نانو بصمة الطباعة الحجرية ، باعتبارها جوهر تكنولوجيا الجيل القادم من micronanoprocessing ، له تأثير مباشر على كفاءة الإنتاج الضخم التكلفة والعائد . في الوقت الحاضر ، عنق الزجاجة الرئيسية التي تحد من كفاءة المعدات تركز على ثلاثة أبعاد : المواد مطابقة ، عملية الاستقرار ونظام التكامل .
إنشاء قاعدة فعالة للغاية من أجل إصلاح نظام المواد
بسبب الحد من درجة حرارة التحول الزجاجي التقليدية بالحرارة البوليمر ، demoulding تستغرق وقتا طويلا - رواية الهجين عبر ربط نظام البوليمر يمكن أن تقلل من سمك طبقة المتبقية إلى subnanometer ، demoulding السرعة بنسبة أكثر من ثلاث مرات من خلال تصميم ديناميكي تساهمي بوند . تهدف إلى الأشعة فوق البنفسجية للشفاء الراتنج ، وهما عنصر التدرج علاج الصيغة المتقدمة ، والتي يمكن الانتهاء من وضع طبقة سطحية بسرعة و بشكل كامل عبر ربط في وقت واحد ، وتقصير فترة التعرض مرة واحدة إلى 5 ثوان . سطح تعديل القالب يعتمد التجميع الذاتي monomolecular طبقة التكنولوجيا ، جنبا إلى جنب مع تعديل fluorosilane ، زاوية الاتصال أكثر من 120 درجة ، مما يحسن بشكل ملحوظ من الحبر التبلل التوحيد .
دقة السيطرة على المعلمات عملية تعزيز الموثوقية
نموذج ثلاثي الأبعاد من الضغط - درجة الحرارة - الوقت عملية نافذة على أساس آلة التعلم المتقدمة . الضغط الجزئي الاستراتيجية المعتمدة : انخفاض ضغط الاتصال الأولي للقضاء على فقاعات الهواء ، خطي الضغط الرئيسي المرحلة إلى مجموعة قيمة ، ذكي تعويض زحف المواد في مرحلة الحفاظ على الضغط . التحكم في درجة الحرارة هو عرض PID + المنطق الضبابي خوارزمية التحكم في نطاق التذبذب في ± 0.1 ℃ . . . . . . . الأشعة فوق البنفسجية علاج النظام مجهز البصرية التكيفية المجانسة ، والإضاءة التوحيد هو أفضل من 98 ٪ ، وتجنب تشويه الصورة الناجمة عن التعرض المفرط المحلية . . .
تحسين هيكل المعدات من خلال كسر عنق الزجاجة
في إطار مفهوم تصميم وحدات متعددة محطة المعالجة المتوازية منصة وضعت ، بما في ذلك تحميل / تفريغ وحدة مستقلة ، وحدة المعالجة المسبقة ، بصمة محطة العمل بعد تجهيز المقصورة . مع سرعة عالية ومستقرة الحركة ، دقة تحديد المواقع يمكن أن تصل إلى ± 5nm . تصميم مبتكر من نوع الأسطوانة نظام التغذية المستمر ، جنبا إلى جنب مع قاعدة مرنة نقل التكنولوجيا ، ودعم عملية اللف اللف ، نظرية القدرة على الإنتاج هو 8 مرات أعلى من التقليدية خطوة المعدات . على الخط وحدة التفتيش يدمج شعاع الالكترون عيب إعادة النظر في وظيفة ، في الوقت الحقيقي تصحيح الانحراف .
نظام مراقبة البيئة لضمان تكرار العملية
إنشاء بيئة عمل نظيفة من الدرجة الأولى ، مع هيبا وحدة تصفية الهواء المؤين نظام الرش ، وتركيز الجسيمات في أقل من 0.1 / م 3 . درجة الحرارة والرطوبة نظام مراقبة يعتمد على دقة التحكم في درجة الحرارة نقطة الندى ، الرطوبة النسبية تذبذب أقل من ± 1 ٪ RH . الاهتزاز العزلة منصة مجهزة نشط جهاز التخميد ، والحد من الاهتزازات البيئية تحت مستوى vc-b . . . . . . . الكهرومغناطيسية التدريع غطاء يمكن أن تمنع بشكل فعال خارج التداخل الكهرومغناطيسي ، وضمان دقة التحكم في الحركة .
ذكي نظام التشغيل والصيانة لإطالة عمر المعدات
نشر إنترنت الأشياء شبكات الاستشعار ، في الوقت الحقيقي رصد حالة ارتداء المكونات الرئيسية ، واستخدام نموذج التنبؤ الحياة المتبقية استبدال المواد الاستهلاكية في وقت مبكر . تطوير برنامج التنظيف الذاتي ، وذلك باستخدام الليزر النبضي لتنظيف سطح القالب من الملوثات بشكل دوري . عملية قاعدة المعرفة هي التي شيدت من أجل التحسين المستمر المعلمات من خلال مجموعة كبيرة من البيانات التعدين . نظام الصيانة الوقائية يمكن التعرف تلقائيا على ظروف غير طبيعية ، والحد من الوقت الضائع بنسبة 70 في المائة .
في المستقبل ، مع نضج للطبقة ترسب قالب و اختراق نقاط الكم بمساعدة تكنولوجيا تحديد المواقع ، نانو بصمة الجهاز من المتوقع أن ندرك على نطاق واسع تصنيع مليون ميزة الحجم في التعرض واحد ، وتوفير الدعم الرئيسي لدخول عصر الدوائر المتكاملة ايمي . . . . . . .