الحديثة في صناعة أشباه الموصلات عالية الدقة ونظيفة في القاعة ، نقل الغاز والتحكم في الحفاظ على الحياة مثل الدم ، دقة تحديد الأداء و العائد من رقاقة مباشرة . سيلان ، مفتاح مصدر الغاز سيليكون ، وتستخدم على نطاق واسع في العمليات الأساسية مثل ترسيب الأبخرة الكيميائية ، وما إلى ذلك كل تذبذب في معدل التدفق قد يكون بلا حدود تضخيم على مستوى النانومتر رقيقة ، مما يؤدي إلى فشل كامل رقاقة . في هذا المجال ، رقائقي تدفق الضغط التفاضلي الشامل تدفق متر ، وحدة تحكم أصبحت القوة الأساسية للسيطرة على تدفق سيلان وضمان استقرار العملية .

متطلبات صارمة من الدقة والتكنولوجيا تحديات فريدة من نوعها سيلان

في تصنيع أشباه الموصلات ، سيلان أساسا يأخذ على عاتقه مهمة إيداع غير متبلور السليكون أو السيليكون متعدد الكريستالات رقيقة على سطح رقاقة السيليكون . هذه العملية تتطلب سيلان تدفق الغاز للحفاظ على استقرار عالية ودقة . صغيرة جدا من تدفق الانحراف قد يؤدي إلى تفاوت سماكة الفيلم ، تكوين الاختلاف ، مما يؤدي إلى تدهور الأداء الكهربائي من الجهاز ، مما يؤثر بشكل خطير على رقاقة النهائي العائد . وفي الوقت نفسه ، سيلان لديها خصائص الاحتراق التلقائي والمتفجرة ، و مخاطر السلامة في النقل والاستخدام لا يمكن تجاهلها . ولذلك ، وقياس ومراقبة تدفق سيلان ليس فقط مهمة تقنية لتحقيق الدقة ، ولكن أيضا نقطة هامة تتعلق بسلامة الانتاج والمنفعة الاقتصادية .

مبدأ فرق الضغط الصفحي : الأساس المادي للاستقرار الخطي

الصفحي الضغط التفاضلي الشامل تدفق متر وحدة تحكم يمكن أن تكون مختصة في هذه المهمة الهامة ، ويرجع ذلك إلى صلب وأنيق المبادئ الفيزيائية . جوهر هو هيكل خاص يسمى الصفحي عنصر . عندما تدفق الغاز من خلال هذا العنصر ، تدفق الدولة أجبرت على الانتقال من اضطراب الاضطراب إلى مستقر ومنظم تدفق الصفحي . في ظل حالة من تدفق الصفحي ، جزيئات الغاز تتحرك في طبقات دون خلط مع بعضها البعض ، في هذا الوقت ، وفقا لقانون هاغن بوازوي ، الفرق في الضغط الناجم عن تدفق الغاز من خلال عنصر ويعرض مستقرة للغاية العلاقة الخطية بين نسبة تدفق الغاز الشامل .

هذا المبدأ يعطي ميزة جوهرية من هذه التقنية : القياس على أساس قوانين الفيزياء مباشرة ، والنتيجة هي موثوق بها ، وتكرار جيدة . وحدة تحكم يمكن التقاط إشارة الضغط من خلال حساسية عالية استشعار الضغط التفاضلي ، ودفع غرامة صمام التحكم النسبي للعمل من خلال حساب وتجهيز الدوائر الذكية الداخلية ، وبالتالي تشكيل سريع ودقيق حلقة مغلقة السيطرة ، قفل تدفق الفعلي بقوة على القيمة المستهدفة من العملية . مبدأ العمل على أساس الخصائص الفيزيائية الصفحي تدفق يجلب العديد من التحسينات في الأداء .

تمكين تصنيع أشباه الموصلات : المزايا الأساسية الصفحي فرق الضغط التكنولوجيا

تواجه التحدي المتمثل في سيلان التحكم في التدفق ، الصفحي الضغط التفاضلي الشامل تدفق متر وحدة تحكم عرض سلسلة من المزايا .

الأول هو الدقة والاستقرار على المدى الطويل . على أساس ثابت الصفحي الظواهر الفيزيائية ، هذه التكنولوجيا يمكن تحقيق دقة عالية في القياس والتحكم . دقة يمكن أن تصل إلى نسبة مئوية منخفضة جدا من القراءة ، مما يعني أنه يمكن الحفاظ على مراقبة موثوق بها حتى في انخفاض معدل التدفق . هذا أمر بالغ الأهمية في عملية الترسيب التي تتطلب التوحيد خطأ في سمك الفيلم على مستوى النانومتر . وعلاوة على ذلك ، فإن عنصر الاستشعار الداخلية مصممة مع أي آلية منقولة ، مما يقلل بشكل كبير من ارتداء والانجراف ، ويضمن الاستقرار على المدى الطويل من المعدات التي تعمل باستمرار في مصنع أشباه الموصلات على مدار 24 ساعة .

