في مجال تصنيع أشباه الموصلات ، الضوئية ، والالكترونيات الدقيقة ، وما إلى ذلك عملية التجفيف بعد تنظيف رقاقة السيليكون هو جزء مهم جدا . أي بقايا المياه ، والعلامات المائية ، أو الملوثات يمكن أن يؤدي إلى انخفاض حاد في غلة المنتج . باعتبارها جوهر المعدات في هذا الصدد ، أداء رقاقة السيليكون آلة التجفيف يؤثر بشكل مباشر على جودة المنتج وتكلفة الإنتاج . تواجه مجموعة واسعة من المنتجات في السوق ، وكيفية تجنب " خطوة على حفرة " ؟ هذه هي المعايير الرئيسية التي يجب أن تركز على شراء الأساسية .
القوة الدافعة الأساسية : موتور و التحكم في سرعة
المحرك هو " قلب " مجفف ، أدائها مباشرة يحدد استقرار المعدات والحياة .
تجنب الحفرة : حذار من انخفاض جودة محرك التيار المتردد أو التحكم في المحركات . هذا النوع من المحركات غالبا ما تبدأ مع تأثير كبير ، سرعة دوران غير مستقرة ، وارتفاع الضوضاء والاهتزاز ، من السهل جدا على سرعة دوران عالية رقاقة السيليكون الهشة الناجمة عن الشقوق المخفية أو حتى الحطام .
التركيز على :
1 . نوع المحرك : يفضل فرش العاصمة المحركات . فائدة نموذج يحتوي على مزايا سرعة واسعة النطاق ، عملية مستقرة ، ومراقبة دقيقة ، وكفاءة عالية ، والخدمة الطويلة في الحياة ، الخ .
2 . أسلوب التحكم : يجب أن تدعم تحويل تردد سرعة التنظيم . ممتازة آلة التجفيف يجب أن يكون بداية بطيئة وبطيئة إيقاف وظيفة ، وهذا هو ، سرعة الدوران يمكن أن ترتفع وتنخفض باطراد ، والحد الأقصى والحد من تأثير الإجهاد الميكانيكي على رقاقة السيليكون .
3 . أقصى سرعة الدوران : يجب أن تكون مصممة وفقا لمتطلبات العملية . في كثير من الأحيان ، وارتفاع سرعة الدوران يمكن أن تنتج المزيد من قوة الطرد المركزي ، وتجفيف أفضل النتائج ، ولكن أيضا النظر في حجم رقاقة السيليكون الضعف .
عملية التوافق : التحكم في درجة الحرارة نظام الغلاف الجوي
مجرد قوة الطرد المركزي لا يمكن تجنب " العلامة المائية " المشكلة ، لا سيما في الدوائر فائقة الدقة رقاقة السيليكون . ولذلك ، التحكم في درجة الحرارة و نظام الغلاف الجوي هي معيار حديث مجففات .
تجنب حفرة نقطة : فقط مع وظيفة الطرد المركزي " عارية " . من أجل عملية صارمة ، من الصعب إزالة المياه وصمة عار على سطح رقاقة السيليكون بعد التجفيف .
التركيز على :
1 . وظيفة التدفئة : هل المعدات وحدة التدفئة ؟ ما هو نطاق درجة حرارة التشغيل ؟ ( على سبيل المثال ، درجة حرارة الغرفة ~ 120 ℃ ) . التدفئة المناسبة ( على سبيل المثال ، 50-80 ℃ ) يمكن أن تسرع بشكل فعال في تبخر السائل ، ومنع جفاف بطيء تشكيل العلامة المائية .
2 - نوع الغلاف الجوي : هل تؤيد حقن غاز خامل ( مثل النيتروجين عالية النقاء ؟ إدخال النيتروجين يمكن أن تحل محل الهواء والأكسجين في تجويف الجسم ، ومنع سطح رقاقة السيليكون من أكسدة تحت درجة حرارة عالية ، والبيئة الرطبة ، وتشكيل جديد من التلوث .
