على عكس التقليدية الحرارية وحدة تحكم تدفق الشامل الذي يعتمد بشكل غير مباشر على قياس الخصائص الحرارية للغاز ، رقائقي تدفق الضغط التفاضلي تحكم تدفق الشامل يعتمد مبدأ مبتكر و يحل الكثير من المشاكل من المعدات التقليدية . جوهر هذا الاختراع هو تحويل الغاز المضطرب إلى مستقر ومنظم الصفحي الدولة من خلال تدفق الصفحي عنصر الدقة ، واستخدام حساسية عالية استشعار الضغط التفاضلي للقبض على فرق الضغط على طرفي الصفحي عنصر مباشرة ، والجمع بين التعويض الدينامية في الوقت الحقيقي من المدمج في درجة الحرارة استشعار الضغط لتحقيق دقة السيطرة على تدفق الشامل . هذا القياس على أساس قانون الفيزياء يعطي المنتج مع الاستقرار المتأصلة والموثوقية ، والتي يمكن أن تلبي متطلبات عملية تصنيع أشباه الموصلات على المدى الطويل عملية مستمرة .

عالية الدقة والاستقرار قوية هي المزايا الأساسية من المنتجات التي تناسب عملية أشباه الموصلات . في تصنيع أشباه الموصلات ، تقلب تدفق الغاز الصغيرة يمكن أن يؤدي إلى تفاوت سماكة الفيلم ، النقش نمط الانحراف ، وهلم جرا ، والتي سوف تؤثر بشكل مباشر على رقاقة العائد . من خلال الاستفادة المثلى من تصميم خوارزمية التعويض الصفحي عنصر قياس عالية الدقة والتكرار يمكن أن تتحقق ، حتى في المدى الطويل عملية مراقبة الأداء يمكن أن تبقى مستقرة ، ودقة الانجراف المشكلة الناجمة عن الشيخوخة أو تغيير البيئة من المعدات التقليدية يمكن تجنبها على نحو فعال . وفي الوقت نفسه ، مجموعة واسعة من الخصائص يمكن أن تغطي جميع متطلبات المشهد من تدفق الصغيرة إلى ارتفاع معدل التدفق ، جهاز واحد يمكن أن تلبي متطلبات التحكم في التدفق من مختلف العمليات ، والحد من تعقيد تكوين المعدات .

عالية القدرة على التكيف البيئي والغاز التوافق ، مما يتيح سهولة التعامل مع المنتجات بسهولة تصنيع أشباه الموصلات في ظروف معقدة . في عملية أشباه الموصلات ، ليس فقط غاز خامل مثل النيتروجين والأرجون ، ولكن أيضا العديد من الغازات المسببة للتآكل . المنتج يعتمد الفولاذ المقاوم للصدأ 316L قناة تدفق المعدن ختم قذيفة ، والتي يمكن أن تقاوم تآكل الغاز ، والحفاظ على عملية مستقرة في نطاق واسع درجة الحرارة والضغط . المدمج في قاعدة بيانات متعددة الغاز يدعم تحرير نسبة الغاز مختلطة بشكل مستقل ، لا تحتاج إلى إعادة معايرة يدويا عند تبديل الغاز ، وبالتالي حد كبير في تحسين كفاءة عملية أشباه الموصلات التبديل والراحة .

تصميم هيكل بسيط ودائم ، مما يقلل بشكل كبير من تكاليف التشغيل والصيانة من أشباه الموصلات الشركات . فائدة نموذج يعتمد أساسا على عنصر ثابت تدفق الصفحي و استشعار الضغط التفاضلي للعمل ، وبالتالي حد كبير في تحسين خدمة الحياة من المنتجات وخفض معدل الفشل . بالمقارنة مع المعدات التقليدية في كثير من الأحيان معايرة وصيانة الاحتياجات ، من السهل معايرة المنتج فترة طويلة ، الصيانة اليومية عبء العمل هو تقلص إلى حد كبير ، على نحو فعال يقلل من الوقت الضائع من المعدات وتكاليف التشغيل والصيانة ، تمشيا مع احتياجات الإنتاج المستمر من أشباه الموصلات الشركات .

باعتبارها أول شركة في الصين من خلال تدفق الصفحي الضغط التفاضلي شهادة ذات الصلة ، مع كامل القدرة على البحث والتطوير المستقل ، يي كسر الاحتكار الأجنبي ، وقد تم استخدام المنتجات المحلية في photoetching آلة ، آلة الحفر ، وغيرها من المعدات الرئيسية من الشركات المصنعة ، تماما التحقق من قدرتها على استبدال المنتجات المستوردة . في ظل خلفية من استراتيجية وطنية مستقلة السيطرة على السلسلة الصناعية ، وسهولة تدفق الصفحي الضغط التفاضلي الشامل تحكم تدفق ليس فقط يوفر عالية الأداء نسبة السعر إلى المشاريع المحلية أشباه الموصلات ، ولكن أيضا يعزز تطوير صناعة الأجهزة الدقيقة المحلية من خلال الابتكار التكنولوجي .

صناعة أشباه الموصلات المحلية استبدال هو هجوم طويل الأجل ، اختراق الأجهزة الأساسية هي حلقة وصل رئيسية . سهولة تدفق رقائقي الضغط التفاضلي تحكم تدفق الشامل هو قوة هامة في تصنيع أشباه الموصلات في الصين بسبب مزاياه مثل الدقة والاستقرار ، والاستجابة السريعة ، والقدرة على التكيف قوية والمتانة وسهولة الصيانة . في المستقبل ، جنبا إلى جنب مع استمرار تكرار التكنولوجيا ، يي سوف تعزز القدرة التنافسية الأساسية ، وتوفير المزيد من الدعم القوي لصناعة أشباه الموصلات المحلية المستقلة والسيطرة على التنمية عالية الجودة .