية الدقة نظام رصد التشرد والتعويض ، من خلال أجهزة الاستشعار في الوقت الحقيقي التقاط موقف منصة صغيرة التغييرات ، مع المحرك بالهواء المضغوط أو الكهربائية بسرعة تصحيح التشرد الانحراف ، وزيادة تعزيز الاستقرار التشغيلي .
سيناريوهات التطبيق
تطبيق مجموعة من الهواء العائمة منصة العزلة الاهتزاز هو توسيع باستمرار ، وقد تم تطبيقها على ثلاثة مجالات رئيسية في الوقت الحاضر :
مجال البحث العلمي : في تشابك الكم الملاحظة ، مجهر القوة الذرية الكشف عن العناصر البصرية الدقيقة المعايرة ، وما إلى ذلك تستخدم لعزل الاهتزازات الأرضية والضوضاء من المعدات الطرفية في المختبر ، وضمان دقة البيانات التجريبية والتكرار ، وتوفير بيئة مستقرة للبحث العلمي .
في مجال الطب و الفضاء : في مجال التصوير بالرنين المغناطيسي عالية الكثافة معدات الفضاء مكونات أجهزة الكشف عن الدقة ، من خلال عزل الاهتزاز لضمان استقرار تشغيل المعدات ، وارتفاع القرار التصوير الطبي والفضاء مكونات دقة الكشف عن الاحتياجات .
دقة التصنيع : في مجال الطباعة الحجرية ، رقاقة معدات الكشف ، مركز الآلات وغيرها من المعدات ، لضمان دقة الآلات ، وتجنب الاهتزاز الناجم عن التدخل في تجهيز الأخطاء .