3 - مراقبة تدفق الغاز : هل هناك دقة تدفق الغاز ونظام التحكم ؟ ثابت و كمية مناسبة من تدفق الهواء هو المفتاح لضمان تكرار العملية .
التوافق والقدرة على الإنتاج : حجم تجويف يناسب سلة
تصميم غرفة مجفف يحدد المنتجات التي يمكن التعامل معها ، وكم يمكن التعامل معها في وقت واحد .
تجنب حفرة : حجم تجويف أو زهرة سلة واجهة لا تتطابق مع خط الانتاج الحالي ، مما أدى إلى عدم استخدام المعدات أو الحاجة إلى مزيد من التخصيص ، وزيادة التكاليف ودورة .
التركيز على :
1 . حجم تجويف : تحديد حجم رقاقة السيليكون ( على سبيل المثال ، 4 ، 6 ، 8 ، 12 ) و نوع وكمية من سلة زهرة / شريحة حامل . لضمان ما يكفي من الفضاء الداخلي من تجويف ، رقاقة السيليكون مربع لا تتداخل مع تجويف الجدار بعد وضعه .
2 . زهرة سلة محول : تأكد من أن الجهاز يوفر قاعدة سلة زهرة ( التكيف ) مع المصنع الخاص بك باستخدام معيار سلة زهرة ( مثل سيمي القياسية سلة زهرة ) . عدم تطابق النتائج في تشغيل سلة من الزهور تهتز ، مما تسبب في الحطام .
footstone الاستقرار : الاهتزاز والتوازن الديناميكي
الاهتزاز هو عدو كبير من رقاقة السيليكون آلة التجفيف ، والتي ترتبط مباشرة مع جزء معدل .
تجنب حفرة نقطة : معدات تشغيل " يهز الأرض " ، أو تحت الأحمال المختلفة الاهتزاز السعة تختلف اختلافا كبيرا .
التركيز على :
1 . التوازن الديناميكي التكنولوجيا : اسأل الشركة المصنعة التي تستخدم تكنولوجيا التوازن الديناميكي . تصميم ممتاز يستخدم عادة جزءا لا يتجزأ من الدوار موازنة ديناميكية التصحيح لضمان استقرار نظام التناوب في سرعة عالية .
2 - نظام التخميد : التحقق من ما إذا كان الجهاز مجهز بكفاءة عالية امتصاص الصدمات ( مثل عالية الأداء امتصاص الصدمات الربيع أو المثبط ) .
3 - بيانات الاهتزاز : يتطلب من الشركة المصنعة لتوفير بيانات اختبار الاهتزاز تحت أي حمولة كاملة ، وفهم الاهتزاز القياسية .
الذكاء والاعتمادية : التفاعل بين الإنسان والكمبيوتر ، وحماية الأمن
الإنتاج الحديث عن التتبع ، وسهولة التشغيل والسلامة المطلقة .
تجنب حفرة نقطة : واجهة عملية معقدة ، من الصعب أن نفهم ، المعلمات العملية لا يمكن تخزينها ، تدابير السلامة بدائية .
التركيز على :
1 . نظام مراقبة المجلس التشريعي الفلسطيني + شاشة تعمل باللمس هو التيار الرئيسي و الاختيار . واجهة ينبغي أن تكون بديهية ، ويمكن بسهولة إعداد وتخزين ونقل مجموعات متعددة من عملية صياغة ( مثل سرعة - الوقت - درجة الحرارة منحنى ) .
2 . سلامة التعشيق : يجب أن تكون مجهزة مع سلامة التعشيق التبديل ، وهذا هو ، لا يمكن فتح الغطاء ، الغطاء تلقائيا إيقاف تشغيل . هذا هو أبسط معدات السلامة الشخصية .
3 . المواد وختم : تجويف و عملية الاتصال مع الغاز السائل أجزاء ، ينبغي استخدام الفولاذ المقاوم للصدأ ( مثل 304 أو 316L ) وغيرها من المواد المقاومة للتآكل . ختم جيدة الأداء يضمن فعالية وسلامة الهواء الجاف .