nanoimprint هو نوع من نمط عالية الدقة تكنولوجيا النسخ المتماثل ، والتي يمكن تحقيق دقة تصنيع المجهرية من خلال تشكيل المواد على مقياس النانو . وفيما يلي عملية تكوين nanoimprint Tackifier :
إعداد والتحقق من مطابقة المواد الركيزة
1 - تحليل سطح الركيزة
- يجب أولا اختبار طاقة السطح والخصائص الكيميائية للركيزة ( مثل الزجاج أو السيليكون أو البلاستيك المرن ) . انخفاض الطاقة السطحية ( مثل المواد التي تحتوي على الفلور البوليمر ) ، من الضروري تعزيز النشاط السطحي من خلال معالجة البلازما لضمان التصاق فعالة Tackifier . . . . . . .
- على سبيل المثال : الكوارتز الركيزة يجب تنظيفها بواسطة الأكسجين بلاسما لمدة 10 دقائق لإزالة الملوثات العضوية وإدخال مجموعات الهيدروكسيل وظيفية ، وتعزيز الروابط الجزيئية اللاحقة Tackifier .
2 . اختيار مبدأ Tackifier
- اختيار نوع مطابقة Tackifier وفقا لمواد العفن . على سبيل المثال ، بولي تترافلوروإيثيلين ( السليكوون ) قالب يوصى tackifier تحتوي على اقتران silane عامل ، في حين أن الأشعة فوق البنفسجية للشفاء الراتنج يتطلب نظام حساس التصاق المروج .
عملية التكوين الأساسية
1 . إعداد قاعدة الحل
- اختيار المذيبات : استخدام البروبيلين غليكول الأثير الميثيل خلات ( pgmea ) والمذيبات ، لأن معدل تطاير معتدلة و معظم الراتنج الذوبان جيدة .
- التحكم في التركيز : تمييع السائل الأصلي من Tackifier بنسبة 1 ٪ - 5 ٪ من حجم النسبة ، اختبار فيلم التوحيد من خلال طريقة طلاء الروتاري . ارتفاع تركيز مناسبة لملء سطح خشن ، وانخفاض تركيز مناسب ترطيب سطح أملس .
2 . دينامية خلط defoaming العلاج
- استخدام خلاط ثنائي الصف نجمة لخلط Tackifier والمذيبات ، تناوب سرعة التحكم في 800-1200rpm ، ويستمر لمدة 30 دقيقة لضمان تشتت الجزيئية .
- الحفاظ على - 0.08mpa الضغط في مرحلة فراغ defoaming لتجنب تفكك مكونات بسبب الموجات فوق الصوتية الاهتزاز .
3 - تحسين طلاء وعلاج المعلمات
- تدور عملية الطلاء : الحل هو نشر في سرعة منخفضة ( 500rpm / 10s ) و 100-300nm متجانسة رقيقة تتشكل في سرعة عالية ( 2000-3000rpm / 30s ) .
- خطوة علاج : أولا ، إزالة المذيبات المتبقية بعد الخبز في 90 ℃ لمدة 2 دقيقة ، ثم الحصول على 254nm الأشعة فوق البنفسجية ( كثافة الطاقة ≥ 100mj / سم ² ) عبر ربط علاج .
اختبار الجودة ومنع الفشل
خصائص واجهة
- استخدام مجهر القوة الذرية ( AFM ) للكشف عن خشونة السطح من الطلاء ( RA < 2nm ) وتقييم مستوى التصاق من خلال اختبار 100 ( ISO 2409 ) .
- جهاز قياس زاوية الاتصال يدل على أن زاوية الاتصال من قطرات الماء يجب أن يكون أقل من 30 درجة ، مما يدل على أن ماء تصل إلى مستوى .
2 - وضع الفشل المشترك المضاد
- فقاعة عيب : يقلل من سرعة الطلاء إلى أقل من 1500rpm ، أو يطيل وقت الوقوف إلى 5 دقائق للسماح فقاعات الهروب بطبيعة الحال .
- تخفيف قوة لاصقة : التحقق من تأثير المعالجة الركيزة ، وزيادة سماكة الطلاء Tackifier إلى 500 نانومتر إذا لزم الأمر .
مع تطور nanoimprint على نطاق واسع ، فمن المستحسن أن درجة الحرارة والرطوبة تقلب البيئة ينبغي رصدها بانتظام ، توافق آراء ساو باولو الإحصائية نظام مراقبة العملية ينبغي أن تنشأ ، وعملية الاستقرار ينبغي أن يكون الأمثل باستمرار .