فائدة نموذج يتعلق رقاقة السيليكون بالموجات فوق الصوتية الأنظف ، الذي هو جهاز الصناعية المستخدمة في إزالة الملوثات السطحية من رقاقة السيليكون في تصنيع أشباه الموصلات و إنتاج الخلايا الضوئية . وظيفتها الرئيسية هي إزالة الملوثات مثل المواد العضوية ، والجسيمات ، الشوائب المعدنية و طبقة أكسيد على سطح رقاقة السيليكون من خلال تقنية الموجات فوق الصوتية ، وفي الوقت نفسه الحفاظ على خصائص سطح رقاقة من التلف .
رقاقة السيليكون بالموجات فوق الصوتية الأنظف يستخدم تقلبات الضغط المتولدة من الموجات فوق الصوتية في السائل على شكل فقاعات صغيرة ، والإفراج عن قوة تأثير قوي في لحظة الانهيار ، وتجريد الأوساخ من سطح رقاقة السيليكون . مناسبة لأنّ رقاقة السيليكون مع الأشكال الهندسية المعقدة .
رقاقة آلة التنظيف بالموجات فوق الصوتية تستخدم على نطاق واسع في عملية تصنيع أشباه الموصلات رقاقة السيليكون والأواني ذات الصلة لإزالة الملوثات السطحية ، تنطبق على نشر ما قبل الطباعة الحجرية ، والأكسدة ، وغيرها من الروابط الرئيسية من متطلبات التنظيف . في إنتاج الخلايا الضوئية ، الجهاز يصبح مفتاح معدات تصنيع رقاقة السيليكون مع ميكرون مستوى دقة التنظيف و التحكم الذكي ، والتي يمكن القضاء على نحو فعال تلف طبقة ، ميكرون مستوى الشوائب والتلوث العضوي .
مبدأ عمل رقاقة السيليكون آلة التنظيف بالموجات فوق الصوتية يعتمد أساسا على تأثير التجويف بالموجات فوق الصوتية . عند مولد بالموجات فوق الصوتية تنتج عالية التردد الاهتزاز ، فقاعات الهواء في سائل التنظيف يمكن أن تتوسع بسرعة و كسر ، مما يؤدي إلى ارتفاع في درجة الحرارة وارتفاع ضغط عابر موجات الصدمة ، وبالتالي تجريد من الملوثات على سطح رقاقة السيليكون . على وجه التحديد ، التجويف بالموجات فوق الصوتية تأثير يخلق الملايين من فقاعات صغيرة في سائل التنظيف ، والتي يمكن أن الإفراج عن طاقة كبيرة عندما كسر ، على نحو فعال إزالة الجسيمات ، مقاومة للضوء المتبقية أو طبقة أكسيد على سطح رقاقة السيليكون .
المبدأ الأساسي رقاقة السيليكون الأنظف بالموجات فوق الصوتية على أساس تأثير التجويف بالموجات فوق الصوتية :
مولد بالموجات فوق الصوتية تنتج إشارات كهربائية عالية التردد ( عادة في نطاق التردد من 20khz-120khz ) التي يتم تحويلها إلى الاهتزازات الميكانيكية من خلال محول ، وبالتالي تشكيل عدد لا يحصى من فقاعات صغيرة في سائل التنظيف .
فقاعات الهواء بسرعة توسيع وكسر تحت ضغط الصوت ، مما أدى إلى ارتفاع في درجة الحرارة المحلية ( حوالي 5000k ) وارتفاع الضغط ( حوالي 1000 أجهزة الصراف الآلي ) ، تشكيل موجة الصدمة ، وتجريد المواد العضوية ، والجسيمات ، الشوائب المعدنية الطبيعية طبقة أكسيد على سطح رقاقة السيليكون .
بالموجات فوق الصوتية عالية التردد ( أكثر من 40 كيلو هرتز ) هو مناسبة لتنظيف جزيئات صغيرة من التراب ، وتجنب الضرر على سطح رقاقة السيليكون . الموجات فوق الصوتية ذات التردد المنخفض ( 20-40khz ) هو أكثر ملاءمة لإزالة الملوثات الحرارية .