وفيما يلي تحليل شامل للأشعة فوق البنفسجية آلة الطباعة الحجرية نانو العيوب الشائعة والحلول ، بما في ذلك وحدات أساسية نموذجية من الشذوذ و استراتيجيات المواجهة :
تعرض النظام خطأ
1 - عدم كفاية / تفاوت التعرض للطاقة
- الأسباب : الشيخوخة من مصابيح الأشعة فوق البنفسجية ، وتلوث العدسات البصرية أو اختلال المرايا .
- حل : اختبار كثافة الأشعة فوق البنفسجية مصدر الضوء بانتظام ، إذا كان أقل من عتبة استبدال أنبوب ؛ استخدام الكحول المطلق لمسح سطح العدسة البصرية ، وإزالة بصمات الأصابع أو الغبار ؛ ضبط زاوية المرآة للتأكد من أن مسار الضوء يركز على بصمة في المنطقة .
2 . قناع الضرر أو التشويه
- السبب : تراكم الخدوش على السطح بعد عدة انطباعات ، أو الإجهاد الحراري يسبب انفتال .
- حل : يمكن إصلاح الأضرار البسيطة مع البلازما الأوكسجين التنظيف ؛ تشوه خطير يتطلب استبدال قناع جديد وتحسين معدل التسخين للحد من الصدمة الحرارية .
محاذاة نظام الانحراف
1 . overdifference متعدد الطبقات النقش خطأ
- الأسباب : الانجراف الميكانيكية من منصة التحميل ، خطأ في تحديد الهوية البصرية خوارزمية أو اضطراب البيئة الاهتزاز .
- القرار : تنفيذ إجراءات تصحيح المحاذاة النشطة وإعادة معايرة العلامات المرجعية؛ يمكن عزل الاهتزازات الخارجية من الاهتزاز ؛ تحقق من أن عدسة الكاميرا نظيفة ، إعادة تشغيل المحاذاة التلقائية إذا لزم الأمر .
2 . رقاقة حافة المحاذاة الفشل
- السبب : عدم كفاية حافة التسطيح أو انخفاض قوة الامتزاز من مصاصة .
- الحل : استبدال ختم فراغ تشاك لزيادة امتصاص الاستقرار ؛ حافة الركيزة هو مصقول ، مما يحسن من دقة تحديد حافة الانعكاس .
التحكم في درجة الحرارة غير طبيعي
1 . ارتفاع درجة الحرارة معدل التدفئة الجدول بطيئة أو محموما
- الأسباب : الشيخوخة من عناصر التدفئة ، وأجهزة الاستشعار الحرارية الانجراف أو انسداد مروحة التبريد .
- الحل : معايرة نظام التحكم في درجة الحرارة PID المعلمات ، استبدال الحرارية عالية الدقة ؛ تنظيف بقايا الراتنج في تبديد الحرارة المسام ، وضمان تدفق الهواء القناة . إذا كان فقدان لوحة التدفئة خطيرة ، جزءا لا يتجزأ من استبدال مطلوب .
2 . درجة الحرارة المحلية غير التوحيد يؤدي إلى ملء عيب
- السبب : الأكسدة أو توزيع الضغط على سطح التلامس من تدفئة الجدول ليست موحدة .
- الحل : استعادة التسطيح من سطح طاولة التدفئة مع دقة الصنفرة . ضبط صمام تنظيم الضغط بحيث يتم تطبيق الضغط بالتساوي ، إذا لزم الأمر ، إضافة مجانس لتحسين التدرج في درجة الحرارة .
demoulding الفشل والمخلفات
1 . نمط ذرف أو ناقصة
- السبب : demoulding بسرعة كبيرة جدا ، طلاء مضاد للالتصاق الفشل أو عدم تطابق المواد معامل التمدد .
- الحل : خفض معدل demoulding والإفراج عن الضغط في قطاعات . إعادة تدوير طلاء الفلورايد طبقة مقاومة الالتصاق والخبز علاج ؛ اختيار أفضل مطابقة البوليمر صياغة النظام .
2 . بقايا الراتنج الركيزة الملوثة
- السبب : جرعة التعرض غير كافية أو وقت التطوير غير كافية .
- الحل : زيادة جرعة التعرض للأشعة فوق البنفسجية أو إطالة وقت التعرض؛ تحسين تركيز المطور بالموجات فوق الصوتية تنظيف المعلمات ، إذا لزم الأمر ، استخدام الأوزون للقضاء على بقايا العنيد . . . . . . .
خامساً - المسائل الميكانيكية والفراغ
1 . بصمة تقلبات الضغط
- السبب : عدم استقرار العرض الجوي أو ارتداء اسطوانة الختم الدائري .
- الحل : تثبيت صمام تنظيم الضغط لتحقيق الاستقرار في مصدر الغاز الإدخال ؛ استبدال اسطوانة يا الدائري و فلتر عنصر بانتظام لمنع الجسيمات من عرقلة مسار الغاز .
2 . فراغ الامتزاز الفقراء
- السبب : تسرب خط أنابيب أو انخفاض أداء مضخة فراغ .
- حل : تسرب اختبار للكشف عن تسرب خط ضيق ، وتشديد الترباس المشتركة ؛ تنظيف أو استبدال مضخة فراغ النفط ضباب فاصل ، والحفاظ على سرعة الضخ الطبيعي . . .
الصيانة اليومية يجب أن تركز على رصد الأشعة فوق البنفسجية مصدر الحياة ، التحكم في درجة الحرارة منحنى الاستقرار الميكانيكية انتقال أجزاء تزييت . ويقترح إنشاء قاعدة بيانات سجل خطأ التنبؤ المخاطر المحتملة من خلال تحليل البيانات التاريخية . أخطاء معقدة يمكن أن تكون مرتبطة مع مهندس مصنع التشخيص عن بعد ، إذا لزم الأمر ، العودة إلى المصنع إصلاح الوحدة الأساسية .