مجهر مسح بالإلكترون مطياف الطاقة ( eds ) هو أداة هامة من أجل تحليل عنصري على أساس التفاعل بين شعاع الالكترون و العينة .

مبدأ

المبدأ الأساسي هو أن eds-eds القصف على سطح العينة باستخدام شعاع الالكترون لتحفيز انتقال الإلكترون في الطبقة الداخلية من عينة ذرة لإنتاج الأشعة السينية المميزة . . . . . . . الأشعة السينية الطاقة المنبعثة من العناصر المختلفة لديها خصائص ( أي طاقة مميزة ) و التحليل النوعي يمكن أن يتحقق من خلال الكشف عن توزيع الطاقة من هذه الأشعة السينية . كثافة الأشعة السينية هو ذات الصلة إلى عنصر المحتوى ، نصف التحليل الكمي يمكن أن تكتمل بعد معايرة مع عينة قياسية . العملية هي كما يلي : بعد الأشعة السينية الفوتون يدخل الكاشف ، إلكترون ثقب زوج متحمس في سي كريستال ، وكمية تتناسب مع طاقة الفوتون . من خلال جمع هذه الشحنة الكهربائية الإشارات وتحويلها إلى نبضات الجهد ، وتصنيف التهم من خلال القنوات محلل ، وأخيرا توليد الطاقة التشتت الطيفي ( EDS ) الطيف ، وبالتالي تحديد أنواع العناصر في العينة و المحتوى النسبي .

تطبيق

علم المواد : EDS يمكن تحليل المعادن والسيراميك ، والجزيئات وغيرها من المواد المجهرية ، مثل الكشف عن المعادن الحدود الحبوب عنصر العزل ، مواد السيراميك في مرحلة النجاسة ، أو توزيع مواد التعبئة والتغليف في البوليمر المركب .

تحليل الفشل : الكشف عن أسباب الفشل من خلال تحديد العناصر الشاذة على سطح الكسر أو التآكل في المنطقة . على سبيل المثال ، تحليل محتوى الأكسجين في كسر المعادن يمكن أن تحدد ما إذا كان التآكل التأكسدي .

الجيولوجيا والمعادن : التعرف السريع على المكونات المعدنية ، مثل التمييز بين الكوارتز ( sio ₂ ) والفلسبار ( kalsi ₃ o ₈ ) ، أو الكشف عن العناصر النزرة المفيدة ( مثل الذهب والفضة ) في الخامات .

الطب الحيوي : تحليل تكوين عنصر على سطح الأنسجة البيولوجية أو الطبية يزرع ، مثل الكشف عن رواسب الكالسيوم والفوسفور على سطح سبائك التيتانيوم يزرع ، وتقييم تأثير التكامل العظام .

التفتيش على الجودة الصناعية : رصد سمك الطلاء على سطح المنتج وتكوين التوحيد ، مثل الذهب ( الاتحاد الافريقي ) المحتوى في طلاء المكونات الإلكترونية ، أو قطع غيار السيارات طلاء مقاومة للتآكل التحليل .

ميزة تقنية

جنبا إلى جنب مع مجهر مسح بالإلكترون ( SEM ) ، EDS يمكن استخدامها في وقت واحد لمراقبة التشكل و تحليل المكونات على نطاق مصغر ( من ميكرون إلى نانومتر ) مع سرعة عالية ( عادة في غضون بضع دقائق ) و القليل من الضرر على عينة ، والتي يمكن تطبيقها على عينات من المواد الصلبة ، ومسحوق ، رقيقة ، وهلم جرا . الحد من هذا الأسلوب هو أن دقة القياس يتأثر الموصلية الكهربائية من العينة ، نعومة السطح ، وهلم جرا .