الثانية هي القدرة على الاستجابة السريعة في ميلي ثانية واحدة . أشباه الموصلات عملية التحول السريع يتطلب تدفق الغاز يمكن تعديلها بشكل عابر . الصفحي فرق الضغط وحدة تحكم يمكن تحقيق استجابة ميلي ثانية واحدة من خلال الجمع بين الضغط التفاضلي إشارة مع سرعة الصوت و سرعة عالية صمام التحكم . بغض النظر عن الغاز التبديل في الطباعة الحجرية ، أو دينامية نسبة النقش التكنولوجيا ، فإنه يمكن تتبع التغيرات في قيمة الإعداد بسرعة ، على نحو فعال في كبح جماح تقلبات العملية ، من أجل تحسين العائد .

الثالث هو سلامة ممتازة والغاز التوافق . وفقا لخصائص سيلان الخطرة ، خاصة رقائقي فرق الضغط تحكم تم تعزيزه من المواد إلى التصميم . عداء مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ 316L مقاومة للتآكل المواد الخاصة للتعامل مع احتمال وجود شوائب التآكل . ما هو أكثر من ذلك ، وحدة تحكم المدمج في وظيفة الإنذار في حالات الطوارئ خارج الحد ، مرة واحدة في رصد تدفق غير طبيعي أو زيادة أو نقصان ، يشتبه في تسرب أو انسداد ، يمكن للنظام تلقائيا قطع مسار الغاز في عشرات الالف من الثانية ، من أجل بناء ذكي خط الانتاج الآمن .

الرابع هو التعامل مع عملية معقدة من المرونة والقدرة على التكيف البيئي . تصنيع أشباه الموصلات الحديثة ينطوي على مزيج دقيق من الغازات . رقائقي الضغط التفاضلي تحكم يدعم التعاون متعدد القنوات ، ويمكن بسهولة تحقيق نسبة خلط سيلان مع النيتروجين والأمونيا وغيرها من الغازات من خلال الاتصالات الرقمية حافلة مثل ethercat أو RS485 ، والخطأ هو التحكم في مجموعة صغيرة جدا . وفي الوقت نفسه ، المدمج في درجة الحرارة والضغط تعويض الخوارزمية ، والتي يمكن تلقائيا تصحيح تأثير درجة الحرارة المحيطة على اللزوجة وقياس الغاز ، ويمكن الحفاظ على استقرار الانتاج حتى في حالة وجود درجة الحرارة المتغيرة . مجموعة واسعة من الخصائص ، مما يجعل من جهاز واحد يمكن أن تغطي العديد من المراحل العملية من البداية إلى حالة مستقرة ، مثل تدفق مختلف الاحتياجات ، وتبسيط تصميم النظام .

انطلاقة محلية وآفاق المستقبل

تجدر الإشارة إلى أنه في موجة من اختراق التكنولوجيا الرئيسية وتحقيق توطين الصك ، وشنشى يي دو متر الذكية المحدودة قد أحرزت تقدما ملحوظا في مجال قياس التدفق الصفحي . الضغط التفاضلي تدفق الصفحي تكنولوجيا الاستشعار وضعت بشكل مستقل ، والتي نجحت في حل مشكلة غير خطية من أجهزة الاستشعار التقليدية ، وصلت إلى مستوى عال جدا في انخفاض تدفق القياس . عالية الأداء وحدة تحكم تدفق الشامل الذي هو مناسبة لأنّ عملية تصنيع أشباه الموصلات هو عرض من خلال الضغط الديناميكي التعويض . هذه الاختراقات ليس فقط خفض الاعتماد على المعدات المستوردة من السلسلة الصناعية ، ولكن أيضا تعزيز عملية الحكم الذاتي معدات أشباه الموصلات من خلال خدمة عميقة قريبة من السوق المحلية .

في المستقبل ، مع تطور تكنولوجيا أشباه الموصلات إلى أصغر عملية العقد ، ثلاثي الأبعاد التكامل ، ومتطلبات الدقة والسرعة والذكاء الغاز التحكم في التدفق سوف تكون أكثر صرامة . رقائقي تدفق الضغط التفاضلي الشامل تدفق متر وحدة تحكم سوف تتطور في اتجاه التحكم في التدفق ، متعدد المعلمة الاستشعار المتكاملة والذكاء الاصطناعي تمكين . التكامل مع منظمة العفو الدولية خوارزمية الصيانة التنبؤية ، نانو الحجم وحدة التحكم في التدفق ، والتي تتكيف مع عملية الترسيب للطبقة الذرية ، سوف تصبح محور المنافسة من الجيل القادم من المعدات .

رقائقي تدفق الضغط التفاضلي مقياس الجريان الشامل ( PWM ) و ( المراقب المالي ) على أساس قانون الفيزياء ، مع قياس مستقرة ، ومراقبة دقيقة ، والاستجابة الديناميكية السريعة وقوية القدرة على التكيف مع البيئة ، يمكن أن تلبي متطلبات الدقة السيطرة على الغاز الخاص مثل سيلان في صناعة أشباه الموصلات . ليس فقط هو العنصر الرئيسي في خط تصنيع الرقائق الحديثة ، ولكن أيضا واحدة من حجر الزاوية في دعم صناعة أشباه الموصلات في الصين لكسر من خلال عملية الحد من التقدم نحو أعلى مستوى التحكم الذاتي .